掩模支撑模板、掩模金属膜支撑模板、掩模支撑模板制造方法及框架一体型掩模制造方法技术

本发明专利技术涉及掩模支撑模板、掩模金属膜支撑模板、掩模支撑模板的制造方法及框架一体型掩模的制造方法。本发明专利技术涉及的掩模支撑模板作为用于支撑OLED像素形成用掩模并将该掩模对应至框架上的模板，其特征在于包括：模板(50)；临时粘合部(55)，其形成于模板(50)上；以及掩模(100)，其夹设有临时粘合部(55)地粘合在模板(50)上且形成有掩模图案(P)，掩模(100)以被施以侧面方向的拉伸力的状态粘合在模板(50)上。

Manufacturing methods of mask support template, metal mask support template, mask support template and frame integrated mask

【技术实现步骤摘要】
掩模支撑模板、掩模金属膜支撑模板、掩模支撑模板制造方法及框架一体型掩模制造方法
本专利技术涉及掩模支撑模板、掩模金属膜支撑模板、掩模支撑模板的制造方法及框架一体型掩模的制造方法。更具体地，涉及一种使掩模不发生变形且可稳定地得到支撑并移动，且能够准确地对准(align)各掩模的掩模支撑模板、掩模金属膜支撑模板、掩模支撑模板的制造方法及框架一体型掩模的制造方法。
技术介绍
作为OLED(有机发光二极管)制造工艺中形成像素的技术，主要使用FMM(FineMetalMask，精细金属掩模)方法，该方法将薄膜形式的金属掩模(ShadowMask，阴影掩模)紧贴于基板并且在所需位置上沉积有机物。在现有的OLED制造工艺中，将掩模制造成条状、板状等后，将掩模焊接固定到OLED像素沉积框架并使用。一个掩模上可以具备与一个显示器对应的多个单元。另外，为了制造大面积OLED，可将多个掩模固定于OLED像素沉积框架，在固定于框架的过程中，拉伸各个掩模，以使其变得平坦。调节拉伸力以使掩模的整体部分变得平坦是非常困难的作业。特别是，为了使各个单元全部变得本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种掩模支撑模板，该模板用于支撑OLED像素形成用掩模并将该掩模对应至框架上，其中，该掩模支撑模板包括：/n模板；/n临时粘合部，其形成于模板上；以及/n掩模，其以夹设有临时粘合部的形式粘合在模板上且形成有掩模图案，/n掩模以被施以侧面方向的拉伸力的状态粘合在模板上。/n

【技术特征摘要】
20181203 KR 10-2018-01539341.一种掩模支撑模板，该模板用于支撑OLED像素形成用掩模并将该掩模对应至框架上，其中，该掩模支撑模板包括：
模板；
临时粘合部，其形成于模板上；以及
掩模，其以夹设有临时粘合部的形式粘合在模板上且形成有掩模图案，
掩模以被施以侧面方向的拉伸力的状态粘合在模板上。


2.一种掩模支撑模板，该模板用于支撑OLED像素形成用掩模并将该掩模对应至框架上，其中，该掩模支撑模板包括：
模板；
临时粘合部，其形成于模板上；以及
掩模，其以夹设有临时粘合部的形式粘合在模板上且形成有掩模图案，
对应掩模焊接部的模板的部分形成有使焊接能量通过的贯穿孔，
掩模以被施以侧面方向的拉伸力的状态粘合在模板上。


3.如权利要求1或2所述的掩模支撑模板，其中，临时粘合部为基于加热可分离的粘合剂或者粘合片材，基于照射UV可分离的粘合剂或者粘合片材。


4.如权利要求1所述的掩模支撑模板，其中，模板的材料包括晶圆、玻璃、硅胶、耐热玻璃、石英、氧化铝、硼硅酸盐玻璃、氧化锆、钠钙玻璃、低铁玻璃中任意一个。


5.一种掩模金属膜支撑模板，其中，包括：
模板；
临时粘合部，其形成于模板上；以及
掩模金属膜，其以夹设有临时粘合部的形式粘合在模板上，并用于OLED像素形成用掩模的制造，
掩模金属膜以被施以侧面方向的拉伸力的状态粘合在模板上。


6.一种掩模金属膜支撑模板，其中，包括：
模板；
临时粘合部，其形成于模板上；以及
掩模金属膜，其以夹设有临时粘合部的形式粘合在模板上，并用于OLED像素形成用掩模的制造，
对应掩模焊接部的模板的部分形成有使焊接能量通过的贯穿孔，
掩模以被施以侧面方向的拉伸力的状态粘合在模板上。


7.如权利要求5或6所述的掩模金属膜支撑模板，其中，通过执行以下步骤可将掩模金属膜制成OLED像素形成用掩模，
(a)在掩模金属膜上形成经图案化的绝缘部的步骤；
(b)通过蚀刻绝缘部之间露出的掩模金属膜部分来形成掩模图案的步骤；以及
(c)去除绝缘部的步骤。


8.一种掩模支撑模板的制造方法，该模板用于支撑OLED像素形成用掩模并将该掩模对应至框架上，其中，该方法包括：
(a)将掩模金属膜以被施以侧面方向的拉伸力的状态粘合在一面形成有临时粘合部的模板上的步骤；以及
(b)通过在掩模金属膜上形成掩模图案来制造掩模的步骤。


9.如权利要求8所述的掩模支撑模板的制造方法，其中，在步骤(a)和步骤(b)之间，还包括缩减粘合在模板上的掩模金属膜厚度的步骤。


10.如权利要求8所述的掩模支撑模板的制造方法，其中，步骤(a)包括：
(a1)将一面形成有临时粘...

【专利技术属性】
技术研发人员：李炳一，
申请(专利权)人：TGO科技株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国;KR