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一种硅片加工用转运装置制造方法及图纸

技术编号:23782139 阅读:19 留言:0更新日期:2020-04-14 21:54
本发明专利技术公开了一种硅片加工用转运装置,包括底座,所述底座顶部外壁安装有等距离分布的存放壳体,且存放壳体两侧外壁均安装有固定块,两个所述固定块相对的一侧外壁转动连接有同一个双向丝杆,所述双向丝杆圆周外壁两侧均通过螺纹转动连接有第一滑动块,且第一滑动块两端外壁均安装有储存壳体,储存壳体底部内壁安装有橡胶垫,所述橡胶垫顶部外壁安装有等距离分布的隔板,且相邻两个隔板相对的一侧外壁顶部均铰接有挤压板。本发明专利技术中,通过设置有双向丝杆、第一滑动块、固定块和隔板,能够快速将储存壳体移动,方便将其进行存放,通过将硅片插入挤压板之间,通过伸缩弹簧将其挤压,提高了固定速率,且避免了硅片移动过程中发生移动。

A transport device for silicon wafer processing

【技术实现步骤摘要】
一种硅片加工用转运装置
本专利技术涉及硅片加工
,尤其涉及一种硅片加工用转运装置。
技术介绍
在米粒大的硅片上,已能集成16万个晶体管,这是科学技术进步的又一个里程碑。地壳中含量达25.8%的硅元素,为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉。由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一,对太阳能电池这样注定要进入大规模市场的产品而言,储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一。随着半导体行业的迅速发展,半导体硅片产能日趋扩大,在硅片加工企业,为了保证硅片产品出库在运输途中的安全,需要将一定数量的硅片用薄膜包装后装箱。在硅片检测工序到薄膜包装工序之间转运,当前都是先将硅片按一定数量插上标识纸后分成若干单元装在泡沫盒,泡沫盒放入纸箱中封好,然后转运到薄膜包装工序,但是这样操作极大的增加了工作人员工作效率,不便于人们的使用,因此亟需一种硅片加工用转运装置来解决上述问题。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种硅片加工用转运装置,可以有效的解决
技术介绍
提出来的问题。为了实现上述目的,本专利技术采用了如下技术方案:一种硅片加工用转运装置,包括底座,所述底座顶部外壁安装有等距离分布的存放壳体,且存放壳体两侧外壁均安装有固定块,两个所述固定块相对的一侧外壁转动连接有同一个双向丝杆,所述双向丝杆圆周外壁两侧均通过螺纹转动连接有第一滑动块,且第一滑动块两端外壁均安装有储存壳体,储存壳体底部内壁安装有橡胶垫,所述橡胶垫顶部外壁安装有等距离分布的隔板,且相邻两个隔板相对的一侧外壁顶部均铰接有挤压板,挤压板一侧外壁安装有伸缩弹簧,伸缩弹簧另一侧外壁通过螺栓与挤压板一侧外壁固定连接,所述双向丝杆一侧外壁安装有第一连接柱,且第一连接柱一侧外壁开设有十字槽。优选地,所述底座底部外壁安装有等距离分布的车轮,且底座一端外壁安装有推架。优选地,所述底座底部外壁安装有电动伸缩杆,且电动伸缩杆一侧外壁安装有支撑柱。优选地,所述支撑柱一侧外壁开设有矩形槽,且矩形槽顶部和底部内壁转动连接有同一个螺纹杆,螺纹杆圆周外壁通过螺纹转动连接有第二滑动块。优选地,所述第二滑动块一侧外壁安装有电动机,且电动机输出轴一侧外壁安装有第二连接柱,第二连接柱一侧外壁开设有圆形槽,圆形槽内壁滑动连接有与十字槽相匹配的十字杆。优选地,所述十字杆一侧外壁安装有伸缩杆,且伸缩杆另一侧外壁通过螺栓与圆形槽一侧内壁固定连接。优选地,所述伸缩杆圆周外壁套接有连接弹簧。优选地,所述支撑柱顶部外壁安装有伺服电机,且伺服电机输出轴通过螺栓与螺纹杆顶部外壁固定连接。优选地,所述伺服电机、电动机和电动伸缩杆均通过导线连接有开关,且开关通过导线连接有电源。优选地,所述存放壳体一端外壁安装有标签架,且标签架底部内壁安装有等距离分布的挡块。与现有技术相比,本专利技术的有益效果为:1、通过设置有双向丝杆、第一滑动块、固定块和隔板,能够快速将储存壳体移动,方便将其进行存放,通过将硅片插入挤压板之间,通过伸缩弹簧将其挤压,提高了固定速率,且避免了硅片移动过程中发生移动。2、通过设置有伺服电机、支撑柱、螺纹杆、第二滑动块、电动机和第二连接柱上的十字杆,连接弹簧和伸缩杆的设置可以保证十字杆与双向丝杆的十字槽紧密固定,能够快速将储存壳体从存放壳体中移出,提高了工作效率,减少了工作人员的工作量。3、实施例2通过设置有挡块和标签架,能够对储存的硅片进行记录,方便工作人员查看,便于人们使用。附图说明图1为本专利技术提出的一种硅片加工用转运装置的主视结构示意图;图2为本专利技术提出的一种硅片加工用转运装置的局部侧面结构示意图;图3为本专利技术提出的一种硅片加工用转运装置的局部主视结构示意图;图4为本专利技术提出的一种硅片加工用转运装置的第二连接柱剖视结构示意图;图5为本专利技术提出的一种硅片加工用转运装置的储存壳体剖视结构示意图;图6为本专利技术提出的一种硅片加工用转运装置的实施例2存放壳体局部结构示意图。图中:1隔板、2储存壳体、3底座、4车轮、5电动伸缩杆、6支撑柱、7挤压板、8伺服电机、9存放壳体、10螺纹杆、11第二滑动块、12电动机、13十字杆、14第二连接柱、15双向丝杆、16固定块、17第一连接柱、18连接弹簧、19伸缩杆、20伸缩弹簧、21橡胶垫、23标签架、24挡块、25推架。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图,对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例,而不是全部的实施例,在本专利技术中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系,除非另有明确的限定,对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。实施例1参照图1-5,一种硅片加工用转运装置,包括底座3,底座3顶部外壁安装有等距离分布的存放壳体9,且存放壳体9两侧外壁均安装有固定块16,两个固定块16相对的一侧外壁转动连接有同一个双向丝杆15,双向丝杆15圆周外壁两侧均通过螺纹转动连接有第一滑动块,且第一滑动块两端外壁均安装有储存壳体2,储存壳体2底部内壁安装有橡胶垫21,橡胶垫21顶部外壁安装有等距离分布的隔板1,且相邻两个隔板1相对的一侧外壁顶部均铰接有挤压板7,挤压板7一侧外壁安装有伸缩弹簧20,伸缩弹簧20另一侧外壁通过螺栓与挤压板7一侧外壁固定连接,双向丝杆15一侧外壁安装有第一连接柱17,且第一连接柱17一侧外壁开设有十字槽。本专利技术中,底座3底部外壁安装有等距离分布的车轮4,且底座3一端外壁安装有推架25,底座3底部外壁安装有电动伸缩杆5,且电动伸缩杆5一侧外壁安装有支撑柱6,支撑柱6一侧外壁开设有矩形槽,且矩形槽顶部和底部内壁转动连接有同一个螺纹杆10,螺纹杆10圆周外壁通过螺纹转动连接有第二滑动块11,第二滑动块11一侧外壁安装有电动机12,且电动机12输出轴一侧外壁安装有第二连接柱14,第二连接柱14一侧外壁开设有圆形槽,圆形槽内壁滑动连接有与十字槽相匹配的十字杆13,十字杆13一侧外壁安装有伸缩杆19,且伸缩杆19另一侧外壁通过螺栓与圆形槽一侧内壁固定连接,伸缩杆19圆周外壁套接有连接弹簧18,支撑柱6顶部外壁安装有伺服电机8,且伺服电机8输出轴通过螺栓与螺纹杆10顶部外壁固定连接,伺服电机8、电动机12和电动伸缩杆5均通过导线连接有开关,且开关通过导线连接有电源。工作原理:使用时根据需要待取出存放壳体9上的储存壳体2,控制伺服电机8启动,通过第二滑动块11将电动机12降到合适位置,然后启动电动机12带动第二连接柱14转动,然后开启电动伸缩杆5,使得十字杆13往相对应的第一连接柱17移动,本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片加工用转运装置,包括底座(3),其特征在于,所述底座(3)顶部外壁安装有等距离分布的存放壳体(9),且存放壳体(9)两侧外壁均安装有固定块(16),两个所述固定块(16)相对的一侧外壁转动连接有同一个双向丝杆(15),所述双向丝杆(15)圆周外壁两侧均通过螺纹转动连接有第一滑动块,且第一滑动块两端外壁均安装有储存壳体(2),储存壳体(2)底部内壁安装有橡胶垫(21),所述橡胶垫(21)顶部外壁安装有等距离分布的隔板(1),且相邻两个隔板(1)相对的一侧外壁顶部均铰接有挤压板(7),挤压板(7)一侧外壁安装有伸缩弹簧(20),伸缩弹簧(20)另一侧外壁通过螺栓与挤压板(7)一侧外壁固定连接,所述双向丝杆(15)一侧外壁安装有第一连接柱(17),且第一连接柱(17)一侧外壁开设有十字槽。/n

