直燃回流高效率有机废气处理系统技术方案

技术编号:24141834 阅读:28 留言:0更新日期:2020-05-13 13:50
一种直燃回流高效率有机废气处理系统,主要是将直燃式焚烧炉的排气能经由至少三个以上的热交换器来进行热回收,并将该直燃式焚烧炉的排气再经由一个热交换器和吸附区出口的净气排放管路的排出气体(吸附处理气体)进行热交换,而得以冷却再输送到该除尘设备中,以进行粉尘或二氧化硅(SiO

Direct combustion reflux high efficiency organic waste gas treatment system

【技术实现步骤摘要】
直燃回流高效率有机废气处理系统
本技术涉及一种直燃回流高效率有机废气处理系统,尤其是涉及一种用来将燃烧后的气体能进入该吸附转轮的吸附区循环利用,且不经过该烟囱来进行排放,使有机废气的处理效率能提升,而适用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的有机废气处理系统或类似设备。
技术介绍
目前在半导体产业或光电产业的制造生产过程中都会产生挥发性有机气体(VOC),因此,在各厂区都会安装处理挥发性有机气体(VOC)的处理设备,以避免挥发性有机气体(VOC)直接排入空气中而造成空气污染。而目前经由该处理设备所脱附的浓缩气体大都是输送到该焚烧炉来进行燃烧,再将燃烧后的气体来输送到烟囱来进行排放。但是近年来,不管是中央政府或是各地方政府都对空气污染非常重视,也因此在烟囱的排放标准上制订了有关悬浮微粒(PM10)及细悬浮微粒(PM2.5)的空气品质标准,并依据其国内健康影响研究结果,以健康影响为优先考量,将“细悬浮微粒(PM2.5)”24小时值订为35μg/m3、年平均值订为15μg/m3。且中国台湾环保署初步订于中国台湾109(2020)年达成全台湾细悬浮微粒浓度年平均值15μg/m3的目标,同时将依国际管制趋势发展,逐期检讨其细悬浮微粒(PM2.5)空气品质标准,并朝达成WHO提出的空气品质标准值(24小时值订为25μg/m3、年平均值订为10μg/m3)为空气品质改善目标。因此,本技术的专利技术人有鉴于上述缺失,期待能提出一种具有提升有机废气处理效率的直燃回流高效率有机废气处理系统,令使用者可轻易操作组装,于是潜心研究思考、设计组装制造,以给使用者提供便利,是本技术的专利技术人进行该研发的专利技术动机。
技术实现思路
本技术的主要目的,在于提供一种直燃回流高效率有机废气处理系统,主要是将直燃式焚烧炉的排气能经由至少三个以上的热交换器来进行热回收,并将该直燃式焚烧炉的排气再经由一个热交换器和吸附区出口的净气排放管路的排出气体(吸附处理气体)进行热交换,而得以冷却再输送到该除尘设备中,以进行粉尘或二氧化硅(SiO2)等氧化物的分离,最后再将由该除尘设备所输出的气体输送到该废气进气管路,使燃烧后的气体能进入该吸附转轮的吸附区循环利用,而不经过该烟囱来进行排放,让该烟囱的排放量能降低,并使有机废气的处理效率能提升,进而增加整体的实用性。本技术的另一目的,在于提供一种直燃回流高效率有机废气处理系统,通过该冷却气输送管路与该热气输送管路之间设有一连通管路,且该连通管路设有一连通控制阀门,而该热气输送管路设有一热气控制阀门,并通过该连通控制阀门及该热气控制阀门来形成比例风门,由此,通过该连通控制阀门及该热气控制阀门的设计来形成具有比例风门的效能,以便能调整控制风力的大小,让该热气输送管路内的温度能保持一定高温来提供给该吸附转轮的脱附区使用,并具有节省能源的效能,进而增加整体的使用性。本技术的另一目的,在于提供一种直燃回流高效率有机废气处理系统及其方法,通过该冷却气输送管路与该热气输送管路之间设有一连通管路,且该连通管路设有一连通控制阀门,而该冷却气输送管路设有一冷却气控制阀门,并通过该连通控制阀门及该冷却气控制阀门来形成比例风门,由此,通过该连通控制阀门及该冷却气控制阀门的设计来形成具有比例风门的效能,以便能调整控制风力的大小,让该热气输送管路内的温度能保持一定高温来提供给该吸附转轮的脱附区使用,并具有节省能源的效能,进而增加整体的操作性。为了能够更进一步了解本技术的特征、特点和
技术实现思路
,请参阅以下有关本技术的详细说明与附图,附图仅提供参考与说明用,而非用以限制本技术。附图说明图1为本技术的第一种实施方式的主要架构示意图;图2为本技术的第一种实施方式的第一种比例风门的架构示意图;图3为本技术的第一种实施方式的第二种比例风门的架构示意图;图4为本技术的第二种实施方式的主要架构示意图;图5为本技术的第二种实施方式的第一种比例风门的架构示意图;图6为本技术的第二种实施方式的第二种比例风门的架构示意图。