下载多晶硅还原炉的冷却系统的技术资料

文档序号:24648976

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了多晶硅还原炉的冷却系统,该系统包括:还原炉,包括钟罩和底盘,所述钟罩具有冷却水第一入口和钟罩高温水出口,所述底盘具有冷却水第二入口和底盘高温水出口,所述底盘高温水出口与所述冷却水第一入口和/或所述冷却水第二入口相连;换热装置...
该专利属于中国恩菲工程技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中国恩菲工程技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。