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压阻材料层、压力传感器及制备方法技术

技术编号:24405425 阅读:61 留言:0更新日期:2020-06-06 06:56
本申请公开了压阻材料层、压力传感器及制备方法,属于传感器技术领域。该压阻材料层的制备方法包括:将疏松多孔且具有微结构的导电材料分散于第一溶剂中,形成导电材料分散液;将聚合物弹性体溶解于第二溶剂中,形成聚合物溶液;将所述导电材料分散液和所述聚合物溶液混合均匀,形成预固化液;使所述预固化液在衬底上固化成膜,得到所述压阻材料层。该制备方法能显著提高压阻材料层的灵敏度,且压阻材料层能够在电子器件表面直接形成。

Piezoresistive material layer, pressure sensor and preparation method

【技术实现步骤摘要】
压阻材料层、压力传感器及制备方法
本申请涉及传感器
,特别涉及压阻材料层、压力传感器及制备方法。
技术介绍
压阻材料层基于压阻效应提供阻抗变化,能够使压阻式压力传感器表现为相应的电压输出信号。目前,压阻材料层通常采用以下方法制备得到:通过热熔法使聚合物弹性体溶解,再将疏松多孔且具有微结构的导电材料加入其中,均匀混合,然后在衬底上固化成膜即可。采用上述制备方法制备的压阻材料层的灵敏度较低,且热熔温度较高,使得压阻材料层无法直接在电子器件表面成膜。
技术实现思路
本申请实施例提供一种压阻材料层、压力传感器及制备方法,能够提高压阻材料层的灵敏度。所述技术方案如下:一方面,本申请提供了一种压阻材料层的制备方法,所述制备方法包括:将疏松多孔且具有微结构的导电材料分散于第一溶剂中,形成导电材料分散液;将聚合物弹性体溶解于第二溶剂中,形成聚合物溶液;将所述导电材料分散液和所述聚合物溶液混合均匀,形成预固化液;使所述预固化液在衬底上固化成膜,得到所述压阻材料层。另一方面,本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压阻材料层的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括:/n将疏松多孔且具有微结构的导电材料分散于第一溶剂中,形成导电材料分散液;/n将聚合物弹性体溶解于第二溶剂中,形成聚合物溶液;/n将所述导电材料分散液和所述聚合物溶液混合均匀,形成预固化液;/n使所述预固化液在衬底上固化成膜,得到所述压阻材料层。/n

【技术特征摘要】
1.一种压阻材料层的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括:
将疏松多孔且具有微结构的导电材料分散于第一溶剂中,形成导电材料分散液;
将聚合物弹性体溶解于第二溶剂中,形成聚合物溶液;
将所述导电材料分散液和所述聚合物溶液混合均匀,形成预固化液;
使所述预固化液在衬底上固化成膜,得到所述压阻材料层。


2.根据权利要求1所述的压阻材料层的制备方法,其特征在于,所述将疏松多孔且具有微结构的导电材料分散于第一溶剂中,形成导电材料分散液,包括:
将不同的导电材料分别分散于各自对应的第一溶剂中,对应形成不同的导电材料子分散液;
将所述不同的导电材料子分散液混合均匀,形成所述导电材料分散液。


3.根据权利要求1所述的压阻材料层的制备方法,其特征在于,所述制备方法还包括:对所述导电材料分散液进行超声波分散处理。


4.根据权利要求1所述的压阻材料层的制备方法,其特征在于,在小于或等于150℃的温度下,使所述预固化液在衬底上固化成膜。


5.根据权利要求1所述的压阻材料层的制备方法,其特征在于,所述导电材料选自碳纳米管、碳纳米纤维、碳纳米球和石墨烯中的至少一种;
所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员:唐建石赵振璇戴媛张正友原剑吴华强钱鹤高滨
申请(专利权)人:清华大学深圳市腾讯计算机系统有限公司
类型:发明
国别省市:北京;11

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