【技术实现步骤摘要】
一种基于三维石墨烯薄膜的增强红外吸收器件
本技术涉及红外传感领域，具体涉及一种基于三维石墨烯薄膜的增强红外吸收器件。
技术介绍
红外吸收光谱是由于分子能选择性地吸收某些波长的红外线，在红外线照射下，能够获得物质的吸收光谱。红外吸收光谱具有测试迅速、操作方便、重复性好等优点，因此红外吸收光谱已经成为现代结构化学和分析化学最常用和不可缺少的工具。但是，现有基于红外吸收光谱探测技术的灵敏度不高，提高红外吸收光谱的灵敏度和检测极限是红外吸收光谱技术的难点。
技术实现思路
为提高基于红外吸收光谱技术的探测灵敏度，本技术提供了一种基于三维石墨烯薄膜的增强红外吸收器件，该器件包括衬底、侧壁、顶壁、石墨烯薄膜、微结构层，微结构层由周期排布的微结构构成，衬底、侧壁和顶壁构成微流通道，石墨烯薄膜和微结构层置于微流通道内，石墨烯薄膜置于微结构上，石墨烯薄膜为波浪形或“之”字形。更进一步地，所述侧壁为硅材料，所述顶壁为硅或氮化硅材料。更进一步地，所述微结构为二氧化硅材料。更进一步地，所述微结构为方形或圆柱...
【技术保护点】
1.一种基于三维石墨烯薄膜的增强红外吸收器件，包括衬底、侧壁、顶壁、石墨烯薄膜、微结构层，微结构层由周期排布的微结构构成，衬底、侧壁和顶壁构成微流通道，其特征在于：石墨烯薄膜和微结构层置于微流通道内，石墨烯薄膜置于微结构上，石墨烯薄膜为波浪形。/n
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种基于三维石墨烯薄膜的增强红外吸收器件，包括衬底、侧壁、顶壁、石墨烯薄膜、微结构层，微结构层由周期排布的微结构构成，衬底、侧壁和顶壁构成微流通道，其特征在于：石墨烯薄膜和微结构层置于微流通道内，石墨烯薄膜置于微结构上，石墨烯薄膜为波浪形。
2.如权利要求1所述的基于三维石墨烯薄膜的增强红外吸收器件，其特征在于：所述侧壁为硅材料，所述顶壁为硅或氮化硅材料。
3.如权利要求2所述的基于三维石墨烯薄膜的增强红外吸收器件，其特征在于：所述微结构为二氧化硅材料。
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：金华伏安光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33
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