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多晶硅还原炉的冷却系统技术方案
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下载多晶硅还原炉的冷却系统的技术资料
文档序号:24648976
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本实用新型公开了多晶硅还原炉的冷却系统,该系统包括:还原炉,包括钟罩和底盘,所述钟罩具有冷却水第一入口和钟罩高温水出口,所述底盘具有冷却水第二入口和底盘高温水出口,所述底盘高温水出口与所述冷却水第一入口和/或所述冷却水第二入口相连;换热装置...
该专利属于中国恩菲工程技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中国恩菲工程技术有限公司授权不得商用。
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