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本实用新型公开了一种硅晶圆片贴膜机构，包括主体运动总成机构，所述主体运动总成机构上安装有硅晶圆片放置卡盘机构，所述硅晶圆片放置卡盘机构上侧设有切膜罩壳机构，所述切膜罩壳机构安装于主体运动总成机构上。本装置可根据硅晶圆片尺寸大小更换定位摆放的...
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