本发明专利技术涉及抛光技术领域，具体涉及一种抛光装置，包括：支架内设有容纳腔；吸附装置设在容纳腔内，适于吸附待抛光产品；若干组彼此并排设置的滚刷结构设于吸附装置的上方，并可转动地连接在支架上，适于对吸附装置上的待抛光产品进行抛光；第一驱动装置固定连接在支架上，适于驱动滚刷结构相对支架转动。通过在支架内部设置容纳腔，吸附装置设于容纳腔内，且在吸附装置的上方设置若干组彼此并排设置的滚刷结构，滚刷结构相对设于待抛光产品进行转动，对待抛光产品进行摩擦抛光，与现有技术中的抛光装置相比，无需设置结构较复杂的承载头，而是直接将待抛光产品吸附在吸附装置上，上方设置转动的滚刷结构对待抛光产品进行摩擦抛光，结构较简单。
Polishing device
【技术实现步骤摘要】
抛光装置
本专利技术涉及抛光
，具体涉及一种抛光装置。
技术介绍
集成电路制造工艺过程通常是指将导体、半导体、绝缘层以一定的工艺顺序沉积在特定的基板(如硅基晶圆)上。在制造工艺过程中，CMP(ChemicalMechanicalPolishing，化学机械抛光)装置主要用于对晶圆在膜沉积工艺后的微观粗糙表面进行全局平坦化处理,以便进行后续的半导体工艺过程。现阶段的化学机械抛光装置，是通过负压吸附的方式将晶圆的一个面固定在承载头上，并通过工位旋转使另外一个面(即工艺面)在工艺过程中与抛光盘上的抛光垫相接触。通过下部抛光盘与上部承载头的相互旋转，晶圆工艺面与抛光垫摩擦，此时通过对晶圆承载头上的柔性膜内腔进行正压充气，使得晶圆工艺面与抛光垫以一定的压力相贴合，使晶圆与抛光垫在相互旋转摩擦下达到工艺面抛光的目的。但是该结构的抛光装置上部的承载头为了对晶圆更好的施压，通常在承载头上设计多个腔室，各腔室之间还要设计密封，这样使得承载头的内部结构非常复杂，进而使得抛光装置的结构较复杂。
技术实现思路
因此，本专利技术要解决的技术问题在于克服现有技术中的抛光装置结构较复杂，从而提供一种结构相对简单的抛光装置。一种抛光装置，包括：支架，所述支架内部设置有容纳腔；吸附装置，设置在所述容纳腔内，适于吸附待抛光产品；若干组彼此并排设置的滚刷结构，设于所述吸附装置的上方，并可转动地连接在所述支架上，适于对所述吸附装置上的所述待抛光产品进行抛光；第一驱动装置，固定连接在所述支架上，并与所述滚刷结构连接，适于驱动所述滚刷结构相对所述支架转动。所述滚刷结构包括：滚刷杆，与所述第一驱动装置固定连接；滚刷，套设于所述滚刷杆的外侧，所述滚刷的外表面适于与所述待抛光产品接触。所述滚刷杆的内部设有中空通道，所述滚刷杆与所述滚刷对应的外表面上设有与所述中空通道连通的喷液孔；所述滚刷杆的一端与所述第一驱动装置固定连接，另一端通过所述中空通道适于与液体源连接。所述滚刷杆的一端与所述第一驱动装置卡接。所述滚刷为柔性的亲水材质。所述滚刷的外表面上设有多个凸起结构。所述第一驱动装置为电机。所述支架包括：支架本体；至少一个安装架，设于所述滚刷结构的至少一端，所述安装架与所述支架本体围成所述容纳腔；所述安装架的一端与所述滚刷结构连接，另一端可转动地连接在所述支架本体上，并带动所述滚刷结构在高度方向发生靠近或远离所述待抛光产品的运动。两个所述安装架分别设置在每个所述滚刷结构的两端，所述滚刷结构为两组。所述抛光装置还包括：至少一个滚刷摆动装置，固定连接在所述支架本体上，并连接在所述安装架的至少一端，适于带动所述安装架相对所述支架本体进行转动。所述滚刷摆动装置包括：第一动力装置；谐波减速器，输入端与所述第一动力装置相连接，所述谐波减速器包括输出轴；摆臂结构，一端与所述输出轴连接，另一端与所述安装架连接，适于在所述第一动力装置的驱动下带动所述安装架在高度方向发生靠近或远离待抛光产品的运动。