晶圆湿制程设备用恒温加热槽制造技术

本发明专利技术公开了一种晶圆湿制程设备用恒温加热槽，包括电镀用槽体以及循环加热机构，所述电镀用槽体外四周设有加热外槽，所述电镀用槽体与所述加热外槽之间相互间隔以形成水浴加热空间，所述循环加热机构连通于所述电镀用槽体，所述加热外槽由外界向所述水浴加热空间内通入加热水，所述加热水的温度高于所述电镀用槽体内药液的温度。本发明专利技术所提供的晶圆湿制程设备用恒温加热槽，其结构简明，方便操作，通过在现有的电镀用槽体外加设加热外槽，以形成水浴加热形式，可全方位地对电镀用槽体内的药液进行加热。

Constant temperature heating bath for wafer wet process equipment

【技术实现步骤摘要】
晶圆湿制程设备用恒温加热槽
本专利技术涉及一种晶圆湿制程设备用恒温加热槽。
技术介绍
目前，用于电镀槽内药液加热的现有做法有：a.通过加热棒对电镀用槽体(或清洗槽)内进行药液加热；b.也有通过外接管道/路对电镀用槽体(或清洗槽)在线药液加热；c.再有就是通过热水包围电镀用槽体(或清洗槽)来进行药液加热，或称水浴加热。对于a方式，存在加热不均匀，可能影响药液效果的缺陷；对于b方式，其加热效果没有c方式来的速度，且外接管路布设较为繁琐；而对于(水域加热)c方式，被较少应用，通常，应用于清洗的药水可能达到80℃高温，就需要外部包围的水温度更高，这就需要更大的压力来维持，需要更高强度的槽体来实现。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种晶圆湿制程设备用恒温加热槽。为实现以上目的，通过以下技术方案实现：一种晶圆湿制程设备用恒温加热槽，包括电镀用槽体以及循环加热机构，所述电镀用槽体外四周设有加热外槽，所述电镀用槽体与所述加热外槽之间相互间隔以形成水浴加热空间，所述循环加热机构连本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆湿制程设备用恒温加热槽，其特征在于，包括电镀用槽体以及循环加热机构，所述电镀用槽体外四周设有加热外槽，所述电镀用槽体与所述加热外槽之间相互间隔以形成水浴加热空间，所述循环加热机构连通于所述电镀用槽体，所述加热外槽由外界向所述水浴加热空间内通入加热水，所述加热水的温度高于所述电镀用槽体内药液的温度。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆湿制程设备用恒温加热槽，其特征在于，包括电镀用槽体以及循环加热机构，所述电镀用槽体外四周设有加热外槽，所述电镀用槽体与所述加热外槽之间相互间隔以形成水浴加热空间，所述循环加热机构连通于所述电镀用槽体，所述加热外槽由外界向所述水浴加热空间内通入加热水，所述加热水的温度高于所述电镀用槽体内药液的温度。


2.根据权利要求1所述的晶圆湿制程设备用恒温加热槽，其特征在于，所述加热外槽与所述电镀用槽体相互隔断，所述加热外槽的侧壁上设有外接进水口以及外接出水口以供与外界供水加热装置连通。


3.根据权利要求2所述的晶圆湿制程设备用恒温加热槽，其特征在于，所述电镀用槽体的外壁与所述加热外槽的内壁之间设有加强支撑结构。


4.根据权利要求3所述的晶圆湿制程设备用恒温加热槽，其特征在于，所述加强支撑结构包括透水加强板，所述透水加强板围设于所述所述加强肋外，所述外接进水口以及所述外接出水口分别通过管路穿过所述加热外槽并连通于所述透水加强板，所述透水加强板上开设有多个均匀排布的透水孔以供与所述加热外槽连通。


5.根据权利要求3所述的晶圆湿制程设备用恒温加热槽，其特征在于，所述加强支撑结构包括均匀排布于所述电镀用槽体侧壁及底面的多个加强肋；所述电镀用槽体的外壁上沿围设有外缘盖体，所述外缘盖体与所述电镀用...

【专利技术属性】
技术研发人员：王振荣，刘红兵，卢鹏，凌嘉伟，
申请(专利权)人：上海新阳半导体材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31