温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种光罩识别系统，包括工作台及光罩存储模块，所述光罩存储模块用于存储光罩，所述光罩存储模块的底面设置有用于标识所述光罩的标识单元，所述工作台的顶面设置有识别单元，当所述识别单元识别到所述标识单元时，将所述光罩存储模块放置在所述工...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。