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本实用新型公开了一种半导体生产用清洗装置，包括硅片清洗机本体，所述硅片清洗机本体的底部固定连接有底座，所述底座底部两侧的前侧和后侧均开设有动力槽，所述动力槽内壁的外侧固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有正反牙螺杆。本实用新型通过设置硅...
该专利属于江苏艾匹克半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏艾匹克半导体设备有限公司授权不得商用。

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