一种光源能量强度监测系统及光刻机技术方案

本实用新型专利技术公开了一种光源能量强度监测系统及光刻机，其中，一种光源能量强度监测系统，包括：照明光路和监测光路，所述照明光路包括沿光路设置在同一水平方向上的光源、分光镜，所述监测光路包括光电探测器；所述光源发出的光在经过所述分光镜后，一部分被所述分光镜部分反射或部分透射至所述监测光路，并能够被所述光电探测器所采集。本实施例中的一种光源能量强度监测系统的有益效果在于在照明光路中添加分光镜，使得光源发射部分反射或部分透射至监测光路中，并被监测光路中的光电探测器所采集，从而实现对光刻机工作时的照明光斑的光强大小及光强一致性的监测，解决了通过传统的人工检查的方式中存在的困难和不便之处。

【技术实现步骤摘要】
一种光源能量强度监测系统及光刻机
本技术涉及光刻
，更具体地，涉及一种光源能量强度监测系统及光刻机。
技术介绍
在光刻
，对光斑的能量分布均匀性及光强稳定性要求较高，如果光源能量不稳定，会直接影响经过光刻或切割后的产品质量。因此，传统地光刻机需要定期检测光照性能，以保障光源能量稳定。然而，光照性能检测通常采用人工检查方式，人工使用探测器对照射光斑进行直接测量，然后人工修正照明光斑的光强大小及光强一致性，效率很低，无法实现对光刻机的光源能量的实时动态监控。
技术实现思路
本技术需要解决的问题在于，提供一种光源能量强度监测系统及光刻机，用于解决上述问题。为解决上述问题，本技术所采用的一种技术方案是：提供一种光源能量强度监测系统，包括：照明光路和监测光路，所述照明光路包括沿光路设置在同一水平方向上的光源、分光镜，所述监测光路包括光电探测器；所述光源发出的光在经过所述分光镜后，一部分被所述分光镜部分反射或部分透射至所述监测光路，并能够被所述光电探测器所采集。其中，所述照明光路还包括准直镜；所述准直镜设置于所述光源与所述分光镜之间，所述光源与所述准直镜沿光路设置在同一水平方向上，所述准直镜用于维持所述光源发出的光束的准直性。其中，所述照明光路还包括光学积分器；所述光学积分器设置于所述准直镜与所述分光镜之间，所述光学积分器用于均匀所述光源发出的光束光强。其中，所述监测光路还包括监测聚光镜；所述监测聚光镜设置于所述光电探测器之前，所述监测聚光镜与所述光电探测器设置在同一水平方向上，所述监测聚光镜用于聚拢经所述分光镜部分反射或部分透射射向所述光电探测器的光束。其中，所述监测光路还包括滤光片；所述滤光片设置于所述监测聚光镜与所述光电探测器之间，所述监测聚光镜与所述滤光片、所述光电探测器沿光路设置在同一水平方向上，所述所述滤光片用于过滤特定波长的光线。其中，所述照明光路还包括照明物镜，所述照明物镜设置于所述分光镜之下。其中，所述光源为LED光源或高压汞灯。其中，所述光电探测器为光电二极管。其中，所述光电探测器为面阵探测器。为解决上述问题，本技术所采用的另一种技术方案是：提供一种光刻机，包括：上述的一种光源能量强度监测系统以及光刻投影镜头、晶圆载台、镜头支架和大理石平台；所述镜头支架和所述晶圆载台分别设置于所述大理石平台之上，所述光刻投影镜头设置于所述镜头支架之上。与现有技术相比，本技术的优势在于：在照明光路中添加分光镜，使得光源发射部分反射或部分透射至监测光路中，并被监测光路中的光电探测器所采集，从而实现对光刻机工作时的照明光斑的光强大小及光强一致性的监测，解决了通过传统的人工检查的方式中存在的困难和不便之处。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术实施例中一种采用了激光能量强度监测系统的光刻机的结构示意图。附图标记说明：光刻机-10，照明光路-11,光源-111，准直镜-112，光学积分器-113，分光镜-115，照明物镜-114,监测光路-12，监测聚光镜-121，滤光片-122，光电探测器-123，掩模板-13，光刻投影镜头-14，晶圆-15，晶圆载台-16，镜头支架-17，大理石平台-18。具体实施方式为了使本
的人员更好地理解本技术方案，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例，附图中给出了本技术的较佳实施例。本技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例，相反地，提供这些实施例的目的是使对本技术的公开内容的理解更加透彻全面。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1，图1为本技术实施例中一种采用了激光能量强度监测系统的光刻机的结构示意图，其中，一种采用了激光能量强度监测系统包括：照明光路11和监测光路12；其中，照明光路11可以包括沿光路设置在同一水平方向上的光源111、分光镜115，监测光路12包括光电探测器123；当光源111发出的光在经过分光镜115时，一部分被分光镜115部分反射或部分透射至监测光路12，并能够被光电探测器123所采集。进一步地，光源111发出的光在经过分光镜115被部分反射或部分透射是由具体采用何种分光镜115决定的，在本实施例中，分光镜115优选为平面型分束镜。进一步地，照明光路11还可以包括准直镜112，准直镜112设置于光源111与分光镜115之间，光源111与准直镜112沿光路设置在同一水平方向上，准直镜112用于维持光源111发出的光束的准直性。进一步地，照明光路11还可以包括光学积分器113，光学积分器113设置于准直镜112与分光镜115之间，光学积分器113用于均匀光源111发出的光束光强。进一步地，光学积分器113可以是复眼透镜组或者导光管。进一步地，监测光路12还可以包括监测聚光镜121，监测聚光镜121设置于光电探测器123之前，监测聚光镜121与光电探测器123设置在同一水平方向上，监测聚光镜121用于聚拢经分光镜115部分反射或部分透射射向光电探测器123的光束。进一步地，监测光路12还可以包括滤光片122；滤光片122设置于监测聚光镜121与光电探测器123之间，监测聚光镜121与滤光片122、光电探测器123沿光路设置在同一水平方向上，滤光片122用于过滤特定波长的光线。进一步地，照明光路11还可以包括照明物镜114，照明物镜114设置于分光镜115之下。在一些实施例中，光源111可以为LED光源，用于发射包含特定波长的紫外线光。在一些实施例中，光源111可以为高压汞灯，用于发射特定波长的紫外线光。在一些实施例中，光电探测器123可以为光电二极管，用于将光转变为电信号，从而检测实时的光强。在本实施例中，光电探测器123优选为面阵探测器，可以是由在一平面上阵列成面的多个光电探测器构成，能够同时将一平面上的光转变为电信号，从而检测实时的光强以及判断光班的光强是否均匀，亦可以为CCD探测器。进一步地，因为监测光斑与照明光斑共用一个光学积分器113，不同点在于聚光镜焦距不同使得光斑大小不同。因此照明光斑和监测光斑的能量分布相同，大小不一致，能量密度比也是定值，基于上述原理，在监测光斑处放置光电探测器，通过探测监测光斑的能量大小及分布情况，可实时掌握照明光斑的能量分布及大小。综上，本实施例提供了一种光源能量强度监本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光源能量强度监测系统，其特征在于，包括：/n照明光路(11)和监测光路(12)；/n其中，所述照明光路(11)包括沿光路设置在同一水平方向上的光源(111)、分光镜(115)，所述监测光路(12)包括光电探测器(123)；/n所述光源(111)发出的光在经过所述分光镜(115)后，一部分被所述分光镜(115)部分反射或部分透射至所述监测光路(12)，并能够被所述光电探测器(123)所采集。/n

