一种基于喷墨融合的薄膜电极材料沉积方法技术

本发明专利技术公开一种基于喷墨融合的薄膜电极材料沉积方法，包括步骤1：在衬底上均匀旋转涂覆光刻胶并干燥，光刻后，在所述衬底上获得多组图案化电极结构区域；步骤2：通过压电喷涂方法在所述图案化电极结构区域上喷涂金属粒子墨水，并干燥固化得到金属电极层；其中，喷涂金属粒子墨水时，喷涂的针尖与所述衬底的距离小于等于45～50μm；喷涂电压为200～230V，喷涂速度为0.8～1.3mm/s，喷涂厚度为50～70nm；步骤3：将所述衬底置于有机溶剂中，剥离光刻胶获得边界整齐的薄膜电极。基于喷墨与光刻相结合手段，有效解决了采用喷墨印刷方法沉积薄膜电极材料时电极材料边界不光滑、不整齐问题。

A deposition method of thin film electrode materials based on inkjet fusion

【技术实现步骤摘要】
一种基于喷墨融合的薄膜电极材料沉积方法
本专利技术涉及电极材料沉积
，更具体的是，本专利技术涉及一种基于喷墨融合的薄膜电极材料沉积方法。
技术介绍
传统电子薄膜电极材料沉积一般采用真空蒸镀(如，电子束蒸发等)的方式，沉积过程对真空度有严格要求，并且沉积过程耗能高，工艺较为复杂。工艺简单、环境友好、高效、可大面积沉积的薄膜电极材料沉积方法是电子领域重要的技术需求。柔性电子是将有机/无机材料电子器件制作在柔性/可延性基板上的新兴电子技术。相对于传统电子，柔性电子具有更大的灵活性，能够在一定程度上适应不同的工作环境，满足设备的形变要求。西方发达国家纷纷制定了针对柔性电子的重大研究计划，如美国FDCASU计划、日本TRADIM计划、欧盟第七框架计划中PolyApply和SHIFT计划等，仅欧盟第七框架计划就投入数十亿欧元的研发经费，重点支持柔性显示器、聚合物电子的材料/设计/制造/可靠性、柔性电子器件批量化制造等方面基础研究。在最近的10年间，康奈尔大学、普林斯顿大学、哈佛大学、西北大学、剑桥大学等国际著名大学都先后建立了柔性电子技术专门本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于喷墨融合的薄膜电极材料沉积方法，其特征在于，包括如下步骤：/n步骤1：在衬底上均匀旋转涂覆光刻胶并干燥，光刻后，在所述衬底上获得多组图案化电极结构区域；/n步骤2：通过压电喷涂方法在所述图案化电极结构区域上喷涂金属粒子墨水，并干燥固化得到金属电极层；/n其中，喷涂金属粒子墨水时，喷涂的针尖与所述衬底的距离小于等于45～50μm；喷涂电压为200～230V，喷涂速度为0.8～1.3mm/s，喷涂厚度为50～70nm；/n步骤3：将所述衬底置于有机溶剂中，剥离光刻胶获得边界整齐的薄膜电极。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于喷墨融合的薄膜电极材料沉积方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤1：在衬底上均匀旋转涂覆光刻胶并干燥，光刻后，在所述衬底上获得多组图案化电极结构区域；
步骤2：通过压电喷涂方法在所述图案化电极结构区域上喷涂金属粒子墨水，并干燥固化得到金属电极层；
其中，喷涂金属粒子墨水时，喷涂的针尖与所述衬底的距离小于等于45～50μm；喷涂电压为200～230V，喷涂速度为0.8～1.3mm/s，喷涂厚度为50～70nm；
步骤3：将所述衬底置于有机溶剂中，剥离光刻胶获得边界整齐的薄膜电极。


2.如权利要求1所述的基于喷墨融合的薄膜电极材料沉积方法，其特征在于，所述衬底包括硬质衬底和柔性衬底；所述硬质衬底包括玻璃衬底或者硅片衬底；所述柔性衬底包括聚对苯二甲酸乙二醇酯衬底或者聚酰亚胺衬底。


3.如权利要求2所述的基于喷墨融合的薄膜电极材料沉积方法，其特征在于，当所述衬底为硬质衬底时，在衬底上旋转涂覆光刻胶，控制转速为290～320r/min，旋转涂覆15～25s，转速升至1800～2200r/min，旋转涂覆25～35s，完成衬底上光刻胶的涂覆。


4.如权利要求3所述的基于喷墨融合的薄膜电极材料沉积方法，其特征在于，在衬底上完成光刻胶涂覆后，在60～70℃下烘干28～32min。
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【专利技术属性】
技术研发人员：杨小天，陆璐，沈兆伟，刘建文，闫兴振，王超，赵春雷，迟耀丹，高晓红，朱慧超，杨帆，任伟，王艳杰，岳廷峰，王冶，
申请(专利权)人：吉林建筑大学，
类型：发明
国别省市：吉林;22