一种蚀刻与甩干一体式机台以及甩干机构制造技术

本发明专利技术公开一种蚀刻与甩干一体式机台以及甩干机构，通过动力机构、控制机构、导轨、固定架的相互配合实现晶圆的甩干。首先位于甩干机构底部的导轨将从固定架内伸出，用于晶舟的放置。随后经所导轨将带晶舟一同移动至所述固定架中，随后通过动力机构工作，所述控制机构、导轨、固定架以及位于所述固定架内的晶舟将一同转动，甩干晶圆上残留的液体。通过动力机构、控制机构、导轨、固定架的相互配合将大幅提升晶圆的甩干效率，同时导轨的可伸缩设置将提高晶舟的运输效率。

An integrated etching and drying machine and drying mechanism

【技术实现步骤摘要】
一种蚀刻与甩干一体式机台以及甩干机构
本专利技术涉及晶圆加工设备领域，尤其涉及一种蚀刻与甩干一体式机台以及甩干机构。
技术介绍
湿蚀刻是利用化学药液腐蚀去除材质上未被光阻覆盖的部分，从而达到蚀刻出我们所需要的深度和图形。而在这个蚀刻步骤中，如何把药液从晶圆上去除甩干也是其中重要的步骤。现有的去除晶圆上的药液和甩干步骤是：当晶舟从化学药液槽里蚀刻完后，机械手臂抓晶舟到输出端，然后由操作人员开启机台门，拿取到甩干机中去甩干和清洁。在实现本专利技术的过程中，专利技术人发现现有技术中存在如下问题：若操作人员不在场，晶圆无法及时清洁甩干。操作人员手拿湿晶舟，一方面晶舟由于湿润比较滑，容易引发破片事故；另一方面，操作人员直接用手拿晶舟，可能表面还存在一些化学药液等，对于人员的人身安全存在危险。同时操作需要的时间较长，效率较低。
技术实现思路
为此，需要提供一种蚀刻与甩干一体式机台以及甩干机构，以避免人工抓取晶舟时，晶圆破片以及化学药液伤害人体等状况的发生；同时提高制程效率。为实现上述目的，专利技术人提供了一种甩干机构，包括：动力机构、控制机构、导轨、固定架；所述动力机构与所述控制机构相连接，用于提供动力；所述固定架设置于所述所述控制机构一侧，用于固定晶舟的位置，且所述固定架上还设置有用于容置晶舟的孔洞；所述导轨可伸缩设置于控制机构一侧，并与所述固定架滑动连接，用于晶舟的放置。进一步地，还包括：手臂杆，所述手臂杆可伸缩、可旋转的设置于所述控制机构上；且所述手臂杆远离所述控制机构的一端上还设置有卡板，并用于固定晶舟。进一步地，所述手臂杆还包括：软胶片，所述软胶片用于贴合、抓牢晶舟。进一步地，所述导轨为两根导轨杆，两根导轨杆的间距为晶舟底部支撑部之间的间距，且所述导轨杆分别用于容置晶舟底部的两个支撑部。进一步地，还包括：第一传感器；所述第一传感器设置于所述一种甩干机构靠近固定架的一侧，用于感应晶舟的位置信号，且当所述导轨伸出时，位于所述第一传感器上方。进一步地，还包括：第二传感器；所述第二传感器设置于所述导轨上，用于感应晶舟的位置信号。进一步地，还包括：甩干机门；所述甩干机门可升降的设置在所述固定架上。专利技术人提供了一种蚀刻与甩干一体式机台，包括：，本专利技术任意一项实施例所述一种甩干机构、机台手臂、化学反应槽；所述化学反应槽设置于所述甩干机构的一侧，所述机台手臂设置于所述化学反应槽的一侧，用于运送、抓取晶舟。进一步地，还包括：载入端、输出端、第一快门、第二快门；所述载入端设置于化学反应槽远离甩干机构的一侧，所述输出端设置于甩干机构远离化学反应槽，且所述化学反应槽、载入端、输出端位于同一水平线上；所述第一快门设置于所述载入端与化学反应槽之间，用于分隔载入端与化学反应槽，所述第二快门设置于所述甩干机构与化学反应槽之间，用于分隔甩干机构与化学反应槽。进一步地，还包括：控制器；所述控制器与所述一种蚀刻与甩干一体式机台连接，所述控制器用于执行如下方法步骤：驱动机台手臂抓取晶舟至化学反应槽；驱动机台手臂抓取化学反应槽中制程完成后的晶舟移动至第一传感器上方；控制器接受到第一传感器信号，驱动甩干机门开启；驱动导轨伸出，驱动机台手臂将晶舟放置于导轨上；控制器接受到第二传感器信号，驱动手臂杆伸出，随后驱动手臂杆旋转；驱动手臂杆和导轨一起伸进甩干机构内，并驱动甩干机门关闭；驱动动力机构工作；驱动手臂杆、导轨伸出，驱动机台手臂抓取晶舟，移出甩干机构。区别于现有技术，上述技术方案，通过动力机构、控制机构、导轨、固定架的相互配合实现晶圆的甩干。在实际操作时，首先位于甩干机构底部的导轨将从固定架内伸出，用于晶舟的放置。需要说明的是，所述导轨可以为可伸缩设置于控制机构上的板，亦或是其他可以容置晶舟的容器；同时所述导轨的长度应大于固定架厚度，且小于、等于所述控制机构厚度加上所述固定架厚度，并能够使晶舟平稳的放置于导轨上，因此所述导轨所能伸出的距离为位于控制机构内的长度；具体的，当需要放置晶舟时，所述导轨将从固定架内伸出，用于放置晶舟。随后经所导轨将带晶舟一同移动至所述固定架中，需要说明的是，所述固定架用于固定、限定晶舟的位置，使晶舟在甩干时不会相对于所述固定架晃动，具体的，所述固定架上设有用于容置晶舟的孔洞，所述孔洞与晶舟大小、形状相对应，当带有晶舟的导轨缩回所述固定架内时，晶舟正好嵌入所述固定架内部。随后通过动力机构工作，所述控制机构、导轨、固定架以及位于所述固定架内的晶舟将一同转动，甩干晶圆上残留的液体。通过动力机构、控制机构、导轨、固定架的相互配合将大幅提升晶圆的甩干效率，同时导轨的可伸缩设置将提高晶舟的运输效率。附图说明图1为导轨伸出甩干机构结构图；图2为晶舟置于为导轨的结构图；图3为手臂杆伸出甩干机构结构图；图4为手臂杆与晶舟卡合结构图；图5为晶舟置于甩干机构内的结构图；图6为一种蚀刻与甩干一体式机台的结构图；图7为手臂杆的结构图；图8为导轨杆的结构图。附图标记说明：1、甩干机构；101、动力机构；102、控制机构；103、导轨；104、固定架；105、手臂杆；1051、卡板；1052、软胶片；106、第一传感器；107、第二传感器；108、甩干机门；2、机台手臂；3、化学反应槽；4、载入端；5、输出端；6、第一快门；7、第二快门；8、晶舟；801、支撑部。具体实施方式为详细说明技术方案的
技术实现思路
、构造特征、所实现目的及效果，以下结合具体实施例并配合附图详予说明。请参阅图1至图5，在本实施例中，专利技术人提供了一种甩干机构，包括：动力机构101、控制机构102、导轨103、固定架104；所述动力机构101与所述控制机构102相连接，用于提供动力；所述固定架104设置于所述所述控制机构102一侧，用于固定晶舟8的位置，且所述固定架104上还设置有用于容置晶舟8的孔洞；所述导轨103可伸缩设置于控制机构102一侧，并与所述固定架104滑动连接，用于晶舟8的放置。上述技术方案，通过动力机构101、控制机构102、导轨103、固定架104的相互配合实现晶圆的甩干。在实际操作时，首先位于甩干机构1底部的导轨103通过与所述固定架104的滑动连接，所述导轨103将从固定架104内伸出，用于晶舟8的放置。需要说明的是，所述导轨103可以为可伸缩设置于控制机构102上的板，亦或是其他可以容置晶舟8的容器；同时所述导轨103的长度应大于固定架104厚度，且小于、等于所述控制机构102厚度加上所述固定架104厚度，并能够使晶舟8平稳的放置于导轨103上，因此所述导轨103所能伸出的距离为位于控制机构102内的长度；具体的，当需要放置晶舟8时，所述导轨本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种甩干机构，其特征在于，包括：动力机构、控制机构、导轨、固定架；/n所述动力机构与所述控制机构相连接，用于提供动力；/n所述固定架设置于所述所述控制机构一侧，用于固定晶舟的位置，且所述固定架上还设置有用于容置晶舟的孔洞；所述导轨可伸缩设置于控制机构一侧，并与所述固定架滑动连接，用于晶舟的放置。/n

