一种化学气相法制备磁性材料的设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种化学气相法制备磁性材料的设备，包括反应腔、反应气源、保护气源、保护气泵、保护气管、气控泵阀、保护气电感阀、尾气回收泵、尾气管，所述反应腔的底端连接气控泵阀，所述尾气管连接在反应腔的顶端，所述尾气回收泵连接在尾气管上。本实用新型专利技术利既磁性材料的生产设备的设置，改变传统所采用的高能球磨法，以及非晶体晶化的方法，改进为简单的化学气相沉淀的方法进行制备磁性材料，因为此类方法制备磁性材料的设备较为简单，而且制作成本较低，目前处于初发阶段，俱已发现生长速度快、周期短的特点，对于批量生产非常有利，避免了前期高昂的投入费用和后期的高昂维护费用，而且尾气处理简单不具有太大的污染性，宜推广使用。

A kind of equipment for the preparation of magnetic materials by chemical vapor method

【技术实现步骤摘要】
一种化学气相法制备磁性材料的设备
本技术涉及磁性材料领域，尤其涉及一种化学气相法制备磁性材料的设备。
技术介绍
有机金属化合物化学气相沉积法简称MOCVD法或有机金属化合物气相外延法，它是把反应物质全部以有机金属化合物的气体分子形式,用稳定气作载带气体送到反应室,进行热分解反应而形成化合物半导体的一种新技术，由于它用控制气体流的方法,容易改变化合物的组成及掺杂浓度,同时所用的设备比较简单,生长速度快,周期短,而且有可能进行批量生产，在半导体器件工艺中开始应用和受到重视。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种化学气相法制备磁性材料的设备，以解决上述技术问题，为实现上述目的本技术采用以下技术方案：一种化学气相法制备磁性材料的设备，包括反应腔、反应气源、保护气源、保护气泵、保护气管、气控泵阀、保护气电感阀、尾气回收泵、尾气管，所述反应腔的底端连接气控泵阀，所述尾气管连接在反应腔的顶端，所述尾气回收泵连接在尾气管上，所述气控泵阀底端连接反应气源，所述气控泵阀侧面连接保护气管，所述保护气管后端连接保护气源，所述保护气泵连接在保护气源和气控泵阀之间的保护气管上，所述保护气泵与气控泵阀之间的保护气管上连接有一段与尾气管连接的保护气管，所述保护气管的中段设有一个保护气电感阀，且保护气电感阀与气控泵阀通过信号线连接，所述反应腔由腔体、顶盖、承载盘、承载盘支架组成，所述顶盖连接在腔体的顶端，所述承载盘支架固定在腔体的内侧壁上，所述承载盘固定在承载盘支架的底端。在上述技术方案基础上，所述承载盘底面设有波纹齿状的反应面，所述承载盘内部设有加热器，所述加热器通过电源线连接在反应腔的外部。在上述技术方案基础上，所述反应气源由氧气源和非饱和氮氧化物气源组成，所述氧气源和非饱和氮氧化物气源均连接在气控泵阀的底端。在上述技术方案基础上，所述承载盘、承载盘支架由石墨材料制成，所述腔体、保护气管、尾气管均由陶瓷材料制成，所述氧气源为氧气气体，所述非饱和氮氧化物气源由一氧化二氮气体，所述保护气源为氢气气体。与现有技术相比，本技术具有以下优点：因为此类方法制备磁性材料的设备较为简单，而且制作成本较低，目前处于初发阶段，俱已发现生长速度快、周期短的特点，对于批量生产非常有利，避免了前期高昂的投入费用和后期的高昂维护费用，而且尾气处理简单不具有太大的污染性，宜推广使用。附图说明图1为本技术总体外观状态图。图2为本技术总体平面示意图。图中：1-反应腔，2-反应气源，3-保护气源，4-保护气泵，5-保护气管，6-气控泵阀，7-保护气电感阀，8-尾气回收泵，9-尾气管，10-信号线，11-腔体，12-顶盖，13-承载盘，14-承载盘支架，15-反应面，16-加热器，17-电源线，18-氧气源，19-非饱和氮氧化物气源。具体实施方式下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步详细阐述。一种化学气相法制备磁性材料的设备，包括反应腔1、反应气源2、保护气源3、保护气泵4、保护气管5、气控泵阀6、保护气电感阀7、尾气回收泵8、尾气管9，所述反应腔1的底端连接气控泵阀6，所述尾气管9连接在反应腔1的顶端，所述尾气回收泵8连接在尾气管9上，所述气控泵阀6底端连接反应气源2，所述气控泵阀6侧面连接保护气管5，所述保护气管5后端连接保护气源3，所述保护气泵4连接在保护气源3和气控泵阀6之间的保护气管5上，所述保护气泵4与气控泵阀6之间的保护气管5上连接有一段与尾气管9连接的保护气管5，所述保护气管5的中段设有一个保护气电感阀7，且保护气电感阀7与气控泵阀6通过信号线10连接，所述反应腔1由腔体11、顶盖12、承载盘13、承载盘支架14组成，所述顶盖12连接在腔体11的顶端，所述承载盘支架14固定在腔体11的内侧壁上，所述承载盘13固定在承载盘支架14的底端。所述承载盘13底面设有波纹齿状的反应面15，所述承载盘13内部设有加热器16，所述加热器16通过电源线17连接在反应腔1的外部。所述反应气源2由氧气源18和非饱和氮氧化物气源19组成，所述氧气源18和非饱和氮氧化物气源19均连接在气控泵阀6的底端。所述承载盘13、承载盘支架14由石墨材料制成，所述腔体11、保护气管5、尾气管9均由陶瓷材料制成，所述氧气源18为氧气气体，所述非饱和氮氧化物气源19由一氧化二氮气体，所述保护气源3为氢气气体。本技术工作原理：制备磁性材料的主要步骤为：将保护气体释放，通过气控泵阀的控制下，将保护气源和反应气源进行混合，将反应气源的气体带至反应腔中与保护气源的气体充分混合，然后在被加热的承载盘上面发生化学反应促成薄膜的成长从而生成磁性材料，当设备反应腔内部的保护气源过于充足时候，气控泵阀会控制保护气体不会继续混合，由于保护气电感阀与气控泵阀连接，并且会让保护气源从配置有保护气电感阀的保护气管流出到尾气管内，并且带动尾气管内的尾气进行排除。以上所述为本技术较佳实施例，对于本领域的普通技术人员而言，根据本技术的教导，在不脱离本技术的原理与精神的情况下，对实施方式所进行的改变、修改、替换和变型仍落入本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种化学气相法制备磁性材料的设备，其特征在于，包括反应腔（1）、反应气源（2）、保护气源（3）、保护气泵（4）、保护气管（5）、气控泵阀（6）、保护气电感阀（7）、尾气回收泵（8）、尾气管（9），所述反应腔（1）的底端连接气控泵阀（6），所述尾气管（9）连接在反应腔（1）的顶端，所述尾气回收泵（8）连接在尾气管（9）上，所述气控泵阀（6）底端连接反应气源（2），所述气控泵阀（6）侧面连接保护气管（5），所述保护气管（5）后端连接保护气源（3），所述保护气泵（4）连接在保护气源（3）和气控泵阀（6）之间的保护气管（5）上，所述保护气泵（4）与气控泵阀（6）之间的保护气管（5）上连接有一段与尾气管（9）连接的保护气管（5），所述保护气管（5）的中段设有一个保护气电感阀（7），且保护气电感阀（7）与气控泵阀（6）通过信号线（10）连接，所述反应腔（1）由腔体（11）、顶盖（12）、承载盘（13）、承载盘支架（14）组成，所述顶盖（12）连接在腔体（11）的顶端，所述承载盘支架（14）固定在腔体（11）的内侧壁上，所述承载盘（13）固定在承载盘支架（14）的底端。/n