【技术特征摘要】
1.一种光源能量强度监测系统，其特征在于，包括：
照明光路(11)和监测光路(12)；
其中，所述照明光路(11)包括沿光路设置在同一水平方向上的光源(111)、分光镜(115)，所述监测光路(12)包括光电探测器(123)；
所述光源(111)发出的光在经过所述分光镜(115)后，一部分被所述分光镜(115)部分反射或部分透射至所述监测光路(12)，并能够被所述光电探测器(123)所采集。


2.根据权利要求1所述的一种光源能量强度监测系统，其特征在于，所述照明光路(11)还包括准直镜(112)；
所述准直镜(112)设置于所述光源(111)与所述分光镜(115)之间，所述光源(111)与所述准直镜(112)沿光路设置在同一水平方向上，所述准直镜(112)用于维持所述光源(111)发出的光束的准直性。


3.根据权利要求2所述的一种光源能量强度监测系统，其特征在于，所述照明光路(11)还包括光学积分器(113)；
所述光学积分器(113)设置于所述准直镜(112)与所述分光镜(115)之间，所述光学积分器(113)用于均匀所述光源(111)发出的光束光强。


4.根据权利要求1所述的一种光源能量强度监测系统，其特征在于，所述监测光路(12)还包括监测聚光镜(121)；
所述监测聚光镜(121)设置于所述光电探测器(123)之前，所述监测聚光镜(121)与所述光电探测器(123)设置在同一水平方向上，所述监测聚光镜(121)用于聚拢经所述分光镜(...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐占辉，张晓辉，刘景华，肖自雄，区俊杰，尹建刚，高云峰，
申请(专利权)人：大族激光科技产业集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44