【技术实现步骤摘要】
直燃回流热回收高效率有机废气处理系统
本技术涉及一种直燃回流热回收高效率有机废气处理系统,尤其是涉及一种用来将燃烧后的气体能进入该吸附转轮的吸附区循环利用,且不经过该烟囱来进行排放,使有机废气的处理效率能提升,而适用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的有机废气处理系统或类似设备。
技术介绍
目前在半导体产业或光电产业的制造生产过程中都会产生挥发性有机气体(VOC),因此,在各厂区都会安装处理挥发性有机气体(VOC)的处理设备,以避免挥发性有机气体(VOC)直接排入空气中而造成空气污染。而目前经由该处理设备所脱附的浓缩气体大都是输送到该焚烧炉来进行燃烧,再将燃烧后的气体来输送到烟囱来进行排放。因此,本技术的专利技术人有鉴于上述缺失,期待能提出一种具有提升有机废气处理效率的直燃回流热回收高效率有机废气处理系统,令使用者可轻易操作组装,于是潜心研究思考、设计组装制造,以给使用者提供便利,是本技术的专利技术人进行该研发的专利技术动机。
技术实现思路
本技术的主要目的,在于提供一种直燃回流热回收高效率有机废气处理系统,主要将直燃式焚烧炉的排气能经由至少三个以上的热交换器来进行热回收,并将该直燃式焚烧炉的排气再经由一个冷却器来进行热交换,而得以进行冷却后再输送到该除尘设备中,以进行粉尘或二氧化硅(SiO2)等氧化物的分离,最后再将由该除尘设备所输出的气体输送到该废气进气管路,使燃烧后的气体能进入该吸附转轮的吸附区循环利用,而不经过该烟囱来进行排放,让该烟囱的排放量能降低,并使有机废气的处理效率能提升,进 ...
【技术保护点】
1.一种直燃回流热回收高效率有机废气处理系统,其特征在于,包括:/n一直燃式焚烧炉,该直燃式焚烧炉上设有一进气口及一出气口;/n一吸附转轮,该吸附转轮上设有吸附区、冷却区及脱附区,该吸附转轮连接有一废气进气管路、一净气排放管路、一冷却气进气管路、一冷却气输送管路、一热气输送管路及一脱附浓缩气体管路,该废气进气管路的另一端连接至该吸附转轮的吸附区的一侧,该净气排放管路的一端与该吸附转轮的吸附区的另一侧连接,该冷却气进气管路的一端与该吸附转轮的冷却区的一侧连接,该冷却气输送管路的一端与该吸附转轮的冷却区的另一侧连接,该热气输送管路的一端与该吸附转轮的脱附区的另一侧连接,该脱附浓缩气体管路的一端与该吸附转轮的脱附区的一侧连接;/n一第一热交换器,该第一热交换器上设有第一冷侧管路及第一热侧管路,该第一热交换器连接有一第一热气回收管路、一第一焚烧热气回收管路及一第一脱附浓缩气体输送管路,该第一焚烧热气回收管路的一端与该第一热侧管路的一端连接,该第一焚烧热气回收管路的另一端与该直燃式焚烧炉的出气口连接,该第一热气回收管路的一端与该第一热侧管路的另一端连接,该第一热气回收管路的另一端与该第二热侧管路 ...
