【技术实现步骤摘要】
一种坩埚夹持装置
本技术涉及坩埚转运领域,特别是涉及一种坩埚夹持装置。
技术介绍
石英坩埚是制备单晶硅的必备工具,是制备太阳能行业、半导体行业晶体硅不可或缺的基础工具。在石英坩埚制造过程中,出于不同工序工艺的需求需要对坩埚进行转运。目前,除了传统的人力搬运翻转坩埚,还有一种自动化的夹持装置,通过利用气囊的充气和放气实现夹持装置中夹持空间的缩小或扩大,从而实现对坩埚的夹持。专利技术人在研究上述现有技术的过程中发现,上述现有技术方案存在如下缺点:现有的这种自动夹持装置,由于使用了气囊,因此与气囊配合使用的附件较多,导致整个夹持装置结构复杂,不便于操纵与维修维护,此外,制造成本还较高。
技术实现思路
本技术提供一种坩埚夹持装置,旨在解决现有坩埚夹持装置结构复杂且成本高的问题。本技术实施例提供了一种坩埚夹持装置,所述坩埚夹持装置包括主梁、第一夹臂、第二夹臂、第一夹爪和第二夹爪;所述第一夹臂和所述第二夹臂分别设置在所述主梁的两端,所述第一夹臂和/或所述第二夹臂与所述主梁滑动连接; ...
【技术保护点】
1.一种坩埚夹持装置,其特征在于,所述坩埚夹持装置包括主梁、第一夹臂、第二夹臂、第一夹爪和第二夹爪;/n所述第一夹臂和所述第二夹臂分别设置在所述主梁的两端,所述第一夹臂和/或所述第二夹臂与所述主梁滑动连接;/n所述第一夹爪与所述第一夹臂连接,所述第二夹爪与所述第二夹臂连接,所述第一夹爪与所述第二夹爪之间形成夹持所述坩埚的夹持空间。/n
【技术特征摘要】
1.一种坩埚夹持装置,其特征在于,所述坩埚夹持装置包括主梁、第一夹臂、第二夹臂、第一夹爪和第二夹爪;
所述第一夹臂和所述第二夹臂分别设置在所述主梁的两端,所述第一夹臂和/或所述第二夹臂与所述主梁滑动连接;
所述第一夹爪与所述第一夹臂连接,所述第二夹爪与所述第二夹臂连接,所述第一夹爪与所述第二夹爪之间形成夹持所述坩埚的夹持空间。
2.根据权利要求1所述的坩埚夹持装置,其特征在于,所述坩埚夹持装置还包括第一驱动组件和第二驱动组件;
所述第一夹臂通过所述第一驱动组件与所述主梁滑动连接;
所述第二夹臂通过所述第二驱动组件与所述主梁滑动连接。
3.根据权利要求2所述的坩埚夹持装置,其特征在于,所述第一驱动组件和/或所述第二驱动组件为伸缩气缸组件、电机丝杠组件中任一组件。
4.根据权利要求2所述的坩埚夹持装置,其特征在于,所述坩埚夹持装置还包括力度传感器;
所述力度传感器与所述第一驱动组件和/或所述第二驱动组件电连接。
5.根据权利要求1所述的坩埚夹持装置,其特征在于,
所述第一夹臂包括相连接的第一横臂和第一纵臂,所述第一横臂沿所述主梁的长度方向设置,所述第一纵臂向所述主梁的一侧延伸,所述第一夹爪与所述第一纵臂上远离所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘保安,韩东,陈永康,张桥清,张从桢,
申请(专利权)人:保山隆基硅材料有限公司,
类型:新型
国别省市:云南;53
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