【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于气体提纯，尤其涉及一种多晶硅还原尾气中三氯氢硅的提纯装置及方法。
技术介绍
1、改良西门子法生产多晶硅技术中，三氯氢硅主要来源于冷氢化工序和还原尾气，还原尾气经尾气回收装置处理后，将高纯氯硅烷分离，分离出的四氯化硅送往冷氢化工序生产三氯氢硅，分离出的二氯氢硅送往精馏反歧化工序生产三氯氢硅，分离出的三氯氢硅进入还原炉继续循环使用，常用的尾气回收装置为还原塔。
2、还原尾气经过尾气回收装置降温、除尘、吸收、解吸、分离等多道工序，流经多个设备及管道，往复循环不断引入和累积b、p等非金属杂质和fe、cr、ni、cu、zn、na、al以及k等金属，导致尾气回收出来的循环三氯氢硅杂质比精馏系统的精制三氯氢硅杂质高。三氯氢硅的杂质含量直接影响多晶硅产品质量，目前行业内针对还原尾气的除杂主要包括吸收、解吸、汽提等方法，但通过这些方法除杂后的氯硅烷中，三氯氢硅中的杂质依然高于精馏系统三氯氢硅的杂质，想要整体提高三氯氢硅纯度，确保多晶硅产品质量必须进一步对还原尾气中的三氯氢硅进行提纯。
技术实现思路
1、针对上述现有技术中存在的问题，本专利技术提供了一种多晶硅还原尾气中三氯氢硅的提纯装置及方法，本专利技术要解决的技术问题是如何实现对还原尾气中三氯氢硅的提纯。
2、为解决上述技术问题，本专利技术提供了一种多晶硅还原尾气中三氯氢硅的提纯装置，包括还原一级脱轻塔和还原二级脱重塔；
3、还原一级脱轻塔通过管路与还原塔的出口连接，还原二级脱重塔通过管路与还原一级
4、进一步的，还原一级脱轻塔通过第一管路与还原塔的出口连接。
5、进一步的，还原二级脱重塔通过第二管路与还原一级脱轻塔的出口连接。
6、进一步的，还原二级脱重塔通过第二管路与还原一级脱轻塔的塔釜连接。
7、本专利技术提供了一种多晶硅还原尾气中三氯氢硅的提纯方法，利用上述的多晶硅还原尾气中三氯氢硅的提纯装置，包括以下步骤：
8、步骤s1：将经过还原塔处理出的含杂质的三氯氢硅通入还原一级脱轻塔；
9、步骤s2：还原一级脱轻塔除去三氯氢硅中的轻组分杂质；
10、步骤s3：经过步骤s2处理后的三氯氢硅从还原一级脱轻塔的塔釜采出，通入还原二级脱重塔，除去三氯氢硅中的重组分杂质，得到提纯后的三氯氢硅。
11、进一步的，所述步骤s2中，脱除的低沸物从还原一级脱轻塔的塔顶采出，去往精馏低沸塔。
12、进一步的，所述步骤s3中，提纯后的三氯氢硅从还原二级脱重塔塔顶采出，进入精馏精制料罐。
13、进一步的，所述步骤s3中，脱除的高沸物从还原二级脱重塔塔釜采出去往精馏高沸塔。
14、进一步的，步骤s1中，含杂质的三氯氢硅中，轻组分杂质0.3-0.8ppb,重组分杂质30-80ppb；步骤s2中，经还原一级脱轻塔处理出来的含有杂质的三氯氢硅中，轻组分杂质0.1-0.2ppb,重组分杂质30-80ppb。
15、进一步的，步骤s3中，提纯后的三氯氢硅中，轻组分杂质0.1-0.2ppb,重组分杂质5-10ppb。
16、本专利技术提供一种多晶硅还原尾气中三氯氢硅的提纯装置及方法，通过设置还原一级脱轻塔和还原二级脱重塔，实现对还原尾气中轻组分杂质和重组分杂质的去除，实现对还原尾气中三氯氢硅的提纯；相比于现有技术，能更高效的除去三氯氢硅中的b、p等非金属杂质和fe、cr、ni、cu、zn、na、al、k等金属杂质，得到高纯三氯氢硅，有利于多晶硅产品品质量提升。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种多晶硅还原尾气中三氯氢硅的提纯装置，其特征在于，包括还原一级脱轻塔和还原二级脱重塔；
2.根据权利要求1所述的多晶硅还原尾气中三氯氢硅的提纯装置，其特征在于，还原一级脱轻塔通过第一管路与还原塔的出口连接。
3.根据权利要求2所述的多晶硅还原尾气中三氯氢硅的提纯装置，其特征在于，还原二级脱重塔通过第二管路与还原一级脱轻塔的出口连接。
4.根据权利要求3所述的多晶硅还原尾气中三氯氢硅的提纯装置，其特征在于，还原二级脱重塔通过第二管路与还原一级脱轻塔的塔釜连接。
5.一种多晶硅还原尾气中三氯氢硅的提纯方法，其特征在于，利用如权利要求1-4任一项所述的多晶硅还原尾气中三氯氢硅的提纯装置，包括以下步骤：
6.根据权利要求5所述的多晶硅还原尾气中三氯氢硅的提纯方法，其特征在于，所述步骤S2中，脱除的低沸物从还原一级脱轻塔的塔顶采出，去往精馏低沸塔。
7.根据权利要求5所述的多晶硅还原尾气中三氯氢硅的提纯方法，其特征在于，所述步骤S3中，提纯后的三氯氢硅从还原二级脱重塔塔顶采出，进入精馏精制料罐。
8.
9.根据权利要求5所述的多晶硅还原尾气中三氯氢硅的提纯方法，其特征在于，步骤S1中，含杂质的三氯氢硅中，轻组分杂质0.3-0.8ppb,重组分杂质30-80ppb；步骤S2中，经还原一级脱轻塔处理出来的含有杂质的三氯氢硅中，轻组分杂质0.1-0.2ppb,重组分杂质30-80ppb。
10.根据权利要求5所述的多晶硅还原尾气中三氯氢硅的提纯方法，其特征在于，步骤S3中，提纯后的三氯氢硅中，轻组分杂质0.1-0.2ppb,重组分杂质5-10ppb。
...【技术特征摘要】
1.一种多晶硅还原尾气中三氯氢硅的提纯装置，其特征在于，包括还原一级脱轻塔和还原二级脱重塔；
2.根据权利要求1所述的多晶硅还原尾气中三氯氢硅的提纯装置，其特征在于，还原一级脱轻塔通过第一管路与还原塔的出口连接。
3.根据权利要求2所述的多晶硅还原尾气中三氯氢硅的提纯装置，其特征在于，还原二级脱重塔通过第二管路与还原一级脱轻塔的出口连接。
4.根据权利要求3所述的多晶硅还原尾气中三氯氢硅的提纯装置，其特征在于，还原二级脱重塔通过第二管路与还原一级脱轻塔的塔釜连接。
5.一种多晶硅还原尾气中三氯氢硅的提纯方法，其特征在于，利用如权利要求1-4任一项所述的多晶硅还原尾气中三氯氢硅的提纯装置，包括以下步骤：
6.根据权利要求5所述的多晶硅还原尾气中三氯氢硅的提纯方法，其特征在于，所述步骤s2中，脱除的低沸物从还原一级脱轻塔的塔顶采出，去往精...
【专利技术属性】
技术研发人员：张京，韩婷婷，雷富荣，
申请(专利权)人：内蒙古鄂尔多斯多晶硅业有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。