本实用新型专利技术涉及半导体废气处理技术领域，公开了一种半导体废气供气组件和废气处理装置。上述半导体废气供气组件包括：三通管、直线驱动件、刮刀、第一真空卡箍和第二真空卡箍；所述三通管的第一端口用于通过所述第一真空卡箍与气源设备可转动连接，所述三通管的第二端口用于通过所述第二真空卡箍与废气处理设备可转动连接；所述直线驱动件和所述三通管的第三端口连接，所述直线驱动件的输出端和所述刮刀连接，以使得所述刮刀可移动设于所述三通管的第二端和第三端之间的管路中。本实用新型专利技术通过使用真空卡箍，将三通管与气源设备以及废气处理设备可转动连接，使半导体废气供气组件可根据现场环境进行布设。根据现场环境进行布设。根据现场环境进行布设。
【技术实现步骤摘要】
半导体废气供气组件和废气处理装置
[0001]本技术涉及半导体废气处理
，尤其涉及一种半导体废气供气组件和废气处理装置。
技术介绍
[0002]半导体行业在生产过程中持续产生半导体废气，这些废气大多对人体和环境危害严重，因此废气处理装置是该行业生产中不可或缺的组成部分。然而由于半导体厂商内部设施及环境的不同，对于连接气源设备和废气处理设备的半导体废气供气组件的普适性有较大需求。
[0003]当前，半导体废气供气组件与气源设备和废气处理设备的连接通常采用固定的，不便于根据现场环境进行布设。
技术实现思路
[0004]本技术提供一种半导体废气供气组件和废气处理装置，用以解决现有的半导体废气供气组件不便于根据现场环境进行布设的问题。
[0005]为了解决上述技术问题，本申请是这样实现的：
[0006]第一方面，本技术提供一种半导体废气供气组件，包括：三通管、直线驱动件、刮刀、第一真空卡箍和第二真空卡箍；
[0007]所述三通管的第一端口用于通过所述第一真空卡箍与气源设备可转动连接，所述三通管的第二端口用于通过所述第二真空卡箍与废气处理设备可转动连接；
[0008]所述直线驱动件和所述三通管的第三端口连接，所述直线驱动件的输出端和所述刮刀连接，以使得所述刮刀可移动设于所述三通管的第二端和第三端之间的管路中。
[0009]根据本技术提供的一种半导体废气供气组件，所述三通管包括主管和支管；所述支管的第一端为所述三通管的第一端口，所述支管的第二端设于所述主管的侧壁，并与所述主管连通；所述主管的第一端为所述三通管的第二端口，所述主管的第二端为所述三通管的第三端口；所述刮刀可移动设于所述主管内；
[0010]所述直线驱动件具有第一状态和第二状态；在所述直线驱动件处于第一状态的情形下，所述直线驱动件驱动所述刮刀移动至所述主管的第二端和所述支管的第二端之间；
[0011]在所述直线驱动件处于第二状态的情形下，所述直线驱动件驱动所述刮刀在所述主管的第一端和第二端之间往复移动，以清除所述主管的内壁上的附着物。
[0012]根据本技术提供的一种半导体废气供气组件，所述半导体废气供气组件还包括第三真空卡箍；所述支管包括第一管体段和第二管体段；
[0013]所述第一管体段的第一端设于所述主管的侧壁，并与所述主管连通，所述第一管体段的第二端和所述第二管体段的第一端通过所述第三真空卡箍可转动连接，所述第二管体段的第二端为所述三通管的第一端口。
[0014]根据本技术提供的一种半导体废气供气组件，所述第一管体段和所述第二管
体段的管体类型为直管和弯管当中的至少一种。
[0015]根据本技术提供的一种半导体废气供气组件，所述主管和所述第一管体段的管体类型均为直管，所述第二管体段的管体类型为弯管；
[0016]其中，所述主管的延伸方向和所述第一管体段的延伸方向的夹角呈锐角，所述第一管体段的第二端朝向所述直线驱动件的一侧延伸设置。
[0017]根据本技术提供的一种半导体废气供气组件，所述半导体废气供气组件还包括探测器；
[0018]所述探测器用于检测所述主管的内壁是否有附着物，所述探测器和所述直线驱动件电性连接，所述直线驱动件用于根据所述探测器的探测结果控制所述刮刀的移动状态。
[0019]根据本技术提供的一种半导体废气供气组件，所述刮刀呈筒状；所述直线驱动件的输出端和所述刮刀的第一端连接，所述刮刀的第二端形成有刀口，所述刀口沿所述刮刀的周向延伸；
[0020]其中，所述刮刀和所述主管同轴设置，所述刮刀的最大直径小于所述主管的内径。
[0021]根据本技术提供的一种半导体废气供气组件，所述刮刀的侧壁设有通气孔。
[0022]根据本技术提供的一种半导体废气供气组件，所述刮刀的第一端设有螺纹套筒，所述螺纹套筒和所述刮刀的第一端之间设有加强筋；
[0023]所述直线驱动件的输出端设有螺纹转接头，所述螺纹套筒和所述螺纹转接头螺纹连接。