10、直燃式焚烧炉11、进气口12、出气口20、吸附转轮201、吸附区202、冷却区203、脱附区21、废气进气管路22、净气排放管路221、风车23、冷却气进气管路231、气体旁通管路24、冷却气输送管路241、冷却气控制阀门25、热气输送管路251、热气控制阀门26、脱附浓缩废气管路27、连通管路271、连通控制阀门30、第一热交换器301、第一冷侧管路302、第一热侧管路31、第一热气回收管路32、第一焚烧热气回收管路33、第一脱附浓缩气体输送管路40、第二热交换器401、第二冷侧管路402、第二热侧管路50、第三热交换器501、第三冷侧管路502、第三热侧管路51、第三脱附浓缩气体输送管路52、第三热气回收管路60、第四热交换器601、第四冷侧管路602、第四热侧管路61、第四脱附浓缩气体输送管路62、第四热气回收管路70、第五热交换器701、第五冷侧管路702、第五热侧管路71、第五热气回收管路80、除尘设备81、除尘进气管路82、除尘出气管路821、风车90、烟囱91、烟囱排放管路具体实施方式请参阅图1至图6,为本技术实施例的示意图。而本技术的直燃回流高效率有机废气处理系统的最佳实施方式是运用到半导体产业、光电产业或化学相关产业中的挥发有机废气处理系统或类似设备中,主要是将燃烧后的气体能进入该吸附转轮的吸附区循环利用,且不用经过该烟囱来进行排放,使有机废气的处理效率能提升。而本技术的第一种实施方式的直燃回流高效率有机废气处理系统,主要设有一直燃式焚烧炉10、一吸附转轮20、一第一热交换器30、一第二热交换器40、一第三热交换器50、一第五热交换器70、一除尘设备80及一烟囱90(如图1至图3所示),其中该第一热交换器30上设有第一冷侧管路301及第一热侧管路302,该第二热交换器40上设有第二冷侧管路401及第二热侧管路402,该第三热交换器50上设有第三冷侧管路501及第三热侧管路502,该第五热交换器70上设有第五冷侧管路701及第五热侧管路702,而该除尘设备80上为袋式除尘器、电袋式复合除尘器、惯性除尘器、静电除尘器、离心式除尘器、滤筒式脉冲除尘器、脉冲袋式除尘器、脉冲滤芯除尘器、脉冲喷吹袋式除尘器、湿式除尘器、湿式电除尘器、湿式静电除尘器、水膜除尘器、文丘里管除尘器、旋风分离器、烟道除尘器、多层除尘器、负压反吹滤袋除尘器、低压长袋脉冲除尘器、卧式静电除尘器、无动力除尘器、荷电水雾除尘器、多管旋风除尘器或防爆除尘器中的任意一种,另外该直燃式焚烧炉(TO)10上设有一进气口11及一出气口12,且该直燃式焚烧炉(TO)10内设有炉头及炉膛,使该有机废气能由本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.一种直燃回流高效率有机废气处理系统,其特征在于,包括:/n一直燃式焚烧炉,该直燃式焚烧炉设有一进气口及一出气口;/n一吸附转轮,该吸附转轮设有吸附区、冷却区及脱附区,该吸附转轮连接有一废气进气管路、一净气排放管路、一冷却气进气管路、一冷却气输送管路、一热气输送管路及一脱附浓缩气体管路,该废气进气管路的另一端连接至该吸附转轮的吸附区的一侧,该净气排放管路的一端与该吸附转轮的吸附区的另一侧连接,该冷却气进气管路的一端与该吸附转轮的冷却区的一侧连接,该冷却气输送管路的一端与该吸附转轮的冷却区的另一侧连接,该热气输送管路的一端与该吸附转轮的脱附区的另一侧连接,该脱附浓缩气体管路的一端与该吸附转轮的脱附区的一侧连接;/n一第一热交换器,该第一热交换器设有第一冷侧管路及第一热侧管路,该第一热交换器连接有一第一热气回收管路、一第一焚烧热气回收管路及一第一脱附浓缩气体输送管路,该第一焚烧热气回收管路的一端与该第一热侧管路的一端连接,该第一焚烧热气回收管路的另一端与该直燃式焚烧炉的出气口连接,该第一热气回收管路的一端与该第一热侧管路的另一端连接,该第一脱附浓缩气体输送管路的一端与该第一冷侧管路的另一端连接,该第一脱附浓缩气体输送管路的另一端与该直燃式焚烧炉的进气口连接;/n一第二热交换器,该第二热交换器设有第二冷侧管路及第二热侧管路,该第一热气回收管路的另一端与该第二热侧管路的一端连接,该第二冷侧管路的一端与该冷却气输送管路的另一端连接,该第二冷侧管路的另一端与该热气输送管路的另一端连接;/n一第三热交换器,该第三热交换器设有第三冷侧管路及第三热侧管路,该第三热交换器连接有一第三脱附浓缩气体输送管路及一第三热气回收管路,该第三冷侧管路的一端与该脱附浓缩气体管路的另一端连接,该第三脱附浓缩气体输送管路的一端与该第三冷侧管路的另一端连接,该第三脱附浓缩气体输送管路的另一端与该第一冷侧管路的一端连接,该第三热气回收管路的一端与该第三热侧管路的一端连接,该第三热气回收管路的另一端与该第二热侧管路的另一端连接;/n一第五热交换器,该第五热交换器设有第五冷侧管路及第五热侧管路,该第五热交换器连接有一第五热气回收管路,该第五冷侧管路的一端与该净气排放管路的另一端连接,该第五热气回收管路的一端与该第五热侧管路的一端连接,该第五热气回收管路的另一端与该第三热侧管路的另一端连接;/n一除尘设备,该除尘设备连接有一除尘进气管路及一除尘出气管路,该除尘进气管路的一端与该除尘设备连接,该除尘进气管路的另一端与该第五热侧管路的另一端连接,该除尘出气管路的一端与该除尘设备连接,该除尘出气管路的另一端与该废气进气管路连接;以及/n一烟囱,该烟囱设有一烟囱排放管路,该烟囱排放管路的一端与该烟囱连接,该烟囱排放管路的另一端与该第五热交换器的第五冷侧管路的另一端连接。/n...

