探针、检查夹具和检查单元制造技术

本实用新型专利技术提供探针、检查夹具和检查单元，检查夹具具有该探针，检查单元具有该检查夹具，能够支持接触对象物的狭间距化。探针具有：弹性部，其能够沿着第1方向进行弹性变形；第1接触部，其与弹性部的第1方向上的一端连接；以及第2接触部，其与弹性部的第1方向上的另一端连接。弹性部具有：第1抵接部，其从第1接触部起沿着第2方向延伸，构成弹性部的一端；以及第2抵接部，其在第2方向上配置于与第1抵接部和第2接触部相同的一侧，从第2接触部起沿着第2方向延伸，构成弹性部的另一端。第1抵接部和第2抵接部分别构成为能够在被收纳于插口中的状态下在第1方向上与插口的内部抵接。

Probe, inspection fixture and inspection unit

【技术实现步骤摘要】
探针、检查夹具和检查单元
本技术涉及探针、检查夹具和检查单元。
技术介绍
在照相机或液晶面板等电子部件模块中，一般而言，在该电子部件模块的制造工序中，进行导通检查和动作特性检查等。这些检查通过使用探针将用于与设置在电子部件模块上的主体基板连接的端子和检查装置的端子连接来进行。作为这样的探针，存在专利文献1所记载的探针。该探针具有：一对接触部，它们能够分别与电子部件的电极端子及被连接电子部件的电极端子接触；以及蛇行部，其夹设于一对接触部之间，将一对接触部连接。专利文献1：日本特开2002-134202号公报
技术实现思路
在上述探针中，将一对接触部分别配置于沿蛇行部的伸缩方向直行的宽度方向的中心，在使蛇行部伸缩时，各接触部在宽度方向上不倾倒。因此，当沿宽度方向排列配置多个所述探针时，有时难以缩窄相邻的各接触部的配置间隔，例如，无法成为使各接触部与窄间距化后的电子部件模块的一对端子同时接触的状态，无法支持电子部件模块的狭间距化。本技术的目的在于提供一种能够支持接触对象物的狭间距化的探针、具有该探针的检查夹具和具有该检查夹具的检查单元。本技术的一例的探针具有：弹性部，其能够沿着第1方向进行弹性变形；第1接触部，其与所述弹性部的所述第1方向上的一端连接；以及第2接触部，其与所述弹性部的所述第1方向上的另一端连接，所述弹性部能够以能够在所述第1方向上伸缩的状态收纳于插口中，其特征在于，所述弹性部具有：第1抵接部，其从所述第1接触部起沿着与所述第1方向交叉的第2方向延伸，构成所述弹性部的所述第1方向上的一端；以及第2抵接部，其在所述第2方向上配置于与所述第1抵接部和所述第2接触部相同的一侧，从所述第2接触部起沿着所述第2方向延伸，构成所述弹性部的所述另一端，所述第1抵接部和所述第2抵接部分别构成为能够在被收纳于所述插口中的状态下在所述第1方向上与所述插口的内部抵接。此外，本技术的一例的检查夹具具有：所述探针；以及所述插口，其能够收纳所述探针，所述检查夹具构成为在将所述探针收纳于所述插口中时，所述第1抵接部和所述第2抵接部分别在所述第1方向上与所述插口的内表面抵接。此外，本技术的一例的检查单元具有至少1个所述检查夹具。根据所述探针，弹性部具有：第1抵接部，其从第1接触部起沿着第2方向延伸，构成弹性部的一端；以及第2抵接部，其在第2方向上配置于与第1抵接部和第2接触部相同的一侧，从第2接触部起沿着第2方向延伸，构成弹性部的另一端。第1抵接部和第2抵接部分别构成为能够在被收纳于插口中时，在第1方向上与插口的内部抵接。根据这样的结构，例如，在将在第1接触部和第2接触部各自上分别设置有触点部的多个探针收纳于插口中的情况下，能够缩小在第2方向上相邻的探针的触点部的配置间隔。其结果，可以实现能够支持接触对象物的狭间距化的探针。根据所述检查夹具，利用所述探针，可以实现能够检查窄间距化后的检查对象物的检查夹具。根据所述检查单元，利用所述检查夹具，可以实现能够检查窄间距化后的检查对象物的检查单元。附图说明图1是示出本技术的一个实施方式的探针的立体图。图2是具有图1的探针的检查夹具的俯视图。图3是用于说明对图1的探针的第1触点部施加外力的情况下的弹性部的状态的图。图4是用于说明对图1的探针的第2触点部施加外力的情况下的弹性部的状态的图。图5是示出图1的探针的变形例的立体图。图6是具有图5的探针的检查夹具的俯视图。图7是用于说明对图5的探针的第1触点部和第2触点部施加外力的情况下的弹性部的状态的图。图8是用于说明对图5的探针的第2触点部施加外力的情况下的弹性部的状态的图。标号说明1：检查单元；2：检查夹具；10：探针；20：弹性部；201：第1抵接部；202：第2抵接部；21、22：弹性片；23：间隙；24：延伸部；25：弯曲部；26：连接部；27：间隙；28：肋；30：第1接触部；301：一端；31：主体部；311：贯通孔；32、33：脚部；321、331：第1触点部；322、332：突起部；34：间隙；40：第2接触部；401：侧面；41：第2触点部；42：缺口部；50：凸触点；60：端子；100：插口；101：收纳部。具体实施方式以下，参照附图对本技术的一例进行说明。另外，在以下的说明中，根据需要使用表示特定的方向或位置的用语(例如，包含“上”、“下”、“右”、“左”的用语)，但是这些用语的使用是为了容易参照附图来理解本技术，并不是利用这些用语的意思来限定本技术的技术范围。此外，以下的说明在本质上不过是例示，意图不在于限制本技术、本技术的适用物或本技术的用途。并且，附图是示意性的，各尺寸的比率等不一定与现实的尺寸的比率等一致。例如，如图1所示，本技术的一个实施方式的探针10在第1方向X上呈细长的薄板状，具有导电性。作为一例，如图2所示，该探针10在收纳在绝缘性的插口(socket)100中的状态下使用，与插口100一起构成检查夹具2。作为一例，在检查夹具2中收纳有多个探针10。此外，如图2所示，检查夹具2构成检查单元1的一部分。在该实施方式中，检查单元1具有一对检查夹具2。各检查夹具2配置成在后述的探针10的各触点部321、331、41从插口100在外部露出的状态下，在与第1方向X交叉(例如，垂直)的第2方向Y上相邻。如图2所示，各插口100在内部具有多个收纳部101(图2中仅示出1个)。各收纳部101具有狭缝状，并构成为能够分别电独立地收纳并保持1个探针10。此外，各收纳部101沿着与第1方向X以及第2方向Y交叉的方向(即，图2的贯穿纸面方向)排列为一列并且等间隔地配置。另外，各插口100不限定于如图2所示，在收纳有探针10的状态下在第1方向X上的内表面与探针10之间形成有间隙的情况。例如，各插口100也可以构成为在探针10的两端的抵接部201、202均与插口100的内表面接触的状态下收纳探针10。如图2所示，各探针10具有：弹性部20，其能够沿着第1方向X进行弹性变形；以及第1接触部30和第2接触部40，它们分别与该弹性部20的第1方向X上的两端连接。作为一例，各探针10通过电铸法形成，弹性部20、第1接触部30和第2接触部40沿着第1方向X串联配置并且构成为一体。如图2所示，弹性部20具有：第1抵接部201，其构成弹性部20的第1方向X上的一端；以及第2抵接部202，其构成弹性部20的第1方向X上的另一端。第1抵接部201从第1接触部30起在第2方向Y上延伸。第2抵接部202在第2方向Y上配置于与第1抵接部201和第2接触部40相同的一侧，从第2接触部40起沿着第2方向Y延伸。各抵接部201、202构成为能够在被收纳于插口100中的状态下，在第1方向X上与构成收纳部101的插本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种探针，其具有：/n弹性部，其能够沿着第1方向进行弹性变形；/n第1接触部，其与所述弹性部的所述第1方向上的一端连接；以及/n第2接触部，其与所述弹性部的所述第1方向上的另一端连接，/n所述弹性部能够以能够在所述第1方向上伸缩的状态收纳于插口中，/n其特征在于，/n所述弹性部具有：/n第1抵接部，其从所述第1接触部起沿着与所述第1方向交叉的第2方向延伸，构成所述弹性部的所述第1方向上的一端；以及/n第2抵接部，其在所述第2方向上配置于与所述第1抵接部和所述第2接触部相同的一侧，从所述第2接触部起沿着所述第2方向延伸，构成所述弹性部的所述另一端，/n所述第1抵接部和所述第2抵接部分别构成为能够在被收纳于所述插口中的状态下在所述第1方向上与所述插口的内部抵接。/n

