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一种基于三维石墨烯薄膜的增强红外吸收器件制造技术
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下载一种基于三维石墨烯薄膜的增强红外吸收器件的技术资料
文档序号:24541134
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本实用新型涉及一种基于三维石墨烯薄膜的增强红外吸收器件,该器件包括衬底、侧壁、顶壁、石墨烯薄膜、微结构层,微结构层由周期排布的微结构构成,衬底、侧壁和顶壁构成微流通道,石墨烯薄膜和微结构层置微流通道内,石墨烯薄膜置于微结构上,石墨烯薄膜为波...
该专利属于金华伏安光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过金华伏安光电科技有限公司授权不得商用。
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