微孔闭合检测方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种微孔闭合检测方法及装置，涉及微孔检测领域。方法包括：通过压力传感器读取系统的第一空腔压力值并计算第一空腔压力值与真空泵的预先设定的恒压阈值的第一差值；根据第一空腔压力值和电机运行步数的拟合关系，获取对应拟合曲线；根据对应拟合曲线获取第一差值对应的电机运行步数差值；按电机运行步数差值运行电机，并通过压力传感器读取系统的第二空腔压力值；计算第一空腔压力值和第二空腔压力值间的第二差值；根据第二差值和微孔孔径的线性拟合关系检测微孔闭合状态。本发明专利技术实施例的微孔闭合检测方法及装置通过根据第二差值和微孔孔径的线性拟合关系检测微孔闭合状态，从而达到了在微孔变化的情况下保证检测精度的技术效果。

Method and device of microporous closure detection

【技术实现步骤摘要】
微孔闭合检测方法及装置
本专利技术涉及微孔检测
，尤其是涉及一种微孔闭合检测方法及装置。
技术介绍
目前，现有算法只适用于微孔孔径不变化的情况，对所产生的压力泄露进行补偿，以达到控制密封系统保持恒压。当微孔变小甚至封闭时，现有算法会造成压力过调，过调后压力稳定控制反馈速度慢，影响测试结果甚至造成错误停机。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的目的在于提供一种微孔闭合检测方法及装置，以改善现有算法只适用于微孔孔径不变化的情况的技术问题。第一方面，本专利技术实施例提供了一种微孔闭合检测方法，所述方法包括以下步骤：通过压力传感器读取系统的第一空腔压力值，并计算所述第一空腔压力值与真空泵的预先设定的恒压阈值的第一差值；根据所述第一空腔压力值和电机运行步数的拟合关系，获取对应拟合曲线；根据所述对应拟合曲线获取所述第一差值对应的电机运行步数差值；按所述电机运行步数差值运行电机，并通过所述压力传感器读取系统的第二空腔压力值；计算所述第一空腔压力值和所述第二空腔压力值间的第二差值；根据所述第二差值和微孔孔径的线性拟合关系检测微孔闭合状态。结合第一方面，本专利技术实施例提供了第一方面的第一种可能的实施方式，其中，所述第一空腔压力值为恒压值；所述通过压力传感器读取系统的第一空腔压力值，并计算所述空腔压力值与真空泵的预先设定的恒压阈值的第一差值的步骤之前，所述方法还包括：通过温控压力测量板进行压力采集，获取压力校正参数；将所述压力校正参数经由通信接口发送至电机驱动板，利用所述电机驱动板保持第一空腔压力值。结合第一方面，本专利技术实施例提供了第一方面的第二种可能的实施方式，其中，所述根据所述第一空腔压力值和电机运行步数的拟合关系，获取对应拟合曲线的步骤，包括：获取至少三组所述第一空腔压力值和电机运行步数；对所述至少三组所述第一空腔压力值和所述电机运行步数进行拟合，获取对应拟合曲线。结合第一方面，本专利技术实施例提供了第一方面的第三种可能的实施方式，其中，所述根据所述第二差值和微孔孔径的线性拟合关系检测微孔闭合状态的步骤，包括：记录所述微孔孔径为0％、50％、100％时分别对应的第二差值，获取对应三个坐标点；对所述对应三个坐标点进行线性拟合，获取所述第二差值和所述微孔孔径的拟合直线；根据所述拟合直线获取任一所述第二差值对应的所述微孔孔径，检测微孔闭合状态。结合第一方面，本专利技术实施例提供了第一方面的第四种可能的实施方式，其中，所述电机为步进电机。第二方面，本专利技术实施例还提供一种微孔闭合检测装置，所述装置包括：第一读取模块，用于通过压力传感器读取系统的第一空腔压力值，并计算所述第一空腔压力值与真空泵的预先设定的恒压阈值的第一差值；曲线获取模块，用于根据所述第一空腔压力值和电机运行步数的拟合关系，获取对应拟合曲线；差值获取模块，用于根据所述对应拟合曲线获取所述第一差值对应的电机运行步数差值；第二读取模块，用于按所述电机运行步数差值运行电机，并通过所述压力传感器读取系统的第二空腔压力值；差值计算模块，用于计算所述第一空腔压力值和所述第二空腔压力值间的第二差值；检测模块，用于根据所述第二差值和微孔孔径的线性拟合关系检测微孔闭合状态。结合第二方面，本专利技术实施例提供了第二方面的第一种可能的实施方式，其中，所述第一空腔压力值为恒压值；所述第一读取模块用于：通过温控压力测量板进行压力采集，获取压力校正参数；将所述压力校正参数经由通信接口发送至电机驱动板，利用所述电机驱动板保持第一空腔压力值。结合第二方面，本专利技术实施例提供了第二方面的第二种可能的实施方式，其中，所述检测模块用于：记录所述微孔孔径为0％、50％、100％时分别对应的第二差值，获取对应三个坐标点；对所述对应三个坐标点进行线性拟合，获取所述第二差值和所述微孔孔径的拟合直线；根据所述拟合直线获取任一所述第二差值对应的所述微孔孔径，检测微孔闭合状态。第三方面，本专利技术实施例还提供一种服务器，所述服务器包括：处理器和存储器，所述存储器存储有能够被所述处理器执行的计算机可执行指令，所述处理器执行所述计算机可执行指令以实现上文所述的方法。第四方面，本专利技术实施例还提供一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机可执行指令，所述计算机可执行指令在被处理器调用和执行时，所述计算机可执行指令促使处理器实现上文所述的方法。本专利技术实施例带来了以下有益效果：本专利技术实施例提供的一种微孔闭合检测方法及装置，首先计算第一空腔压力值与真空泵的预先设定的恒压阈值的第一差值，并根据第一空腔压力值和电机运行步数的拟合关系获取对应拟合曲线，然后根据对应拟合曲线获取电机运行步数差值，按电机运行步数差值运行电机并通过压力传感器读取系统的第二空腔压力值，最后计算第一空腔压力值和第二空腔压力值间的第二差值并根据第二差值和微孔孔径的线性拟合关系检测微孔闭合状态。本专利技术实施例的微孔闭合检测方法及装置通过根据第二差值和微孔孔径的线性拟合关系检测微孔闭合状态，从而达到了在微孔变化的情况下保证检测精度的技术效果。本专利技术的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本专利技术而了解。本专利技术的目的和其他优点在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构中实现和获得。为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下文特举优选实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。附图说明为了更清楚地说明本专利技术的具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图进行简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例提供的一种微孔闭合检测方法的流程图；图2为本专利技术实施例提供的另一种微孔闭合检测方法的流程图；图3为本专利技术实施例提供的一种微孔闭合检测装置的结构框图；图4为本专利技术实施例提供的一种服务器的结构示意图。具体实施方式为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本专利技术的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。目前，现有算法只适用于微孔孔径不变化的情况，对所产生的压力泄露进行补偿，以达到控制密封系统保持恒压。当微孔变小甚至封闭时，现有算法会造成压力过调，过调后压力稳定控制反馈速度慢，影响测试结果甚至造成错误停机。基于此，本专利技术实施例提供了一种微孔闭合检测方法及装置，以缓解上述问题。为了便于对本实施例进行理解，首先对本专利技术实施例所公本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微孔闭合检测方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：/n通过压力传感器读取系统的第一空腔压力值，并计算所述第一空腔压力值与真空泵的预先设定的恒压阈值的第一差值；/n根据所述第一空腔压力值和电机运行步数的拟合关系，获取对应拟合曲线；/n根据所述对应拟合曲线获取所述第一差值对应的电机运行步数差值；/n按所述电机运行步数差值运行电机，并通过所述压力传感器读取系统的第二空腔压力值；/n计算所述第一空腔压力值和所述第二空腔压力值间的第二差值；/n根据所述第二差值和微孔孔径的线性拟合关系检测微孔闭合状态。/n