[0024]第二方面，本技术提供一种废气处理装置，包括废气处理设备和半导体废气供气组件，所述三通管的第二端口通过所述第二真空卡箍与所述废气处理设备可转动连接。
[0025]本技术提供的半导体废气供气组件和废气处理装置，通过使用真空卡箍，将三通管的第一端口与气源设备可转动连接，而且将三通管的第二端口与废气处理设备可转动连接，可根据现场空间实际情况，调整半导体废气供气组件的安装位置及角度，并利用真空卡箍的组装拆卸的便捷性，实现对半导体废气供气组件现场的安装和拆卸，从而达到半导体废气供气组件可根据现场环境进行布设的效果。
附图说明
[0026]为了更清楚地说明本技术或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0027]图1是本技术提供的半导体废气供气组件的结构示意图之一；
[0028]图2是本技术提供的半导体废气供气组件图1的剖视图；
[0029]图3是本技术提供的半导体废气供气组件的结构示意图之二；
[0030]图4是本技术提供的刮刀的结构示意图；
[0031]图5是本技术提供的废气处理装置的结构示意图。
[0032]附图标记：
[0033]1、半导体废气供气组件；
[0034]11、三通管；111、主管；112、支管；1121、第一管体段；1122、第二管体段；
[0035]12、直线驱动件；121、螺纹转接头；
[0036]13、刮刀；131、刀口；132、通气孔；133、螺纹套筒；134、加强筋；
[0037]14、第一真空卡箍；15、第二真空卡箍；16、第三真空卡箍；
[0038]2、废气处理设备。
具体实施方式
[0039]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术中的附图，对本技术中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0040]下面结合图1
‑
图5，通过具体的实施例及其应用场景对本技术实施例提供的半导体废气供气组件和废气处理设备进行详细地说明。
[0041]第一方面，如图1、图2和图5所示，本实施例提供一种半导体废气供气组件，该半导体废气供气组件1包括：三通管11、直线驱动件12、刮刀13、第一真空卡箍14和第二真空卡箍15。
[0042]三通管11的第一端口用于通过第一真空卡箍14与气源设备可转动连接，三通管本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体废气供气组件，其特征在于，包括：三通管、直线驱动件、刮刀、第一真空卡箍和第二真空卡箍；所述三通管的第一端口用于通过所述第一真空卡箍与气源设备可转动连接，所述三通管的第二端口用于通过所述第二真空卡箍与废气处理设备可转动连接；所述直线驱动件和所述三通管的第三端口连接，所述直线驱动件的输出端和所述刮刀连接，以使得所述刮刀可移动设于所述三通管的第二端和第三端之间的管路中。2.根据权利要求1所述的半导体废气供气组件，其特征在于，所述三通管包括主管和支管；所述支管的第一端为所述三通管的第一端口，所述支管的第二端设于所述主管的侧壁，并与所述主管连通；所述主管的第一端为所述三通管的第二端口，所述主管的第二端为所述三通管的第三端口；所述刮刀可移动设于所述主管内；所述直线驱动件具有第一状态和第二状态；在所述直线驱动件处于第一状态的情形下，所述直线驱动件驱动所述刮刀移动至所述主管的第二端和所述支管的第二端之间；在所述直线驱动件处于第二状态的情形下，所述直线驱动件驱动所述刮刀在所述主管的第一端和第二端之间往复移动，以清除所述主管的内壁上的附着物。3.根据权利要求2所述的半导体废气供气组件，其特征在于，所述半导体废气供气组件还包括第三真空卡箍；所述支管包括第一管体段和第二管体段；所述第一管体段的第一端设于所述主管的侧壁，并与所述主管连通，所述第一管体段的第二端和所述第二管体段的第一端通过所述第三真空卡箍可转动连接，所述第二管体段的第二端为所述三通管的第一端口。4.根据权利要求3所述的半导体废气供气组件，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：章文军，闫潇，杨春水，张坤，宁腾飞，王继飞，蔡传涛，席涛涛，杨春涛，陈彦岗，
申请(专利权)人：安徽京仪自动化装备技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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