光罩识别系统及其识别方法、光刻设备技术方案

本发明专利技术提供了一种光罩识别系统，包括工作台及光罩存储模块，所述光罩存储模块用于存储光罩，所述光罩存储模块的底面设置有用于标识所述光罩的标识单元，所述工作台的顶面设置有识别单元，当所述识别单元识别到所述标识单元时，将所述光罩存储模块放置在所述工作台上。通过在光罩存储模块上设置与其内存储的光罩信息相匹配的标识单元，以及在工作台上设置用于识别所述标识单元的识别单元，能够有效识别光罩存储模块内的光罩，避免了因光罩选择错误而对光罩造成损伤的问题。

Mask recognition system and its recognition method, lithography equipment

【技术实现步骤摘要】
光罩识别系统及其识别方法、光刻设备
本专利技术涉及半导体设备
，尤其涉及一种光罩识别系统及其识别方法、光刻设备。
技术介绍
光刻是指在光照作用下，将光罩上的图形转移到硅片上的技术，它是半导体器件制造工艺中的一个重要步骤。其中，光罩也称光掩模版、掩模版，其上刻有图形，一般需要在光罩表面上覆盖一层薄膜以保护所述图形。在生产过程中，光罩不使用时放入光罩盒内保存。当需要使用时，将光罩盒放到光刻设备的工作台上，然后光刻设备的转移装置将光罩取出并放置于光刻设备的掩模台上。由于光罩盒的外形相差不大，导致无法通过光罩盒的外形识别其内存储的光罩型号。由于光罩不同，其上的薄膜的宽度及高度也不同，为避免光罩在固定及转移过程中因其薄膜触碰到光刻设备的零部件被损伤，需要对光罩进行识别。现有技术中，主要是通过人眼识别的方法来防止类似情况发生。但人眼识别存在误操作的可能，也容易导致光罩的薄膜被损伤。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种光罩识别系统及其识别方法以及光刻设备，能够避免放错光罩的情况，提高生产效率。为了达到上述目的，本专利技术提供了一种光罩识别系统，包括工作台及光罩存储模块，所述光罩存储模块用于存储光罩，所述光罩存储模块的底面设置有用于标识所述光罩的标识单元，所述工作台的顶面设置有识别单元，当所述识别单元识别到所述标识单元时，将所述光罩存储模块放置在所述工作台上。可选的，所述光罩存储模块的底面包括功能区及非功能区，所述标识单元位于所述非功能区。可选的，所述标识单元包括可识别图像，所述可识别图像携带对应的光罩的信息，所述识别单元包括图像识别器，所述图像识别器识别所述可识别图像并获取所述光罩的信息。可选的，所述光罩包括基板及覆盖于所述基板上的保护薄膜，所述光罩的信息包括所述保护薄膜的尺寸。可选的，所述可识别图像为条形码、二维码或射频卡。可选的，所述光罩存储模块的底面设置有若干凸起，所述工作台的顶面设置有与所述凸起一一对应的凹槽，将所述光罩存储模块放置在所述工作台上后，所述凸起进入对应的所述凹槽内。可选的，所述光罩识别系统还包括一报警器，当所述识别单元无法识别所述标识单元时，所述报警器报警。基于此，本申请还提供了一种利用如所述光罩识别系统进行光罩识别方法，包括：将装有光罩的光罩存储模块移动至工作台的位置处，并使所述光罩存储模块的底面与所述工作台的顶面相对；识别单元实时对标识单元进行识别；当所述识别单元识别到所述标识单元时，将所述光罩存储模块放置在所述工作台上。可选的，当所述识别单元未识别到所述标识单元时，将所述光罩存储模块移出所述工作台的区域。基于此，本申请还提供了一种光刻设备，包括光刻系统及所述的光罩识别系统，所述光罩识别系统的工作台设置于所述光刻系统的一侧，所述光刻设备包括掩模台及转移模块，所述光罩存储模块上放置在所述工作台上后，所述转移模块将所述光罩存储模块内的光罩转移至所述掩模台上。在本专利技术提供的一种光罩识别系统中，包括工作台及光罩存储模块，所述光罩存储模块用于存储光罩，所述光罩存储模块的底面设置有用于标识所述光罩的标识单元，所述工作台的顶面设置有识别单元，当所述识别单元识别到所述标识单元时，将所述光罩存储模块放置在所述工作台上。通过在光罩存储模块上设置与其内存储的光罩信息相匹配的标识单元，以及在工作台上设置用于识别所述标识单元的识别单元，能够有效识别光罩存储模块内的光罩，避免了光罩选择错误而对光罩造成损伤的问题。附图说明图1为本专利技术实施例提供的光罩识别系统的结构示意图；图2为本专利技术实施例提供的光罩存储模块的仰视图；其中，附图标记为：10-工作台；20-光罩存储模块；30-光罩；100-识别单元；110-凸起；200-标识单元；210-凹槽。具体实施方式下面将结合示意图对本专利技术的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述，本专利技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本专利技术实施例的目的。如图1所示，本实施例提供了一种光罩识别系统，包括工作台10及光罩存储模块20，所述光罩存储模块20用于存储光罩30，所述光罩存储模块20的底面设置有用于标识所述光罩30的标识单元200，所述工作台10的顶面设置有识别单元100，当所述识别单元100识别到所述标识单元200时，将所述光罩存储模块20放置在所述工作台10上。具体的，所述光罩存储模块20包括但不限于是一个光罩盒，所述光罩盒包括盒体与盒盖，所述盒体内设置有所述光罩30，所述盒盖的底面用于标识所述光罩30的标识单元200。所述光罩存储模块20能够避免所述光罩30在运输与储存时遭受外部微尘粒子损伤及静电损害。所述工作台10通过对所述光罩存储模块20进行识别以筛选符合要求的光罩30。需理解的是，此处符合要求的光罩30主要指所述光罩30的薄膜的尺寸不大于光刻设备的最大允许尺寸，即所述光罩30在所述光刻设备上固定或转移时其上的薄膜不会被刮伤，所述光刻设备指利用所述光罩30进行光刻的设备。本实施例中，所述光罩存储模块20位于所述工作台10的上方，当所述识别单元100识别到所述标识单元200时，说明所述光罩存储模块20内的光罩30是符合要求的，那么可使所述光罩存储模块20朝靠近所述工作台10的位置移动，并最终放置于所述工作台10。例如当所述识别单元100识别到所述标识单元200时，可以通过机械手等抓取设备使所述光罩存储模块20垂直向下移动并放置于所述工作台10上，然后再将所述光罩存储模块20内的光罩30取出即可。若识别单元100无法识别所述标识单元200时，说明所述光罩存储模块20内的光罩30是不符合要求的，此时可将所述光罩存储模块20移走，并将下一个光罩存储模块20的标识单元200通过所述工作台10的识别单元100进行识别，直到所述识别单元100识别到所述标识单元200为止。本实施例中，所述光罩存储模块20的底面包括功能区及非功能区，所述标识单元200位于所述非功能区。所述功能区为能够对所述光罩存储模块20起作用的结构，例如是限位结构，用于在运输时固定所述光罩存储模块20，或者是其他结构，本申请对此不作任何限制。同理，所述非功能区即对所述光罩存储模块20不起任何作用的区域，通过将所述标识单元200设置于所述非功能区不仅避免对功能区造成影响，同时还能有效利用所述光罩存储模块20底面的空间。请继续参照图1，所述标识单元200包括可识别图像，所述可识别图像携带对应的所述光罩30的信息，所述识别单元100包括图像识别器，所述图像识别器识别所述可识别图像并获取所述光罩的信息。通过可识别图像可以有效的标识所述光罩30的信息，例如光罩30的型号、薄膜的尺寸等信息。然后利用图像识别器对所述可识别图像进行识别，当所述图像识别器识别所述可识别图像的信息时，则说明光罩30是符合要求的。反之，若所述图像识别器无法识别所述可本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光罩识别系统，其特征在于，包括工作台及光罩存储模块，所述光罩存储模块用于存储光罩，所述光罩存储模块的底面设置有用于标识所述光罩的标识单元，所述工作台的顶面设置有识别单元，当所述识别单元识别到所述标识单元时，将所述光罩存储模块放置在所述工作台上。/n

