一种适用于半导体制程废气处理设备制造技术

本实用型新公开一种适用于半导体制程废气处理设备，涉及废气处理领域，包括前水洗设备、热反应设备、后水洗设备和水循环设备，增加前水洗设备，能够提前处理可溶于水的气体以及去除粉尘物，并采用6路直管进气即降低进气量波动影响又防止堵塞，制程气体是从反应腔体底部进入反应腔，能够提前预热气体，增加气体中水汽含量，使反应更充分，部分水淋采用循环水，进水使用一路新水，并且使用一个水泵进行水设备循环和排污，降低成本，减少耗能，节约水资源；在传输管道上进行气体冷却，防止洗涤器过热；本实用型新优化了传统废气处理设备，更利于半导体制程废气的处理，且降低成本，减少耗能，提升处理效果，并增大制程气体的处理量。

A waste gas treatment equipment for semiconductor process

【技术实现步骤摘要】
一种适用于半导体制程废气处理设备
本技术涉及废气处理领域，具体涉及一种适用于半导体制程废气处理设备。
技术介绍
半导体制造工艺中需要使用多种特殊的气体、大量的酸、碱等化学品以及有机溶剂和挥发性液体，工艺气体有硅烷、磷化氢、三氢化砷、氨、三氯化硼、氯、二氯磺酞、四氯化硅、氢化硫、三氯甲苯、碘化硫；酸性液体有HF、H2SO4、HCL、HNO3；碱性液体有NH4OH、NaOH;溶剂有丙酮、二甲苯、IPA、PGMEA、NMP等。这些气体和化学品在半导体制造工艺中，如果不通过集中收集并且处理，将造成严重的问题，将会影响人体的身体健康，造成环境污染。目前市场上的尾气处理设备往往存在以下问题：进气口和进气管道数量少，在制程气体的气量波动较大时，容易造成处理不充分；进气管道采用弯管，容易被粉尘结晶堵塞；反应腔体外面使用隔热锡纸包裹，长期处在高温状态下会发出刺鼻的气味；采用单个加热棒对反应腔进行加热，容错率低；水路采用新鲜水和冷却水，管路不仅多而且密集，控制回路也相应复杂，同时需要配合多组水泵，成本高，耗能大，且用水量大；酸排一次洗涤处对尾气处理使用鲍尔环，采用物理吸附法，把固体颗粒进行吸附，由于一次洗涤的洗涤塔温度比较高，容易造成鲍尔环融化。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种移动通信基站，增加前水洗设备，能够提前处理可溶于水的气体以及去除粉尘物，并采用6路直管进气即降低进气量波动影响又防止堵塞，反应腔体增大并且制程气体是从反应腔体底部进入反应腔，能够提前预热气体，增加气体中水汽含量，使反应更充分，部分水淋采用循环水，进水使用一路新水，并且使用一个水泵进行水设备循环和排污，降低成本，减少耗能，节约水资源；在传输管道上进行气体冷却，防止洗涤器过热；本实用型新优化了传统废气处理设备，更利于半导体制程废气的处理，且降低成本，减少耗能，提升处理效果，并增大制程气体的处理量。一种适用于半导体制程废气处理设备，包括前水洗设备、热反应设备、后水洗设备和水循环设备，所述水循环设备包括水箱、新水进水管道、污水出水管道、水泵和阻隔板，所述水泵安装于水箱内，所述新水进水管道直接与水箱连通，所述污水出水管道与水泵连接；所述前水洗设备包括废气进气管、进气水淋喷头和集气箱，所述废气进气管通过集气箱与水箱连通，所述进气水淋喷头设在废气进气管内；所述热反应设备包括热反应箱、加热棒、过程气体烟囱和传输管道，所述热反应箱内为反应腔和回流腔，所述过程气体烟囱与热反应箱固定连接，且过程气体烟囱下端与水箱连通，上端开口并位于反应腔内，所述加热棒固定连接在热反应箱上，所述传输管道固定连接在热反应箱的侧下方，并与反应腔连通，且传输管道上还设有冷却水淋喷头，所述热反应箱的底部还固定连接有加热箱进水管道，所述加热箱进水管道的两端分别与水泵和回流腔连通；所述后水洗设备包括下洗涤器、上洗涤器、下水淋喷头和上水淋喷头，所述下洗涤器的下端与水箱连通，上端与上洗涤器连通，且下洗涤器还通过传输管道与热反应箱连通，所述下水淋喷头设在下洗涤器内，所述上水淋喷头设在上洗涤器内。优选的，所述废气进气管共设有六根，且每两根废气进气管共同连接在一个集气箱上。优选的，所述加热棒设有六根，且加热棒上固定连接有套筒，且套筒与加热棒之间填充有保温棉。优选的，所述进气水淋喷头和冷却水淋喷头与水泵连通，所述下水淋喷头和上水淋喷头与新水进水管连通。优选的，所述阻隔板的上端与水箱固定连接，阻隔板的下端悬空，与水箱底板之间形成水流通道。优选的，所述过程气体烟囱上设有回流孔，所述回流孔位于回流腔内。本技术的优点在于：增加前水洗设备，能够提前处理可溶于水的气体以及去除粉尘物，并采用6路直管进气即降低进气量波动影响又防止堵塞，反应腔体增大并且制程气体是从反应腔体底部进入反应腔，能够提前预热气体，增加气体中水汽含量，使反应更充分，部分水淋采用循环水，进水使用一路新水，并且使用一个水泵进行水设备循环和排污，降低成本，减少耗能，节约水资源；在传输管道上进行气体冷却，防止洗涤器过热；本实用型新优化了传统废气处理设备，更利于半导体制程废气的处理，且降低成本，减少耗能，提升处理效果，并增大制程气体的处理量。