【技术特征摘要】
20190201 TW 1082016791.一种直燃回流热回收高效率有机废气处理系统,其特征在于,包括:
一直燃式焚烧炉,该直燃式焚烧炉上设有一进气口及一出气口;
一吸附转轮,该吸附转轮上设有吸附区、冷却区及脱附区,该吸附转轮连接有一废气进气管路、一净气排放管路、一冷却气进气管路、一冷却气输送管路、一热气输送管路及一脱附浓缩气体管路,该废气进气管路的另一端连接至该吸附转轮的吸附区的一侧,该净气排放管路的一端与该吸附转轮的吸附区的另一侧连接,该冷却气进气管路的一端与该吸附转轮的冷却区的一侧连接,该冷却气输送管路的一端与该吸附转轮的冷却区的另一侧连接,该热气输送管路的一端与该吸附转轮的脱附区的另一侧连接,该脱附浓缩气体管路的一端与该吸附转轮的脱附区的一侧连接;
一第一热交换器,该第一热交换器上设有第一冷侧管路及第一热侧管路,该第一热交换器连接有一第一热气回收管路、一第一焚烧热气回收管路及一第一脱附浓缩气体输送管路,该第一焚烧热气回收管路的一端与该第一热侧管路的一端连接,该第一焚烧热气回收管路的另一端与该直燃式焚烧炉的出气口连接,该第一热气回收管路的一端与该第一热侧管路的另一端连接,该第一热气回收管路的另一端与该第二热侧管路的一端连接,该第一脱附浓缩气体输送管路的一端与该第一冷侧管路的另一端连接,该第一脱附浓缩气体输送管路的另一端与该直燃式焚烧炉的进气口连接;
一第二热交换器,该第二热交换器上设有第二冷侧管路及第二热侧管路,该第二冷侧管路的一端与该冷却气输送管路的另一端连接,该第二冷侧管路的另一端与该热气输送管路的另一端连接;
一第三热交换器,该第三热交换器上设有第三冷侧管路及第三热侧管路,该第三热交换器连接有一第三脱附浓缩气体输送管路及一第三热气回收管路,该第三冷侧管路的一端与该脱附浓缩气体管路的另一端连接,该第三脱附浓缩气体输送管路的一端与该第三冷侧管路的另一端连接,该第三脱附浓缩气体输送管路的另一端与该第一冷侧管路的一端连接,该第三热气回收管路的一端与该第三热侧管路的一端连接,该第三热气回收管路的另一端与该第二热侧管路的另一端连接;
一冷却器,该冷却器内设有冷却水管路,该冷却器连接有一冷却热气回收管路,该冷却热气回收管路的另一端与该第三热侧管路的另一端连接;
一除尘设备,该除尘设备连接有一除尘进气管路及一除尘出气管路,该除尘进气管路的一端与该除尘设备连接,该除尘进气管路的另一端与该冷却器连接,该除尘出气管路的一端与该除尘设备连接,该除尘出气管路的另一端与该废气进气管路连接;以及
一烟囱,该烟囱与该吸附转轮的净气排放管路的另一端连接。
2.一种直燃回流热回收高效率有机废气处理系统,其特征在于,包括:
一直燃式焚烧炉,该直燃式焚烧炉上设有一进气口及一出气口;
一吸附转轮,该吸附转轮上设有吸附区、冷却区及脱附区,该吸附转轮连接有一废气进气管路、一净气排放管路、一冷却气进气管路、一冷却气输送管路、一热气输送管路及一脱附浓缩气体管路,该废气进气管路的另一端连接至该吸附转轮的吸附区的一侧,该净气排放管路的一端与该吸附转轮的吸附区的另一侧连接,该冷却气进气管路的一端与该吸附转轮的冷却区的一侧连接,该冷却气输送管路的一端与该吸附转轮的冷却区的另一侧连接,该热气输送管路的一端与该吸附转轮的脱附区的另一侧连接,该脱附浓缩气体管路的一端与该吸附转轮的脱附区的一侧连接;
一第一热交换器,该第一热交换器上设有第一冷侧管路及第一热侧管路,该第一热交换器连接有一第一热气回收管路、一第一焚烧热气回收管路及一第一脱附浓缩气体输送管路,该第一焚烧热气回收管路的一端与该第一热侧管路的一端连接,该第一焚烧热气回收管路的另一端与该直燃式焚烧炉的出气口连接,该第一热气回收管路的一端与该第一热侧管路的另一端连接,该第一热气回收管路的另一端与该第二热侧管路的一端连接,该第一脱附浓缩气体输送管路的一端与该第一冷...
【专利技术属性】
技术研发人员:郑石治,扶亚民,
申请(专利权)人:华懋科技股份有限公司,上海华懋环保节能设备有限公司,
类型:新型
国别省市:中国台湾;71
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