【技术实现步骤摘要】
一种有机半导体晶体的多温区化学气相沉积装置
本技术涉及光电子学及能源
，具体为一种有机半导体晶体的多温区化学气相沉积装置。
技术介绍
相对于传统的无机半导体，有机小分子半导体是一种新型半导体材料，其主要优点包括制造成本低，大面积合成，柔性等。最新研究表明一些有机小分子具有优异的半导体性能，在有机晶体管，有机太阳能电池，有机电池，有机电容器等反面具有广泛的应用前景。例如，含硫有机并苯类小分子在电池应用方面的研究表明，其有希望媲美许多成熟的传统无机电池电极材料，具有大规模应用的潜在优势。目前，含硫有机并苯类小分子的合成主要集中在实验室，大量有机溶剂的使用，尤其一些有毒试剂的使用使得合成成本较高，同时，实验室量级的合成产率较低，产量很少，纯度较低，无法满足潜在商用的要求。化学气相沉积是一种材料制备装置，它能实现原材料在一定的气相状态下升华并发生化学反应，获得目标材料。化学气相沉积能够在无溶剂状态下合成有机并苯类小分子，广泛应用于一些半导体材料的生长，具有有效的重复性和稳定性。其缺点是产率和产量无法控制，成本仍然较高。...
【技术保护点】
1.一种有机半导体晶体的多温区化学气相沉积装置，包括工作台（9）和垂直移动系统（8），其特征在于，所述工作台（9）的顶部通过粘接固定有玻璃外套管（2），所述玻璃外套管（2）的顶端连接有出气金属连接器（1），所述垂直移动系统（8）的顶端穿过工作台（9）活动连接在玻璃外套管（2）的内部，所述垂直移动系统（8）的顶端位于玻璃外套管（2）的内部固定有反应容器（7），所述反应容器（7）的顶部中心处通过玻璃烧结工艺形成圆锥形小孔（11），所述反应容器（7）的外侧套接固定有加热系统（3），所述工作台（9）上位于垂直移动系统（8）的一侧设置有与玻璃外套管（2）连通的进气金属连接器（10）。/n
【技术特征摘要】
1.一种有机半导体晶体的多温区化学气相沉积装置，包括工作台（9）和垂直移动系统（8），其特征在于，所述工作台（9）的顶部通过粘接固定有玻璃外套管（2），所述玻璃外套管（2）的顶端连接有出气金属连接器（1），所述垂直移动系统（8）的顶端穿过工作台（9）活动连接在玻璃外套管（2）的内部，所述垂直移动系统（8）的顶端位于玻璃外套管（2）的内部固定有反应容器（7），所述反应容器（7）的顶部中心处通过玻璃烧结工艺形成圆锥形小孔（11），所述反应容器（7）的外侧套接固定有加热系统（3），所述工作台（9）上位于垂直移动系统（8）的一侧设置有与玻璃外套管（2）连通的进气金属连接器（10）。
2.根据权利要求1所述的一种有机半导体晶体的多温区化学气相沉积装置，其特征在于，所述加热系统（3）包括有第一电热丝（4）、第二电热丝（5）、第三电热丝（6）、第三接头（12）、第二接头（13）、第一接头（14）和玻璃内套管（15），所述玻璃内套管（1...
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