【技术实现步骤摘要】
一种诊断集成电路装备运行状态的装置及方法
本专利技术涉及集成电路装备制作
，具体涉及一种诊断集成电路装备运行状态的装置及方法。
技术介绍
伴随着集成电路的设计和制造工艺变得越来越复杂，集成电路产业面临越来越多的挑战，其中所面临的重要挑战之一是装备成本越来越高、装备的技术和构造越来越复杂、装备的维护和状态诊断越来越复杂。以集成电路装备里最昂贵、精密和复杂的装备光刻机为例来说明，光刻机曝光工艺中，工件台和掩模台的步进扫描运动是极其精密、快速和复杂的运动状态，需要多种传感器及测量系统对工件台和掩模台的同步扫描运动状态进行监测和反馈。即便是越来越复杂和多样的传感器系统，依然无法及时识别和诊断装备在传感器感知和监测范围之外的某些异常状况，例如接触、磨损等。这些异常状况若无法及时发现，就会对装备安全造成很大的风险，还会造成产品性能下降和产品异常等缺陷。随着集成电路中集成度的提高，若继续采用传感器检测集成电路装备，则需要在集成电路装备内部设置数百个传感器，其中涉及上万种参数，机理繁复，装备极其冗杂，并且现有技...
【技术保护点】
1.一种诊断集成电路装备运行状态的方法，其特征在于，包括如下步骤：/nS01：声音采集模块采集集成电路装备运行过程中的训练声音数据，并将所述训练声音数据及其对应的运行状态传输至分析计算模块，所述分析计算模块对所述训练声音数据及其对应的运行状态进行深度学习，形成诊断模型；/nS02：所述声音采集模块采集集成电路装备运行过程中的诊断声音数据；/nS03：所述诊断声音数据传输至所述诊断模型中，所述诊断模型根据该诊断声音数据判断所述集成电路装备的运行状态，并将判断结果传输至反馈模块；/nS04：所述反馈模块根据接收到的运行状态，判断所述集成电路装备运行是否正常。/n
【技术特征摘要】
1.一种诊断集成电路装备运行状态的方法，其特征在于，包括如下步骤：
S01：声音采集模块采集集成电路装备运行过程中的训练声音数据，并将所述训练声音数据及其对应的运行状态传输至分析计算模块，所述分析计算模块对所述训练声音数据及其对应的运行状态进行深度学习，形成诊断模型；
S02：所述声音采集模块采集集成电路装备运行过程中的诊断声音数据；
S03：所述诊断声音数据传输至所述诊断模型中，所述诊断模型根据该诊断声音数据判断所述集成电路装备的运行状态，并将判断结果传输至反馈模块；
S04：所述反馈模块根据接收到的运行状态，判断所述集成电路装备运行是否正常。
2.根据权利要求1所述的一种诊断集成电路装备运行状态的方法，其特征在于，所述声音采集模块位于所述集成电路装备的内部和/或外部。
3.根据权利要求1所述的一种诊断集成电路装备运行状态的方法，其特征在于，所述训练声音数据和诊断声音数据包括声音强度、声音频率和声音波形。
4.根据权利要求1所述的一种诊断集成电路装备运行状态的方法，其特征在于，所述步骤S01中声音采集模块采集到的训练声音数据及其对应的运行状态存储在存储模块中，所述存储模块将多个训练声音数据及其对应的运行状态传输至所述分析计算模块；
所述步骤S02中所述声音采集模块采集到的诊断声音数据存储在存储模块中，所述存储模块将所述诊断声音数据传输至所述诊断模型中。
5.根据权利要求1所述的一种诊断集成电路装备运行状态的方法，其特征在于，所述分析计算模块采用开源的深度学习算法进行深度学习。
6.根据权利要求1所述的一种诊断集成电路装备运行状态的方法，其特征在于，所述反馈模块判断所述集成电路装备...
【专利技术属性】
技术研发人员：袁伟，赵宇航，李铭，
申请(专利权)人：上海集成电路研发中心有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
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