一种硅片生产用滚圆装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种硅片生产用滚圆装置，包括工作台，所述工作台的底部外壁通过螺栓连接有第一电机，且第一电机的输出轴一端设置有下转盘，所述工作台顶部外壁的四个拐角处均通过螺栓连接有液压缸，且液压缸的活塞一端设置有升降板，所述升降板的底部外壁开有圆槽，且圆槽的内壁通过轴承转动连接有上转盘，所述升降板顶部外壁的四个拐角处均设置有凹孔，且凹孔的内壁通过螺栓连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的活塞一端设置有顶板，且顶板的底部外壁设置有定位筒。本发明专利技术有效保证硅棒在转动滚圆的过程中硅棒的棱边均能得到同样的打磨，有效提高了加工精准度，并有效提高了硅棒表面的光滑度，滚圆效果更佳。

A rolling device for silicon wafer production

【技术实现步骤摘要】
一种硅片生产用滚圆装置
本专利技术涉及硅片生产
，尤其涉及一种硅片生产用滚圆装置。
技术介绍
晶硅硅片的生产过程主要包括单晶硅棒截断、单晶硅棒与多晶硅锭开方、单晶硅块磨面与滚圆、多晶硅块磨面与倒角，多线切割、硅片清洗、硅片检测与包装等，其中滚圆的目的主要是四方形且棱角锋利的硅棒通过滚圆对其形状规范，对棱角倒圆角，使棱角方向的光滑度达到要求，再经过立面磨后直接切片就是成品硅片了。目前，在对硅棒进行滚圆加工的过程中，很难找到硅棒的中心点位置然后将其固定在滚圆装置上，导致加工出的硅棒的四个圆角处尺寸不一，且只是对硅棒的棱角处进行打磨，光滑度仍达不到要求，因此，亟需设计一种硅片生产用滚圆装置来解决上述问题。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种硅片生产用滚圆装置。为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：一种硅片生产用滚圆装置，包括工作台，所述工作台的底部外壁通过螺栓连接有第一电机，且第一电机的输出轴一端设置有下转盘，所述工作台顶部外壁的四个拐角处均通过螺栓连接有液压缸，且液压缸的活塞一端设置有升降板，所述升降板的底部外壁开有圆槽，且圆槽的内壁通过轴承转动连接有上转盘，所述升降板顶部外壁的四个拐角处均设置有凹孔，且凹孔的内壁通过螺栓连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的活塞一端设置有顶板，且顶板的底部外壁设置有定位筒，所述定位筒的内壁开有等距离呈环形分布的滑孔，且滑孔的内壁滑动连接有滑杆，所述滑杆的一端外壁焊接有弧形块，且滑杆的另一端外壁设置有挡块，所述滑杆的外壁套接有弹簧。作为本专利技术再进一步的方案：所述工作台的顶部外壁通过螺栓连接有第二电机，且第二电机的输出轴一端设置有螺纹丝杠，螺纹丝杠的外壁螺纹连接有活动板。作为本专利技术再进一步的方案：所述活动板的顶部外壁设置有竖杆，且竖杆的外壁通过轴承转动连接有转筒，转筒的两侧外壁分别焊接有抛光块和打磨块。作为本专利技术再进一步的方案：所述竖杆的顶部外壁开有通槽，且通槽的内壁插接有U形杆，抛光块和打磨块的顶部外壁均开有限位孔，限位孔的内壁和U形杆的外壁滑动连接。作为本专利技术再进一步的方案：所述第一电机、液压缸、电动伸缩杆和第二电机均通过导线连接有开关，且开关通过导线连接有电源。作为本专利技术再进一步的方案：所述上转盘的底部外壁开有凹槽，且上转盘的底部外壁粘接有橡胶垫，橡胶垫的底部外壁开有多个通气孔。作为本专利技术再进一步的方案：所述上转盘的一侧外壁设置有限位口，且限位口的内壁焊接有圆筒，圆筒的一侧外壁开有螺纹孔，螺纹孔的内壁螺纹连接有螺纹杆，螺纹杆的一端外壁焊接有调节轮，螺纹杆的另一端外壁粘接有橡胶塞。本专利技术的有益效果为：1.通过设置的定位筒、滑杆、弹簧和弧形块，待滚圆硅棒可以放置在下转盘上，然后驱动电动伸缩杆工作，可以带动定位筒下移，硅棒首先会与弧形块接触，并随着定位筒的继续下移，弧形块会压缩滑杆上的弹簧，起到扶持硅棒的作用，且定位筒的内径自下而上逐渐减小，当硅棒顶端抵住定位筒的内壁时，硅棒的中心点便会自动挪移至下转盘的中心点处，有效保证硅棒在转动滚圆的过程中硅棒的棱边均能得到同样的打磨，有效提高了加工精准度；2.通过设置的螺纹丝杠、活动板、打磨块、抛光块、转筒和U形杆，驱动第二电机工作，可以带动螺纹丝杠转动，进而带动活动板移动，可以调节打磨块距硅棒之间的距离，可以对棱角倒圆角的半径进行调节，使用更具灵活性，且在打磨过后，可以取下U形杆，转动转筒，使得抛光块靠近硅棒，再将U形杆插入抛光块中，便可以实现对硅棒的精细抛光，有效提高了硅棒表面的光滑度，滚圆效果更佳；3.通过设置的橡胶垫、通气孔、圆筒、螺纹杆和橡胶塞，在驱动液压缸工作，使得上转盘和下转盘对硅棒夹持过后，可以转动圆筒上的螺纹杆，使得橡胶塞在圆筒中移动，便可以通过凹槽将通气孔内的空气抽出，使得硅棒可以牢牢吸附在橡胶垫上，有效提高了硅棒转动时的稳定性，进一步提高了装置的滚圆效果。附图说明图1为实施例1提出的一种硅片生产用滚圆装置的剖视结构示意图；图2为图1中的A处放大结构示意图；图3为实施例1提出的一种硅片生产用滚圆装置的打磨块和抛光块结构示意图；图4为实施例2提出的一种硅片生产用滚圆装置的整体结构示意图；图5为图4中的B处放大结构示意图。图中：1工作台、2第一电机、3下转盘、4液压缸、5上转盘、6电动伸缩杆、7顶板、8定位筒、9升降板、10打磨块、11抛光块、12滑杆、13弧形块、14挡块、15弹簧、16第二电机、17螺纹丝杠、18活动板、19竖杆、20转筒、21U形杆、22橡胶垫、23通气孔、24凹槽、25圆筒、26螺纹杆、27橡胶塞、28调节轮。具体实施方式下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。下面详细描述本专利的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利，而不能理解为对本专利的限制。在本专利的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利的限制。在本专利的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利中的具体含义。实施例1参照图1-3，一种硅片生产用滚圆装置，包括工作台1，工作台1的底部外壁通过螺栓连接有第一电机2，且第一电机2的输出轴一端设置有下转盘3，工作台1顶部外壁的四个拐角处均通过螺栓连接有液压缸4，且液压缸4的活塞一端设置有升降板9，升降板9的底部外壁开有圆槽，且圆槽的内壁通过轴承转动连接有上转盘5，升降板9顶部外壁的四个拐角处均开有凹孔，且凹孔的内壁通过螺栓连接有电动伸缩杆6，电动伸缩杆6的活塞一端设置有顶板7，且顶板7的底部外壁焊接有定位筒8，定位筒8的内壁开有等距离呈环形分布的滑孔，且滑孔的内壁滑动连接有滑杆12，滑杆12的一端外壁焊接有弧形块13，且滑杆12的另一端外壁焊接有挡块14，滑杆12的外壁套接有弹簧15。其中，工作台1的顶部外壁通过螺栓连接有第二电机16，且第二电机16的输出轴一端设置有螺纹丝杠17，螺纹丝杠17的外壁螺纹连接有活动板18，活动板18的顶部外壁焊接有竖杆19，且竖杆19的外壁通过轴承转动连接有转筒20，转筒20的两侧外壁分别焊接有抛光块11和打磨块10，竖杆19的顶部外壁开有通槽，且通槽的内壁插接有U形杆21，抛光块11和本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片生产用滚圆装置，包括工作台（1），其特征在于，所述工作台（1）的底部外壁通过螺栓连接有第一电机（2），且第一电机（2）的输出轴一端设置有下转盘（3），所述工作台（1）顶部外壁的四个拐角处均通过螺栓连接有液压缸（4），且液压缸（4）的活塞一端设置有升降板（9），所述升降板（9）的底部外壁开有圆槽，且圆槽的内壁通过轴承转动连接有上转盘（5），所述升降板（9）顶部外壁的四个拐角处均设置有凹孔，且凹孔的内壁通过螺栓连接有电动伸缩杆（6），所述电动伸缩杆（6）的活塞一端设置有顶板（7），且顶板（7）的底部外壁设置有定位筒（8），所述定位筒（8）的内壁开有等距离呈环形分布的滑孔，且滑孔的内壁滑动连接有滑杆（12），所述滑杆（12）的一端外壁焊接有弧形块（13），且滑杆（12）的另一端外壁设置有挡块（14），所述滑杆（12）的外壁套接有弹簧（15）。/n