【技术特征摘要】
1.一种光罩识别系统，其特征在于，包括工作台及光罩存储模块，所述光罩存储模块用于存储光罩，所述光罩存储模块的底面设置有用于标识所述光罩的标识单元，所述工作台的顶面设置有识别单元，当所述识别单元识别到所述标识单元时，将所述光罩存储模块放置在所述工作台上。


2.如权利要求1所述的光罩识别系统，其特征在于，所述光罩存储模块的底面包括功能区及非功能区，所述标识单元位于所述非功能区。


3.如权利要求1所述的光罩识别系统，其特征在于，所述标识单元包括可识别图像，所述可识别图像携带对应的光罩的信息，所述识别单元包括图像识别器，所述图像识别器识别所述可识别图像并获取所述光罩的信息。


4.如权利要求3所述的光罩识别系统，其特征在于，所述光罩包括基板及覆盖于所述基板上的保护薄膜，所述光罩的信息包括所述保护薄膜的尺寸。


5.如权利要求3所述的光罩识别系统，其特征在于，所述可识别图像为条形码、二维码或射频卡。


6.如权利要求1所述的光罩识别系统，其特征在于，所述光罩存储模块的底面设置有若干凸起，所述工作台的顶面设置有与所述凸起一...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱晓斌，蔡亮，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31