一种用于多晶硅生产的节能环保还原炉制造技术

本实用新型专利技术涉及一种还原炉，公开了一种用于多晶硅生产的节能环保还原炉，所述还原炉主体的底部固定安装在底盘的上表面，且还原炉主体的一侧固定安装有热量回收组件，所述电极的底部贯穿底盘的上表面，所述底盘的底部焊接有支撑座，所述电极与底盘的连接处嵌入安装有防护组件，防护组件可以有效的使隔热罩的强度增加，不易破损，在高温高电下结构稳定，不易开裂，且隔热罩的厚度较厚，即使发生崩裂、开裂的情况，几乎不会发生碎裂和严重缺损的情况，使得损坏率大大降低，增加了重复利用次数，有效的节约生产成本，热量回收组件可以有效的将还原炉主体表面所产生的热量进行回收利用，大大的节约能源使用，降低能耗，减少热量的流失浪费。

An energy saving and environmental protection reduction furnace for polysilicon production

【技术实现步骤摘要】
一种用于多晶硅生产的节能环保还原炉
本技术涉及一种还原炉，具体是一种用于多晶硅生产的节能环保还原炉。
技术介绍
多晶硅是单质硅的一种形态，熔融的单质硅在过冷的条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列呈许多晶核，晶核长成晶面取向不同的晶粒，晶粒结合起来就结晶成多晶硅，在多晶硅进行生产过程中，需要使用到还原炉，即将多晶硅还原炉内安装沉积载体通电发热，在多晶硅还原炉内将高纯度氯化烷与氢气的混合气体加热到1000摄氏度以上发生反应生产硅，硅沉积在上述沉积载体上的过程。但是，目前在电机与底盘之间安装的隔热罩厚度较薄，容易发生崩裂的现象，使得增加成本，且还原炉在使用过程中其内壁会产生热量，热量无法进行有效地利用，造成能源的消耗。因此，本领域技术人员提供了一种用于多晶硅生产的节能环保还原炉，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于多晶硅生产的节能环保还原炉，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于多晶硅生产的节能环保还原炉，包括还原炉主体，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于多晶硅生产的节能环保还原炉，包括还原炉主体(1)，其特征在于，所述还原炉主体(1)的底部固定安装有电极(6)，且还原炉主体(1)的一侧开设有探视孔(5)，所述还原炉主体(1)的底部固定安装在底盘(3)的上表面，且还原炉主体(1)的一侧固定安装有热量回收组件(2)，所述电极(6)的底部贯穿底盘(3)的上表面，所述底盘(3)的底部焊接有支撑座(4)，所述电极(6)与底盘(3)的连接处嵌入安装有防护组件(7)。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于多晶硅生产的节能环保还原炉，包括还原炉主体(1)，其特征在于，所述还原炉主体(1)的底部固定安装有电极(6)，且还原炉主体(1)的一侧开设有探视孔(5)，所述还原炉主体(1)的底部固定安装在底盘(3)的上表面，且还原炉主体(1)的一侧固定安装有热量回收组件(2)，所述电极(6)的底部贯穿底盘(3)的上表面，所述底盘(3)的底部焊接有支撑座(4)，所述电极(6)与底盘(3)的连接处嵌入安装有防护组件(7)。


2.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅生产的节能环保还原炉，其特征在于，所述防护组件(7)包括绝缘层(71)、隔热罩(72)、复合粘层(73)和底座(74)，所述底座(74)的上表面一体式安装有隔热罩(72)，所述隔热罩(72)的内侧从上到下分别固定安装有绝缘层(71)和复合粘层(73)。


3.根据权利要求2所述的一种用于多晶硅生产的节能环保还原炉，其特征在于，所述底座(74)的半径93.5mm，所述隔热罩(72)的半径为120mm，且隔热罩(72)为中空设置，所述隔热罩(72)的厚度为32mm，且隔热罩(72)的切点位置到中空边缘位置的距离为23.5mm。


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【专利技术属性】
技术研发人员：苗康，王辉，
申请(专利权)人：内蒙古东立光伏电子有限公司，
类型：新型
国别省市：内蒙;15