一种硅晶圆片贴膜机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种硅晶圆片贴膜机构，包括主体运动总成机构，所述主体运动总成机构上安装有硅晶圆片放置卡盘机构，所述硅晶圆片放置卡盘机构上侧设有切膜罩壳机构，所述切膜罩壳机构安装于主体运动总成机构上。本装置可根据硅晶圆片尺寸大小更换定位摆放的卡盘，以适应多种产品，特殊设计结构让硅晶圆片也卡盘贴合更好，贴膜效果更好。

A film placement mechanism of silicon wafer

【技术实现步骤摘要】
一种硅晶圆片贴膜机构
本技术涉及硅晶圆片
，具体涉及一种硅晶圆片贴膜机构。
技术介绍
硅晶圆片是半导体材料中的主要材料器件，晶圆的原始材料是硅。晶圆所使用的硅来自地壳表面。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.999999999%。晶圆制造厂再把此多晶硅融解，再于融液里种入籽晶，然后将其慢慢拉出，以形成圆柱状的单晶硅晶棒，由于硅晶棒是由一颗晶面取向确定的籽晶在熔融态的硅原料中逐渐生成，此过程称为“长晶”。硅晶棒再经过切段，滚磨，切片，倒角，抛光，激光刻，包装后，即成为硅晶圆片。硅晶圆片（晶圆）上所贴的膜为晶圆切割保护膜主要用做高温环境工作表面处理遮蔽保护，电镀，电泳、超高温烤漆、粉末喷涂及晶片元件端电极使用等。晶圆切割保护膜具有优异的耐高温性，高粘着力、再撕离不残胶性和耐溶剂性等特性，硅晶圆片表面不能受到损伤，损伤后即无法使用所以需要贴膜保护硅晶圆片。现有硅晶圆片贴膜方式，一般为人工拖动保护膜压紧机构，这样的方式容易使保护膜与硅晶圆片表面贴合不平整产生气泡，而且此方式让滚轮与硅晶圆片压合的力不均匀，并且不能调整高度。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种硅晶圆片贴膜机构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种硅晶圆片贴膜机构，包括主体运动总成机构，所述主体运动总成机构上安装有硅晶圆片放置卡盘机构，所述硅晶圆片放置卡盘机构上侧设有切膜罩壳机构，所述切膜罩壳机构安装于主体运动总成机构上；所述主体运动总成机构包括固定底板，所述固定底板后端一侧连接固定板，另一侧连接支撑板，所述固定板和支撑板平行安装，并通过支撑铝型材支撑连接，所述固定板和支撑板之间设有供应辊组，所述供应辊组固定于固定板上，所述供应辊组下侧依次固定有轴总成和二次压紧辊，所述二次压紧辊前侧设有胶辊总成，所述胶辊总成下侧设有导滚总成，所述导滚总成和胶辊总成通过安装板固定于固定板和支撑板之间，所述安装板下端两侧通过支撑块连接线性导向轴一端，所述线性导向轴另一端固定于前板上，所述前板固定于固定底板的前端，所述固定底板的前端还设有上带下带组件，所述上带下带组件挨着前板内侧，可上下移动，所述两侧的线性导向轴之间设有马达，所述马达通过马达安装板安装于固定底板上，所述马达通过同步轮和传动件连接胶辊总成，前侧设有两组硅晶圆片放置卡盘机构固定柱，所述前板上表面安装有锁轴座，两侧安装有前支撑板，所述锁轴座上安装有锁轴。优选地，所述硅晶圆片放置卡盘机构包括主框架卡盘座，所述主框架卡盘座中部连接框架卡盘，下部通过支撑轴连接底板，所述框架卡盘内设有安装卡盘，所述安装卡盘上安装有真空接头和加热器，所述真空接头连接框架真空组件，所述加热器连接加热底座，所述框架真空组件和加热底座固定于主框架卡盘座上，所述安装卡盘中心连接调整轴，所述调整轴上端与安装卡盘连接处套有弹簧档片，下端位于调整螺丝轴内部，所述调整螺丝轴通过调整螺母固定于底板上，所述硅晶圆片放置卡盘机构通过主框架卡盘座固定于硅晶圆片放置卡盘机构固定柱和安装板上。优选地，所述切膜罩壳机构包括切膜罩壳顶板，所述切膜罩壳顶板前部设有切膜罩壳前板，所述切膜罩壳顶板底部连接气弹簧端盖，所述气弹簧端盖连接气弹簧和胶辊总成连接块，所述切膜罩壳前板上安装有锁柄总成和把手，所述切膜罩壳顶板下表面安装有顶部把手总成，所述顶部把手总成通过切刀传动机构连接旋转切刀总成，所述旋转切刀总成固定于切膜罩壳顶板上，所述气弹簧端盖通过胶辊总成连接块连接胶辊总成，所述气弹簧端盖通过前切刀总成连接固定板和支撑板。本技术的技术效果和优点：本装置可根据硅晶圆片尺寸大小更换定位摆放的卡盘，以适应多种产品，特殊设计结构让硅晶圆片也卡盘贴合更好，贴膜效果更好。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术的主体运动总成机构的结构示意图；图3为本技术的硅晶圆片放置卡盘机构的结构示意图；图4为本技术的硅晶圆片放置卡盘机构的主视图；图5为本技术的切膜罩壳机构的结构示意图。图中：1-主体运动总成机构，2-硅晶圆片放置卡盘机构，3-切膜罩壳机构，11-固定底板，12-固定板，13-支撑板，14-支撑铝型材，15-供应辊组，16-轴总成，17-二次压紧辊，18-胶辊总成，19-导滚总成，110-安装板，111-支撑块，112-线性导向轴，113-前板，114-上带下带组件，115-马达，116-马达安装板，117-硅晶圆片放置卡盘机构固定柱，118-锁轴座，119-前支撑板，120-锁轴，21-主框架卡盘座，22-框架卡盘，23-支撑轴，24-底板，25-安装卡盘，26-真空接头，27-加热器，28-框架真空组件，29-加热底座，210-调整轴，211-弹簧档片，212-调整螺丝轴，213-调整螺母，31-切膜罩壳顶板，32-切膜罩壳前板，33-气弹簧端盖，34-气弹簧，35-胶辊总成连接块，36-把手，37-顶部把手总成，38-切刀传动机构，39-旋转切刀总成，310-前切刀总成，311-锁柄总成。具体实施方式为了使本技术的实现技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本技术，在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接或是机械连接，也可以是电连接;可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以两个元件内部的连通。实施例1如图1和图2所示的一种硅晶圆片贴膜机构，包括主体运动总成机构1，所述主体运动总成机构1上安装有硅晶圆片放置卡盘机构2，所述硅晶圆片放置卡盘机构2上侧设有切膜罩壳机构3，所述切膜罩壳机构3安装于主体运动总成机构1上；所述主体运动总成机构1包括固定底板11，所述固定底板11后端一侧连接固定板12，另一侧连接支撑板13，所述固定板12和支撑板13平行安装，并通过支撑铝型材14支撑连接，所述固定板12和支撑板13之间设有供应辊组15，所述供应辊组15固定于固定板12上，所述供应辊组15下侧依次固定有轴总成16和二次压紧辊17，所述二次压紧辊17前侧设有胶辊总成18，所述胶辊总成18下侧设有导滚总成19，所述导滚总成19和胶辊总成18通过安装板110固定于固定板12和支撑板13之间，所述安装板110下端两侧通过支撑块111连接线性导向轴112一端，所述线性导向轴112另一端固定于前板113上，所述前板113固定于固定底板11的前端，所述固定底板11的前端还设有上带下带组件114，所述上带下带组件114挨着前板113内侧，可上下移动，所述两侧的线性导向轴112之间设有马达115，所述马达115通过马达安装板116安装于固定底板11上，所述马达115通过同步轮116和传动件连接胶辊总成18，前侧设有两组硅晶圆片放置卡盘机构固定柱117，所述前板113上表面安装有锁轴座本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅晶圆片贴膜机构，包括主体运动总成机构，其特征在于：所述主体运动总成机构上安装有硅晶圆片放置卡盘机构，所述硅晶圆片放置卡盘机构上侧设有切膜罩壳机构，所述切膜罩壳机构安装于主体运动总成机构上；/n所述主体运动总成机构包括固定底板，所述固定底板后端一侧连接固定板，另一侧连接支撑板，所述固定板和支撑板平行安装，并通过支撑铝型材支撑连接，所述固定板和支撑板之间设有供应辊组，所述供应辊组固定于固定板上，所述供应辊组下侧依次固定有轴总成和二次压紧辊，所述二次压紧辊前侧设有胶辊总成，所述胶辊总成下侧设有导滚总成，所述导滚总成和胶辊总成通过安装板固定于固定板和支撑板之间，所述安装板下端两侧通过支撑块连接线性导向轴一端，所述线性导向轴另一端固定于前板上，所述前板固定于固定底板的前端，所述固定底板的前端还设有上带下带组件，所述上带下带组件挨着前板内侧，可上下移动，所述两侧的线性导向轴之间设有马达，所述马达通过马达安装板安装于固定底板上，所述马达通过同步轮和传动件连接胶辊总成，前侧设有两组硅晶圆片放置卡盘机构固定柱，所述前板上表面安装有锁轴座，两侧安装有前支撑板，所述锁轴座上安装有锁轴。/n