附图说明图1为本实用型新的总处理设备图；图2为本实用型新的热反应设备图；图3为本实用型新的水循环设备图；；图4为本实用型新装置中加热棒的结构示意图；图5为图2中A的放大图；其中，1、前水洗设备，10、废气进气管，100、进气口，11、进气压力检测传感器，12、进气水淋喷头，13、集气箱，2、热反应设备，20、热反应箱，21、加热棒，210、套筒，211、保温棉，22、过程气体烟囱，220、回流孔，23、传输管道，24、冷却水淋喷头，25、反应腔，26、回流腔，3、后水洗设备，30、下洗涤器，31、上洗涤器，32、下水淋喷头，33、上水淋喷头，34、出气口，4、水循环设备，40、水箱，41、新水进水管道，42、污水出水管道，43、水泵，44、加热箱进水管道，45、阻隔板，450、水流通道，46、下下水位传感器，47、下水位传感器，48、上水位传感器，49、上上水位传感器。具体实施方式为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用型新。如图1至图5所示，一种适用于半导体制程废气处理设备，包括前水洗设备1、热反应设备2、后水洗设备3和水循环设备4，所述水循环设备4包括水箱40、新水进水管道41、污水出水管道42、水泵43和阻隔板45，所述水泵43安装于水箱40内，所述新水进水管道41直接与水箱40连通，所述污水出水管道42与水泵43连接；采用一个水泵43对设备进行水循环和污水排放，使设备结构简单，部分水淋采用循环水，进水使用一路新水，降低成本，减少耗能，节约水资源；所述前水洗设备1包括废气进气管10、进气水淋喷头12和集气箱13，所述废气进气管10通过集气箱13与水箱40连通，所述进气水淋喷头12设在废气进气管10内；增加前水洗设备1，能够提前处理可溶于水的气体以及去除粉尘物，并采用6路直管进气即降低进气量波动影响又防止堵塞，进气水淋喷头12设在废气进气管10的三分之一高度处，前水洗设备1的喷淋主要是分解可溶于水的气体以及去除粉尘物，不仅降低制程废气的酸性浓度同时还通过给被处理气体增加水分，使其在经过热反应设备2时更加容易发生分解反应，前水洗设备1能够处理NH3和B2H6；NH3+H2O=NH4OHB2H6+6H2O(l)=2H3BO3+6H2所述热反应设备2包括热反应箱20、加热棒21、过程气体烟囱22和传输管道23，所述热反应箱20内为反应腔25和回流腔26，所述过程气体烟囱22与热反应箱20固定连接，且过程气体烟囱22下端与水箱40连通，上端开口并位于反应腔25内，所述加热棒21固定连接在热反应箱20上，所述传输管道23固定连接在热反应箱20的侧下方，并与本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种适用于半导体制程废气处理设备，其特征在于，包括前水洗设备（1）、热反应设备（2）、后水洗设备（3）和水循环设备（4），所述水循环设备（4）包括水箱（40）、新水进水管道（41）、污水出水管道（42）、水泵（43）和阻隔板（45），所述水泵（43）安装于水箱（40）内，所述新水进水管道（41）直接与水箱（40）连通，所述污水出水管道（42）与水泵（43）连接；/n所述前水洗设备（1）包括废气进气管（10）、进气水淋喷头（12）和集气箱（13），所述废气进气管（10）通过集气箱（13）与水箱（40）连通，所述进气水淋喷头（12）设在废气进气管（10）内；/n所述热反应设备（2）包括热反应箱（20）、加热棒（21）、过程气体烟囱（22）和传输管道（23），所述热反应箱（20）内为反应腔（25）和回流腔（26），所述过程气体烟囱（22）与热反应箱（20）固定连接，且过程气体烟囱（22）下端与水箱（40）连通，上端开口并位于反应腔（25）内，所述加热棒（21）固定连接在热反应箱（20）上，所述传输管道（23）固定连接在热反应箱（20）的侧下方，并与反应腔（25）连通，且传输管道（23）上还设有冷却水淋喷头（24），所述热反应箱（20）的底部还固定连接有加热箱进水管道（44），所述加热箱进水管道（44）的两端分别与水泵（43）和回流腔（26）连通；/n所述后水洗设备（3）包括下洗涤器（30）、上洗涤器（31）、下水淋喷头（32）和上水淋喷头（33），所述下洗涤器（30）的下端与水箱（40）连通，上端与上洗涤器（31）连通，且下洗涤器（30）还通过传输管道（23）与热反应箱（20）连通，所述下水淋喷头（32）设在下洗涤器（30）内，所述上水淋喷头（33）设在上洗涤器（31）内。/n...