【技术特征摘要】
1.一种微孔闭合检测方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：
通过压力传感器读取系统的第一空腔压力值，并计算所述第一空腔压力值与真空泵的预先设定的恒压阈值的第一差值；
根据所述第一空腔压力值和电机运行步数的拟合关系，获取对应拟合曲线；
根据所述对应拟合曲线获取所述第一差值对应的电机运行步数差值；
按所述电机运行步数差值运行电机，并通过所述压力传感器读取系统的第二空腔压力值；
计算所述第一空腔压力值和所述第二空腔压力值间的第二差值；
根据所述第二差值和微孔孔径的线性拟合关系检测微孔闭合状态。


2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一空腔压力值为恒压值；
所述通过压力传感器读取系统的第一空腔压力值，并计算所述空腔压力值与真空泵的预先设定的恒压阈值的第一差值的步骤之前，所述方法还包括：
通过温控压力测量板进行压力采集，获取压力校正参数；
将所述压力校正参数经由通信接口发送至电机驱动板，利用所述电机驱动板保持第一空腔压力值。


3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述第一空腔压力值和电机运行步数的拟合关系，获取对应拟合曲线的步骤，包括：
获取至少三组所述第一空腔压力值和电机运行步数；
对所述至少三组所述第一空腔压力值和所述电机运行步数进行拟合，获取对应拟合曲线。


4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述第二差值和微孔孔径的线性拟合关系检测微孔闭合状态的步骤，包括：
记录所述微孔孔径为0％、50％、100％时分别对应的第二差值，获取对应三个坐标点；
对所述对应三个坐标点进行线性拟合，获取所述第二差值和所述微孔孔径的拟合直线；
根据所述拟合直线获取任一所述第二差值对应的所述微孔孔径，检测微孔闭合状态。


5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述电机为步进电机。<...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈堃，
申请(专利权)人：美高怡生生物技术北京有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11