所述滚刷摆动装置还包括：连接装置，一端与所述输出轴连接，另一端间隔设有两个支杆，所述支杆与所述摆臂结构一一固定连接，且两个所述摆臂结构的摆动方向相反。所述滚刷摆动装置为一个，且每个所述滚刷结构两侧的所述安装架通过连杆固定连接。所述吸附装置包括：吸附台，所述吸附台为中空结构，所述吸附台的上表面设有多个与所述中空结构连通的吸附孔，所述中空结构适于与真空源连接。所述吸附装置还包括：第二动力装置；传动机构，与所述第二动力装置连接，并与所述吸附台的下表面连接，适于在所述第二动力装置的带动下，带动所述吸附台转动。所述抛光装置还包括：药液喷淋装置，设于所述滚刷结构的上方，适于向所述待抛光产品喷淋药液。所述药液喷淋装置包括：喷淋管，适于与药液分配装置连接；多个喷淋结构，间隔设于所述喷淋管上，所述喷淋结构的喷口朝向所述吸附装置设置，适于向所述待抛光产品喷淋药液。所述药液喷淋装置还包括超声装置，设于所述喷淋管的入口端。所述抛光装置还包括：第二驱动装置，与所述支架连接，适于驱动所述支架作升降运动，进而带动所述滚刷结构相对所述吸附装置作升降运动。本专利技术技术方案，具有如下优点：1.本专利技术提供的抛光装置，通过在支架内部设置容纳腔，吸附装置设于容纳腔内，且在吸附装置的上方设置若干组彼此并排设置的滚刷结构，第一驱动装置驱动滚刷结构相对支架转动，使得滚刷结构相对设于吸附装置上的待抛光产品进行转动，对待抛光产品进行摩擦抛光，与现有技术中的抛光装置相比，无需设置结构较复杂的承载头，而是采用了一种新型的结构设置，直接将待抛光产品吸附在吸附装置上，然后在上方设置转动的滚刷结构对待抛光产品进行摩擦抛光，结构较简单。2.本专利技术提供的抛光装置，通过在滚刷杆的内部设置中空通道，滚刷杆与所述滚刷对应的外表面上设有与所述中空通道连通的喷液孔，中空通道适于与液体源连接，使得使用时，液体源能够向滚刷杆持续地供给液体，使得滚刷能够保持自然膨化状态，使得滚刷与待抛光产品的接触效果更好，进而提高抛光效率。3.本专利技术提供的抛光装置，通过将滚刷杆与第一驱动装置卡接，使得滚刷杆与第一驱动装置的拆装维护均较方便。4.本专利技术提供的抛光装置，通过将滚刷设置为柔性的亲水材质，使得滚刷杆内填充液体时，滚刷的亲水性较好，提高了待抛光产品的湿润度，进而提高抛光效果。5.本专利技术提供的抛光装置，通过在滚刷的外表面上设有多个凸起结构，能够避免滚刷与待抛光产品表面呈线性接触，存在抛光盲区，提高摩擦抛光效果。6.本专利技术提供的抛光装置，通过将支架设置为包括支架本体和安装架，且安装架相对支架本体可转动地连接，由于安装架的另一端与滚刷结构连接，使得安装架能够带着滚刷结构一同相对支架本体转动，进而带动滚刷结构作靠近或远离待抛光产品的运动，使得待抛光产品的不同位置接触滚刷结构的作用力不同，摩擦力不同。7.本专利技术提供的抛光装置，通过将滚刷结构设置为两组，使得每个滚刷结构的体积较小，整体滚刷结构与待抛光产品的接触面积更大，同时，由于在每个滚刷结构的两端均设置安装架，使得滚刷结构的运动更加平稳，提高了抛光效果。8.本专利技术提供的抛光装置，通过设置滚刷摆动装置带动安装架相对支架本体转动，使得滚刷结构能够自动在高度方向发生靠近或远离待抛光产品的运动，提高了装置的自动化。9.本专利技术提供的抛光装置，通过将滚刷摆动装置设置为还包括连接装置，使得一个连接装置能够连接两个摆臂结构，使得装置的整体结构较简单，成本较低。10.本专利技术提供的抛光装置，通过将每个滚刷结构两侧的安装架通过连杆固定连接，使得设置一个滚刷摆动装置即可带动滚刷结构两侧的安装架同时运动，在使得滚刷结构运动平稳的同时能够减少装置的部件设置，结构简单。...
