一种坩埚夹持装置制造方法及图纸

技术编号:24480946 阅读:42 留言:0更新日期:2020-06-12 22:13
本实用新型专利技术实施例提供了一种坩埚夹持装置,所述坩埚夹持装置包括主梁、第一夹臂、第二夹臂、第一夹爪和第二夹爪;所述第一夹臂和所述第二夹臂分别设置在所述主梁的两端,所述第一夹臂和/或所述第二夹臂与所述主梁滑动连接;所述第一夹爪与所述第一夹臂连接,所述第二夹爪与所述第二夹臂连接,所述第一夹爪与所述第二夹爪之间形成夹持所述坩埚的夹持空间。本实用新型专利技术中通过少量零件之间的滑动连接即可实现对坩埚的夹持,结构简单,容易操纵,且更为节省成本。

A crucible clamping device

【技术实现步骤摘要】
一种坩埚夹持装置
本技术涉及坩埚转运领域,特别是涉及一种坩埚夹持装置。
技术介绍
石英坩埚是制备单晶硅的必备工具,是制备太阳能行业、半导体行业晶体硅不可或缺的基础工具。在石英坩埚制造过程中,出于不同工序工艺的需求需要对坩埚进行转运。目前,除了传统的人力搬运翻转坩埚,还有一种自动化的夹持装置,通过利用气囊的充气和放气实现夹持装置中夹持空间的缩小或扩大,从而实现对坩埚的夹持。专利技术人在研究上述现有技术的过程中发现,上述现有技术方案存在如下缺点:现有的这种自动夹持装置,由于使用了气囊,因此与气囊配合使用的附件较多,导致整个夹持装置结构复杂,不便于操纵与维修维护,此外,制造成本还较高。
技术实现思路
本技术提供一种坩埚夹持装置,旨在解决现有坩埚夹持装置结构复杂且成本高的问题。本技术实施例提供了一种坩埚夹持装置,所述坩埚夹持装置包括主梁、第一夹臂、第二夹臂、第一夹爪和第二夹爪;所述第一夹臂和所述第二夹臂分别设置在所述主梁的两端,所述第一夹臂和/或所述第二夹臂与所述主梁滑动连接;所述第一夹爪与所述第本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种坩埚夹持装置,其特征在于,所述坩埚夹持装置包括主梁、第一夹臂、第二夹臂、第一夹爪和第二夹爪;/n所述第一夹臂和所述第二夹臂分别设置在所述主梁的两端,所述第一夹臂和/或所述第二夹臂与所述主梁滑动连接;/n所述第一夹爪与所述第一夹臂连接,所述第二夹爪与所述第二夹臂连接,所述第一夹爪与所述第二夹爪之间形成夹持所述坩埚的夹持空间。/n

【技术特征摘要】
1.一种坩埚夹持装置,其特征在于,所述坩埚夹持装置包括主梁、第一夹臂、第二夹臂、第一夹爪和第二夹爪;
所述第一夹臂和所述第二夹臂分别设置在所述主梁的两端,所述第一夹臂和/或所述第二夹臂与所述主梁滑动连接;
所述第一夹爪与所述第一夹臂连接,所述第二夹爪与所述第二夹臂连接,所述第一夹爪与所述第二夹爪之间形成夹持所述坩埚的夹持空间。


2.根据权利要求1所述的坩埚夹持装置,其特征在于,所述坩埚夹持装置还包括第一驱动组件和第二驱动组件;
所述第一夹臂通过所述第一驱动组件与所述主梁滑动连接;
所述第二夹臂通过所述第二驱动组件与所述主梁滑动连接。


3.根据权利要求2所述的坩埚夹持装置,其特征在于,所述第一驱动组件和/或所述第二驱动组件为伸缩气缸组件、电机丝杠组件中任一组件。


4.根据权利要求2所述的坩埚夹持装置,其特征在于,所述坩埚夹持装置还包括力度传感器;
所述力度传感器与所述第一驱动组件和/或所述第二驱动组件电连接。


5.根据权利要求1所述的坩埚夹持装置,其特征在于,
所述第一夹臂包括相连接的第一横臂和第一纵臂,所述第一横臂沿所述主梁的长度方向设置,所述第一纵臂向所述主梁的一侧延伸,所述第一夹爪与所述第一纵臂上远离所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘保安韩东陈永康张桥清张从桢
申请(专利权)人:保山隆基硅材料有限公司
类型:新型
国别省市:云南;53

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