下载电极棒四氟绝缘套分离装置的技术资料

文档序号:24648975

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本实用新型公开了一种电极棒四氟绝缘套分离装置,其包括底座;卡座的卡板邻近定位槽的板面上开设有定位盲孔;支撑座的支撑板上水平穿设螺接有螺杆,螺杆与定位盲孔同轴设置。优点:将带有氮化硅套和四氟绝缘套的电极棒放置于定位槽上,电极棒的一端穿过通孔,...
该专利属于内蒙古鄂尔多斯多晶硅业有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过内蒙古鄂尔多斯多晶硅业有限公司授权不得商用。

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