一种用于半导体硅片的练选测试装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体测试技术领域，公开了一种用于半导体硅片的练选测试装置，所述第一固定板的上表面开设有定位槽，且第一固定板的上表面靠近定位槽的一侧设置有放置板，所述定位槽的内部嵌入安装有定位杆，所述第一固定板的一侧固定安装有清洁组件，且第一固定板的一侧设置有测试主机，所述测试主机的一侧开设有滑槽，所述滑槽的内部活动安装有测试连接头，且滑槽的下方设置有限位组件，在第一固定板的一侧设置有清洁组件，可以有效的将半导体硅片在放进与拿出第一固定板时将其表面进行清洁，清除半导体硅片表面杂质，将限位组件安装在测试连接头的上方，通过第二支撑板与第二伸缩板对不同位置的半导体硅片进行练选测试，提高其使用性。

A testing device for semiconductor silicon wafer

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体硅片的练选测试装置
本技术涉及半导体测试
，具体是一种用于半导体硅片的练选测试装置。
技术介绍
硅片是光伏、半导体行业广泛使用的基础材料，其中半导体硅片适用于集成电路行业，在使用半导体硅片前需要对其进行练选测试，练选测试可以有效的对半导体硅片的一些数据进行测量，从而得到准确的半导体硅片数据。但是，在进行半导体硅片进行练选测试时，无法有效的对半导体硅片进行清洁，容易造成半导体硅片上的杂质的产生，造成半导体硅片的失效，且在进行练选测试时无法对不同位置的半导体硅片进行测试。因此，本领域技术人员提供了一种用于半导体硅片的练选测试装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于半导体硅片的练选测试装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于半导体硅片的练选测试装置，包括第一固定板，所述第一固定板的上表面开设有定位槽，且第一固定板的上表面靠近定位槽的一侧设置有放置板，所述定位槽的内部嵌入安装有定位杆，所述第一固定板的一侧固定安装有清洁组件，且第一固定板的一侧设置有测试主机，所述测试主机的一侧开设有滑槽，所述滑槽的内部活动安装有测试连接头，且滑槽的下方设置有限位组件。作为本技术再进一步的方案：所述定位杆开设有4个，所述放置板为L型设置。作为本技术再进一步的方案：所述清洁组件包括第一支撑板、第一伸缩板、第一螺栓、毛刷、卡鞘和卡槽，所述卡鞘的一端嵌入安装在卡槽的内部，且卡鞘的另一端固定安装在第一支撑板的一侧，所述第一支撑板的下方活动安装有第一伸缩板，且第一支撑板的一侧固定安装有第一螺栓，所述第一伸缩板的下表面设置有毛刷。作为本技术再进一步的方案：所述卡槽开设有2个，所述卡鞘安装有2个，且卡鞘对称分布在第一支撑板的一侧。作为本技术再进一步的方案：所述第一支撑板与第一伸缩板滑动设置，且第一支撑板与第一伸缩板为不锈钢材料，所述毛刷的材料为橡胶材料。作为本技术再进一步的方案：所述限位组件包括第二固定板、第二支撑板、第二螺栓、第二伸缩板和托板，所述第二固定板的两侧固定安装有第二支撑板，所述第二支撑板的上方活动安装有第二伸缩板，且第二支撑板一侧设置有第二螺栓，所述第二伸缩板的一侧设置有托板。作为本技术再进一步的方案：所述第二伸缩板与托板垂直设置，所述第二伸缩板与第二支撑板滑动设置。与现有技术相比，本技术的有益效果是：1、将半导体硅片放置在第一固定板上的放置板上进行练选测试，在第一固定板的一侧设置有清洁组件，可以有效的将半导体硅片在放进与拿出第一固定板时将其表面进行清洁，清除半导体硅片表面污染杂质，防止杂质造成半导体硅片失效。2、将限位组件安装在测试连接头的上方，可以通过第二支撑板与第二伸缩板对不同位置的半导体硅片进行练选测试，且第二伸缩板上设置有托板，可以对测试连接头起到有效的支撑作用，大大提高其使用性。附图说明图1为一种用于半导体硅片的练选测试装置的结构示意图；图2为图1中A部分的放大图；图3为一种用于半导体硅片的练选测试装置中限位组件的结构示意图；图4为一种用于半导体硅片的练选测试装置中限位组件的安装结构示意图。图中：1、测试主机；2、滑槽；3、测试连接头；4、清洁组件；5、定位杆；6、第一固定板；7、放置板；8、定位槽；9、限位组件；41、第一支撑板；42、第一伸缩板；43、第一螺栓；44、毛刷；45、卡鞘；46、卡槽；91、第二固定板；92、第二支撑板；93、第二螺栓；94、第二伸缩板；95、托板。