【技术特征摘要】
1.一种硅晶圆片贴膜机构，包括主体运动总成机构，其特征在于：所述主体运动总成机构上安装有硅晶圆片放置卡盘机构，所述硅晶圆片放置卡盘机构上侧设有切膜罩壳机构，所述切膜罩壳机构安装于主体运动总成机构上；
所述主体运动总成机构包括固定底板，所述固定底板后端一侧连接固定板，另一侧连接支撑板，所述固定板和支撑板平行安装，并通过支撑铝型材支撑连接，所述固定板和支撑板之间设有供应辊组，所述供应辊组固定于固定板上，所述供应辊组下侧依次固定有轴总成和二次压紧辊，所述二次压紧辊前侧设有胶辊总成，所述胶辊总成下侧设有导滚总成，所述导滚总成和胶辊总成通过安装板固定于固定板和支撑板之间，所述安装板下端两侧通过支撑块连接线性导向轴一端，所述线性导向轴另一端固定于前板上，所述前板固定于固定底板的前端，所述固定底板的前端还设有上带下带组件，所述上带下带组件挨着前板内侧，可上下移动，所述两侧的线性导向轴之间设有马达，所述马达通过马达安装板安装于固定底板上，所述马达通过同步轮和传动件连接胶辊总成，前侧设有两组硅晶圆片放置卡盘机构固定柱，所述前板上表面安装有锁轴座，两侧安装有前支撑板，所述锁轴座上安装有锁轴。


2.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆宁宁，
申请(专利权)人：上海幂帆电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31