【技术特征摘要】
1.一种适用于半导体制程废气处理设备，其特征在于，包括前水洗设备（1）、热反应设备（2）、后水洗设备（3）和水循环设备（4），所述水循环设备（4）包括水箱（40）、新水进水管道（41）、污水出水管道（42）、水泵（43）和阻隔板（45），所述水泵（43）安装于水箱（40）内，所述新水进水管道（41）直接与水箱（40）连通，所述污水出水管道（42）与水泵（43）连接；
所述前水洗设备（1）包括废气进气管（10）、进气水淋喷头（12）和集气箱（13），所述废气进气管（10）通过集气箱（13）与水箱（40）连通，所述进气水淋喷头（12）设在废气进气管（10）内；
所述热反应设备（2）包括热反应箱（20）、加热棒（21）、过程气体烟囱（22）和传输管道（23），所述热反应箱（20）内为反应腔（25）和回流腔（26），所述过程气体烟囱（22）与热反应箱（20）固定连接，且过程气体烟囱（22）下端与水箱（40）连通，上端开口并位于反应腔（25）内，所述加热棒（21）固定连接在热反应箱（20）上，所述传输管道（23）固定连接在热反应箱（20）的侧下方，并与反应腔（25）连通，且传输管道（23）上还设有冷却水淋喷头（24），所述热反应箱（20）的底部还固定连接有加热箱进水管道（44），所述加热箱进水管道（44）的两端分别与水泵（43）和回流腔（26）连通；
所述后水洗设备（3）包括下洗涤器（30）、上洗涤器（31）、下水淋喷头（32）和上水淋喷头（33...

【专利技术属性】
技术研发人员：席涛涛，王继飞，杨春水，陈彦岗，杨春涛，章文军，张坤，闫萧，蔡传涛，王磊，
申请(专利权)人：安徽京仪自动化装备技术有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34