具体实施方式请参阅图1～4，本技术实施例中，一种用于半导体硅片的练选测试装置，包括第一固定板6，第一固定板6的上表面开设有定位槽8，且第一固定板6的上表面靠近定位槽8的一侧设置有放置板7，定位槽8的内部嵌入安装有定位杆5，定位杆5开设有4个，放置板7为L型设置，第一固定板6的一侧固定安装有清洁组件4，清洁组件4包括第一支撑板41、第一伸缩板42、第一螺栓43、毛刷44、卡鞘45和卡槽46，卡鞘45的一端嵌入安装在卡槽46的内部，且卡鞘45的另一端固定安装在第一支撑板41的一侧，第一支撑板41的下方活动安装有第一伸缩板42，且第一支撑板41的一侧固定安装有第一螺栓43，第一伸缩板42的下表面设置有毛刷44，卡槽46开设有2个，卡鞘45安装有2个，且卡鞘45对称分布在第一支撑板41的一侧，第一支撑板41与第一伸缩板42滑动设置，且第一支撑板41与第一伸缩板42为不锈钢材料，毛刷44的材料为橡胶材料，使用时，将卡鞘45嵌入安装在第一固定板6一侧开设的卡槽46内，使卡鞘45一侧设置的第一支撑板41与第一固定板6进行固定，通过旋转将第一螺栓43进行松动，使第一支撑板41与下方设置的第一伸缩板42进行活动，当第一伸缩板42与第一支撑板41活动到合适位置时，通过旋转第一螺栓43将第一伸缩板42与第一支撑板41进行固定，使用第一伸缩板42底部设置的毛刷44将半导体硅片进行清洁，可以有效的清除半导体硅片表面污染杂质，防止杂质造成半导体硅片失效。在图3中：第一固定板6的一侧设置有测试主机1，测试主机1的一侧开设有滑槽2，滑槽2的内部活动安装有测试连接头3，且滑槽2的下方设置有限位组件9，限位组件9包括第二固定板91、第二支撑板92、第二螺栓93、第二伸缩板94和托板95，第二固定板91的两侧固定安装有第二支撑板92，第二支撑板92的上方活动安装有第二伸缩板94，且第二支撑板92一侧设置有第二螺栓93，第二伸缩板94的一侧设置有托板95，第二伸缩板94与托板95垂直设置，第二伸缩板94与第二支撑板92滑动设置，使用时，将测试连接头3放置在托板95上，托板95可以起到测试连接头3的支撑作用，通过旋转第二螺栓93将第二支撑板92与第二伸缩板94进行滑动，使测试连接头3处于不同的位置，通过旋转拧紧第二螺栓93将第二支撑板92与第二伸缩板94进行固定，从而有效的将测试连接头3在不同的位置进行对半导体硅片的测试。本技术的工作原理是：将半导体硅片放置到第一固定板6的上方，且第一固定板6通过定位槽8与定位杆5设置有3块第一固定板6，3块第一固定板6平行设置，通过一侧设置的测试主机1对第一固定板6内的半导体硅片进行测试，即通过测试主机1一侧设置的测试连接头3对半导体硅片进行测试，通过测试连接头3在测试主机1一侧开设的滑槽2内进行滑动，且测试连接头3下设置有限位组件9，限位组件9可以使测试连接头3在滑动的同时进行有效的支撑作用，使测试连接头3可以在不同的位置对半导体硅片进行测试，得到不同的半导体硅片的数据，且第一固定板6一侧设置有清洁组件4，清洁组件4可以有效的将半导体硅片在放进与拿出第一固定板6时将其表面进行清洁，清除半导体硅片表面污染杂质，防止杂质造成半导体硅片失效。以上所述的，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于半导体硅片的练选测试装置，包括第一固定板(6)，其特征在于，所述第一固定板(6)的上表面开设有定位槽(8)，且第一固定板(6)的上表面靠近定位槽(8)的一侧设置有放置板(7)，所述定位槽(8)的内部嵌入安装有定位杆(5)，所述第一固定板(6)的一侧固定安装有清洁组件(4)，且第一固定板(6)的一侧设置有测试主机(1)，所述测试主机(1)的一侧开设有滑槽(2)，所述滑槽(2)的内部活动安装有测试连接头(3)，且滑槽(2)的下方设置有限位组件(9)。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体硅片的练选测试装置，包括第一固定板(6)，其特征在于，所述第一固定板(6)的上表面开设有定位槽(8)，且第一固定板(6)的上表面靠近定位槽(8)的一侧设置有放置板(7)，所述定位槽(8)的内部嵌入安装有定位杆(5)，所述第一固定板(6)的一侧固定安装有清洁组件(4)，且第一固定板(6)的一侧设置有测试主机(1)，所述测试主机(1)的一侧开设有滑槽(2)，所述滑槽(2)的内部活动安装有测试连接头(3)，且滑槽(2)的下方设置有限位组件(9)。


2.根据权利要求1所述的一种用于半导体硅片的练选测试装置，其特征在于，所述定位杆(5)开设有4个，所述放置板(7)为L型设置。


3.根据权利要求1所述的一种用于半导体硅片的练选测试装置，其特征在于，所述清洁组件(4)包括第一支撑板(41)、第一伸缩板(42)、第一螺栓(43)、毛刷(44)、卡鞘(45)和卡槽(46)，所述卡鞘(45)的一端嵌入安装在卡槽(46)的内部，且卡鞘(45)的另一端固定安装在第一支撑板(41)的一侧，所述第一支撑板(41)的下方活动安装有第一伸缩板(42)，且第一支撑板(41)的一侧固定安装有第一螺栓(43)，所述第一伸缩板(42)...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘俊萍，任晓伟，
申请(专利权)人：复汉海志江苏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32