【技术特征摘要】
1.一种硅片加工用转运装置,包括底座(3),其特征在于,所述底座(3)顶部外壁安装有等距离分布的存放壳体(9),且存放壳体(9)两侧外壁均安装有固定块(16),两个所述固定块(16)相对的一侧外壁转动连接有同一个双向丝杆(15),所述双向丝杆(15)圆周外壁两侧均通过螺纹转动连接有第一滑动块,且第一滑动块两端外壁均安装有储存壳体(2),储存壳体(2)底部内壁安装有橡胶垫(21),所述橡胶垫(21)顶部外壁安装有等距离分布的隔板(1),且相邻两个隔板(1)相对的一侧外壁顶部均铰接有挤压板(7),挤压板(7)一侧外壁安装有伸缩弹簧(20),伸缩弹簧(20)另一侧外壁通过螺栓与挤压板(7)一侧外壁固定连接,所述双向丝杆(15)一侧外壁安装有第一连接柱(17),且第一连接柱(17)一侧外壁开设有十字槽。


2.根据权利要求1所述的一种硅片加工用转运装置,其特征在于,所述底座(3)底部外壁安装有等距离分布的车轮(4),且底座(3)一端外壁安装有推架(25)。


3.根据权利要求1所述的一种硅片加工用转运装置,其特征在于,所述底座(3)底部外壁安装有电动伸缩杆(5),且电动伸缩杆(5)一侧外壁安装有支撑柱(6)。


4.根据权利要求3所述的一种硅片加工用转运装置,其特征在于,所述支撑柱(6)一侧外壁开设有矩形槽,且矩形槽顶部和底部内壁转动连接有同一个螺纹杆(10),螺...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨兆安
申请(专利权)人:杨兆安
类型:发明
国别省市:浙江;33

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