【技术实现步骤摘要】
一种半导体生产用清洗装置
本技术涉及半导体生产
,具体为一种半导体生产用清洗装置。
技术介绍
半导体,指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用,如二极管就是采用半导体制作的器件,半导体是指一种导电性可受控制,范围可从绝缘体至导体之间的材料,无论从科技或是经济发展的角度来看,半导体的重要性都是非常巨大的,今日大部分的电子产品,如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关连,常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等,而硅更是各种半导体材料中,在商业应用上最具有影响力的一种。半导体生产时需要先使用到清洗装置清洗,但是现有的清洗装置体积较大,太过笨重,在需要调整位置时需多人合作才能抬起,从而造成清洗装置灵活性太差的问题,不便于使用者的使用,降低了清洗装置的实用性。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种半导体生产用清洗装置,具备便于移动的优点,解决了现有的清洗装置体积较大,太过笨重,在需要调整位置时需多人合作才能抬起,从而造成清洗装 ...
【技术保护点】
1.一种半导体生产用清洗装置,包括硅片清洗机本体(1),其特征在于:所述硅片清洗机本体(1)的底部固定连接有底座(2),所述底座(2)底部两侧的前侧和后侧均开设有动力槽(3),所述动力槽(3)内壁的外侧固定连接有电机(4),所述电机(4)的输出端固定连接有正反牙螺杆(5),所述正反牙螺杆(5)远离电机(4)的一侧与动力槽(3)的内壁活动连接,所述正反牙螺杆(5)表面的两侧均螺纹连接有螺套(6),所述螺套(6)的正面固定连接有第一连接柱(7),所述第一连接柱(7)表面的前侧滑动连接有连接杆(8),所述连接杆(8)正面的顶部通过转轴活动连接有固定板(9),所述固定板(9)的顶部 ...
【技术特征摘要】
1.一种半导体生产用清洗装置,包括硅片清洗机本体(1),其特征在于:所述硅片清洗机本体(1)的底部固定连接有底座(2),所述底座(2)底部两侧的前侧和后侧均开设有动力槽(3),所述动力槽(3)内壁的外侧固定连接有电机(4),所述电机(4)的输出端固定连接有正反牙螺杆(5),所述正反牙螺杆(5)远离电机(4)的一侧与动力槽(3)的内壁活动连接,所述正反牙螺杆(5)表面的两侧均螺纹连接有螺套(6),所述螺套(6)的正面固定连接有第一连接柱(7),所述第一连接柱(7)表面的前侧滑动连接有连接杆(8),所述连接杆(8)正面的顶部通过转轴活动连接有固定板(9),所述固定板(9)的顶部与动力槽(3)的内壁固定连接,所述连接杆(8)正面的底部固定连接有第二连接柱(10),所述第二连接柱(10)表面的前侧滑动连接有支撑板(11),所述支撑板(11)的两侧分别与动力槽(3)内壁的两侧滑动连接,所述支撑板(11)的底部固定安装有滑轮(12)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体生产用清洗装置,其特征在于:所述电机(4)的底部固定连接有三角板(13),所述三角板(13)远离连接杆(8)的一...
【专利技术属性】
技术研发人员:沈恒文,林旭斌,金修领,吉双平,郝小峰,刘彤辉,
申请(专利权)人:江苏艾匹克半导体设备有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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