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一种坩埚夹持装置制造方法及图纸
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文档序号:24480946
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本实用新型实施例提供了一种坩埚夹持装置,所述坩埚夹持装置包括主梁、第一夹臂、第二夹臂、第一夹爪和第二夹爪;所述第一夹臂和所述第二夹臂分别设置在所述主梁的两端,所述第一夹臂和/或所述第二夹臂与所述主梁滑动连接;所述第一夹爪与所述第一夹臂连接,...
该专利属于保山隆基硅材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过保山隆基硅材料有限公司授权不得商用。
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