【技术特征摘要】
1.一种化学气相法制备磁性材料的设备，其特征在于，包括反应腔（1）、反应气源（2）、保护气源（3）、保护气泵（4）、保护气管（5）、气控泵阀（6）、保护气电感阀（7）、尾气回收泵（8）、尾气管（9），所述反应腔（1）的底端连接气控泵阀（6），所述尾气管（9）连接在反应腔（1）的顶端，所述尾气回收泵（8）连接在尾气管（9）上，所述气控泵阀（6）底端连接反应气源（2），所述气控泵阀（6）侧面连接保护气管（5），所述保护气管（5）后端连接保护气源（3），所述保护气泵（4）连接在保护气源（3）和气控泵阀（6）之间的保护气管（5）上，所述保护气泵（4）与气控泵阀（6）之间的保护气管（5）上连接有一段与尾气管（9）连接的保护气管（5），所述保护气管（5）的中段设有一个保护气电感阀（7），且保护气电感阀（7）与气控泵阀（6）通过信号线（10）连接，所述反应腔（1）由腔体（11）、顶盖（12）、承载盘（13）、承载盘支架（14）组成，所述顶盖（12）连接在腔体（11）的顶端，所述承载盘支架（...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵厚军，黄玉国，史灵海，
申请(专利权)人：枣庄亿源电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37