【技术特征摘要】
1.一种甩干机构，其特征在于，包括：动力机构、控制机构、导轨、固定架；
所述动力机构与所述控制机构相连接，用于提供动力；
所述固定架设置于所述所述控制机构一侧，用于固定晶舟的位置，且所述固定架上还设置有用于容置晶舟的孔洞；所述导轨可伸缩设置于控制机构一侧，并与所述固定架滑动连接，用于晶舟的放置。


2.根据权利要求1所述一种甩干机构，其特征在于，还包括：手臂杆，
所述手臂杆可伸缩、可旋转的设置于所述控制机构上；且所述手臂杆远离所述控制机构的一端上还设置有卡板，并用于固定晶舟。


3.根据权利要求2所述一种甩干机构，其特征在于，所述手臂杆还包括：软胶片，所述软胶片用于贴合、抓牢晶舟。


4.根据权利要求1所述一种甩干机构，其特征在于，所述导轨为两根导轨杆，两根导轨杆的间距为晶舟底部支撑部之间的间距，且所述导轨杆分别用于容置晶舟底部的两个支撑部。


5.根据权利要求1所述一种甩干机构，其特征在于，还包括：第一传感器；所述第一传感器设置于所述一种甩干机构靠近固定架的一侧，用于感应晶舟的位置信号，且当所述导轨伸出时，位于所述第一传感器上方。


6.根据权利要求1所述一种甩干机构，其特征在于，还包括：第二传感器；所述第二传感器设置于所述导轨上，用于感应晶舟的位置信号。


7.根据权利要求5所述一种甩干机构，其特征在于，还包括：甩干机门；所述甩干机门可升降的设置在所述固...

【专利技术属性】
技术研发人员：温春兰，吴海达，
申请(专利权)人：福建省福联集成电路有限公司，
类型：发明
国别省市：福建;35