【技术特征摘要】
1.一种硅片生产用滚圆装置，包括工作台（1），其特征在于，所述工作台（1）的底部外壁通过螺栓连接有第一电机（2），且第一电机（2）的输出轴一端设置有下转盘（3），所述工作台（1）顶部外壁的四个拐角处均通过螺栓连接有液压缸（4），且液压缸（4）的活塞一端设置有升降板（9），所述升降板（9）的底部外壁开有圆槽，且圆槽的内壁通过轴承转动连接有上转盘（5），所述升降板（9）顶部外壁的四个拐角处均设置有凹孔，且凹孔的内壁通过螺栓连接有电动伸缩杆（6），所述电动伸缩杆（6）的活塞一端设置有顶板（7），且顶板（7）的底部外壁设置有定位筒（8），所述定位筒（8）的内壁开有等距离呈环形分布的滑孔，且滑孔的内壁滑动连接有滑杆（12），所述滑杆（12）的一端外壁焊接有弧形块（13），且滑杆（12）的另一端外壁设置有挡块（14），所述滑杆（12）的外壁套接有弹簧（15）。


2.根据权利要求1所述的一种硅片生产用滚圆装置，其特征在于，所述工作台（1）的顶部外壁通过螺栓连接有第二电机（16），且第二电机（16）的输出轴一端设置有螺纹丝杠（17），螺纹丝杠（17）的外壁螺纹连接有活动板（18）。


3.根据权利要求2所述的一种硅片生产用滚圆装置，其特征在于，所述活动板（18）的顶部外壁设置有竖杆（1...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨兆安，
申请(专利权)人：杨兆安，
类型：发明
国别省市：浙江;33