【技术保护点】
1.一种抛光装置，其特征在于，包括：/n支架(1)，所述支架(1)内部设置有容纳腔；/n吸附装置(2)，设置在所述容纳腔内，适于吸附待抛光产品；/n若干组彼此并排设置的滚刷结构(3)，设于所述吸附装置(2)的上方，并可转动地连接在所述支架(1)上，适于对所述吸附装置(2)上的所述待抛光产品进行抛光；/n第一驱动装置(4)，固定连接在所述支架(1)上，并与所述滚刷结构(3)连接，适于驱动所述滚刷结构(3)相对所述支架(1)转动。/n
【技术特征摘要】
1.一种抛光装置，其特征在于，包括：
支架(1)，所述支架(1)内部设置有容纳腔；
吸附装置(2)，设置在所述容纳腔内，适于吸附待抛光产品；
若干组彼此并排设置的滚刷结构(3)，设于所述吸附装置(2)的上方，并可转动地连接在所述支架(1)上，适于对所述吸附装置(2)上的所述待抛光产品进行抛光；
第一驱动装置(4)，固定连接在所述支架(1)上，并与所述滚刷结构(3)连接，适于驱动所述滚刷结构(3)相对所述支架(1)转动。
2.根据权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，所述滚刷结构(3)包括：
滚刷杆(5)，与所述第一驱动装置(4)固定连接；
滚刷(6)，套设于所述滚刷杆(5)的外侧，所述滚刷(6)的外表面适于与所述待抛光产品接触。
3.根据权利要求2所述的抛光装置，其特征在于，
所述滚刷杆(5)的内部设有中空通道，所述滚刷杆(5)与所述滚刷(6)对应的外表面上设有与所述中空通道连通的喷液孔(7)；
所述滚刷杆(5)的一端与所述第一驱动装置(4)固定连接，另一端通过所述中空通道适于与液体源连接。
4.根据权利要求3所述的抛光装置，其特征在于，所述滚刷杆(5)的一端与所述第一驱动装置(4)卡接。
5.根据权利要求3所述的抛光装置，其特征在于，所述滚刷(6)为柔性的亲水材质。
6.根据权利要求2所述的抛光装置，其特征在于，所述滚刷(6)的外表面上设有多个凸起结构(8)。
7.根据权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，所述第一驱动装置(4)为电机。
8.根据权利要求1-7中任一项所述的抛光装置，其特征在于，所述支架(1)包括：
支架本体(9)；
至少一个安装架(10)，设于所述滚刷结构(3)的至少一端，所述安装架(10)与所述支架本体(9)围成所述容纳腔；所述安装架(10)的一端与所述滚刷结构(3)连接，另一端可转动地连接在所述支架本体(9)上，并带动所述滚刷结构(3)在高度方向发生靠近或远离所述待抛光产品的运动。
9.根据权利要求8所述的抛光装置，其特征在于，两个所述安装架(10)分别设置在每个所述滚刷结构(3)的两端，所述滚刷结构(3)为两组。
10.根据权利要求9所述的抛光装置，其特征在于，还包括：
至少一个滚刷摆动装置，固定连接在所述支架本体(9)上，并连接在所述安装架(10)的至少一端，适于带动所述安装架(10)相对所述支架本体(9)进行转动。...
【专利技术属性】
技术研发人员：江伟，尹影，徐俊成，庞浩，
申请(专利权)人：北京烁科精微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。