【技术特征摘要】
20190121 TW 1082009771.一种直燃回流高效率有机废气处理系统,其特征在于,包括:
一直燃式焚烧炉,该直燃式焚烧炉设有一进气口及一出气口;
一吸附转轮,该吸附转轮设有吸附区、冷却区及脱附区,该吸附转轮连接有一废气进气管路、一净气排放管路、一冷却气进气管路、一冷却气输送管路、一热气输送管路及一脱附浓缩气体管路,该废气进气管路的另一端连接至该吸附转轮的吸附区的一侧,该净气排放管路的一端与该吸附转轮的吸附区的另一侧连接,该冷却气进气管路的一端与该吸附转轮的冷却区的一侧连接,该冷却气输送管路的一端与该吸附转轮的冷却区的另一侧连接,该热气输送管路的一端与该吸附转轮的脱附区的另一侧连接,该脱附浓缩气体管路的一端与该吸附转轮的脱附区的一侧连接;
一第一热交换器,该第一热交换器设有第一冷侧管路及第一热侧管路,该第一热交换器连接有一第一热气回收管路、一第一焚烧热气回收管路及一第一脱附浓缩气体输送管路,该第一焚烧热气回收管路的一端与该第一热侧管路的一端连接,该第一焚烧热气回收管路的另一端与该直燃式焚烧炉的出气口连接,该第一热气回收管路的一端与该第一热侧管路的另一端连接,该第一脱附浓缩气体输送管路的一端与该第一冷侧管路的另一端连接,该第一脱附浓缩气体输送管路的另一端与该直燃式焚烧炉的进气口连接;
一第二热交换器,该第二热交换器设有第二冷侧管路及第二热侧管路,该第一热气回收管路的另一端与该第二热侧管路的一端连接,该第二冷侧管路的一端与该冷却气输送管路的另一端连接,该第二冷侧管路的另一端与该热气输送管路的另一端连接;
一第三热交换器,该第三热交换器设有第三冷侧管路及第三热侧管路,该第三热交换器连接有一第三脱附浓缩气体输送管路及一第三热气回收管路,该第三冷侧管路的一端与该脱附浓缩气体管路的另一端连接,该第三脱附浓缩气体输送管路的一端与该第三冷侧管路的另一端连接,该第三脱附浓缩气体输送管路的另一端与该第一冷侧管路的一端连接,该第三热气回收管路的一端与该第三热侧管路的一端连接,该第三热气回收管路的另一端与该第二热侧管路的另一端连接;
一第五热交换器,该第五热交换器设有第五冷侧管路及第五热侧管路,该第五热交换器连接有一第五热气回收管路,该第五冷侧管路的一端与该净气排放管路的另一端连接,该第五热气回收管路的一端与该第五热侧管路的一端连接,该第五热气回收管路的另一端与该第三热侧管路的另一端连接;
一除尘设备,该除尘设备连接有一除尘进气管路及一除尘出气管路,该除尘进气管路的一端与该除尘设备连接,该除尘进气管路的另一端与该第五热侧管路的另一端连接,该除尘出气管路的一端与该除尘设备连接,该除尘出气管路的另一端与该废气进气管路连接;以及
一烟囱,该烟囱设有一烟囱排放管路,该烟囱排放管路的一端与该烟囱连接,该烟囱排放管路的另一端与该第五热交换器的第五冷侧管路的另一端连接。