【技术特征摘要】
20181108 JP 2018-210794;20190611 JP 2019-1089551.一种探针，其具有：
弹性部，其能够沿着第1方向进行弹性变形；
第1接触部，其与所述弹性部的所述第1方向上的一端连接；以及
第2接触部，其与所述弹性部的所述第1方向上的另一端连接，
所述弹性部能够以能够在所述第1方向上伸缩的状态收纳于插口中，
其特征在于，
所述弹性部具有：
第1抵接部，其从所述第1接触部起沿着与所述第1方向交叉的第2方向延伸，构成所述弹性部的所述第1方向上的一端；以及
第2抵接部，其在所述第2方向上配置于与所述第1抵接部和所述第2接触部相同的一侧，从所述第2接触部起沿着所述第2方向延伸，构成所述弹性部的所述另一端，
所述第1抵接部和所述第2抵接部分别构成为能够在被收纳于所述插口中的状态下在所述第1方向上与所述插口的内部抵接。


2.根据权利要求1所述的探针，其特征在于，
所述第1接触部具有第1触点部，该第1触点部设置于所述第1接触部的所述第1方向上的离所述弹性部远的一个端部，能够从所述第1方向与接触对象物接触，
所述第2接触部具有第2触点部，该第2触点部设置于所述第2接触部的所述第1方向上的离所述弹性部远的一个端部，能够从所述第1方向与接触对象物接触。

【专利技术属性】
技术研发人员：笹野直哉，寺西宏真，酒井贵浩，
申请(专利权)人：欧姆龙株式会社，
类型：新型
国别省市：日本;JP