【技术实现步骤摘要】
一种半导体芯片测试用机械手
本技术涉及半导体生产测试领域内的一种半导体芯片测试用机械手。
技术介绍
现有技术中，在芯片后段封装后的测试过程中，封装后的颗粒芯片被机械手的吸嘴吸取后放入测试座中，实现与测试机的连接并测试；测试完成后，测试机发送指令使机械手再把芯片吸走；在使用的过程中会产生很多不定的因素，有时候芯片被卡在测试座上，或者气压不够的时候，芯片吸取不起来，导致后期在机械手的抓取的时候带来较大的安全隐患，这种情况下，芯片很难稳定的被吸取住或者芯片直接吸取不住，造成了需要后期重复的去抓取；这样带来了较大的不便；有时候还会在吸取的时候不能保持芯片的平衡，导致吸取歪斜，这样也不利于高效的进行工作。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种半导体芯片测试用机械手，该技术以在芯片测试过程中检测芯片与测试底座的位置关系，调节控制好距离并保持平衡，降低测试过程中发生的质量风险和良率损失，提高工作效率。本技术的目的是这样实现的：一种半导体芯片测试用机械手，包括上部固定座，所述上部固定座直接固定在机械臂上，其特...
【技术保护点】
1.一种半导体芯片测试用机械手，包括上部固定座，所述上部固定座直接固定在机械臂上，其特征在于，所述上部固定座设置有若干组，每个上部固定座下面均配合设置有独立的纵向轨道，相邻的纵向轨道之间配合设置有横向轨道，所述横向轨道的下面配合设置有机械手组件，所述机械手组件包括机械手滑动座，配合机械手滑动座设置的机械手控制座，设置在机械手控制座底部的机械抓手，设置在机械抓手底部的吸盘组件；所述机械抓手上配合设置有位置传感器。/n
【技术特征摘要】
1.一种半导体芯片测试用机械手，包括上部固定座，所述上部固定座直接固定在机械臂上，其特征在于，所述上部固定座设置有若干组，每个上部固定座下面均配合设置有独立的纵向轨道，相邻的纵向轨道之间配合设置有横向轨道，所述横向轨道的下面配合设置有机械手组件，所述机械手组件包括机械手滑动座，配合机械手滑动座设置的机械手控制座，设置在机械手控制座底部的机械抓手，设置在机械抓手底部的吸盘组件；所述机械抓手上配合设置有位置传感器。
2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片测试用机械手，其特征在于：所述机械手控制座包括上侧座，中间固定板；所述上侧座的两侧分别设置有U形轨道，U形轨道纵向设置，U形轨道的内部配合设置有伸出气缸；所述伸出气缸直接与中间固定板连接；每个上侧座上对称设置有两组U形轨道，伸出气缸对称...
【专利技术属性】
技术研发人员：向俊武，周游，陈小跃，陈浩，
申请(专利权)人：安测半导体技术江苏有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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