2.一种直燃回流高效率有机废气处理系统,其特征在于,包括:
一直燃式焚烧炉,该直燃式焚烧炉设有一进气口及一出气口;
一吸附转轮,该吸附转轮设有吸附区、冷却区及脱附区,该吸附转轮连接有一废气进气管路、一净气排放管路、一冷却气进气管路、一冷却气输送管路、一热气输送管路及一脱附浓缩气体管路,该废气进气管路的另一端连接至该吸附转轮的吸附区的一侧,该净气排放管路的一端与该吸附转轮的吸附区的另一侧连接,该冷却气进气管路的一端与该吸附转轮的冷却区的一侧连接,该冷却气输送管路的一端与该吸附转轮的冷却区的另一侧连接,该热气输送管路的一端与该吸附转轮的脱附区的另一侧连接,该脱附浓缩气体管路的一端与该吸附转轮的脱附区的一侧连接;
一第一热交换器,该第一热交换器设有第一冷侧管路及第一热侧管路,该第一热交换器连接有一第一热气回收管路、一第一焚烧热气回收管路及一第一脱附浓缩气体输送管路,该第一焚烧热气回收管路的一端与该第一热侧管路的一端连接,该第一焚烧热气回收管路的另一端与该直燃式焚烧炉的出气口连接,该第一热气回收管路的一端与该第一热侧管路的另一端连接,该第一脱附浓...

【专利技术属性】
技术研发人员:郑石治扶亚民
申请(专利权)人:华懋科技股份有限公司上海华懋环保节能设备有限公司
类型:新型
国别省市:中国台湾;71

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