一种硅片清洗用换料装置制造方法及图纸

本发明专利技术属于硅片清洗技术领域，尤其是一种硅片清洗用换料装置，针对现有的硅片清洗装置进行硅片清洗时，将硅片放置于置物箱中，继而将其移动至清洗箱中进行清洗，但是，清洗后进行硅片的换料较为繁琐，需要一个个将置物箱中的硅片取出，继而更换另一批硅片，极大的降低硅片清洗效率，缺乏实用性，现提出以下方案，包括底板、升降组件和固定组件。本发明专利技术通过设置有连接轴、限位环、支撑板和固定柱，硅片清洗后，取下储料箱，将另一个放置有硅片的储料箱放置于支撑板上，使得储料箱上的进水管对准固定柱，继而转动支撑板至限位板下方，再次调节气缸使得限位板位于储料箱周围，调节液压杆带动限位板对其进行固定，完成硅片的更换，方便快捷。

A refuelling device for wafer cleaning

【技术实现步骤摘要】
一种硅片清洗用换料装置
本专利技术涉及硅片清洗
，尤其涉及一种硅片清洗用换料装置。
技术介绍
在米粒大的硅片上，已能集成16万个晶体管，这是科学技术进步的又一个里程碑；地壳中含量达25.8%的硅元素，为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉；由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一，对太阳能电池这样注定要进入大规模市场（massmarket）的产品而言，储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一，硅片在使用后，需要对其进行清洗，清洗的过程中需要进行硅片的更换。现有的硅片清洗用换料装置存在有不足之处：现有的硅片清洗装置进行硅片清洗时，将硅片放置于置物箱中，继而将其移动至清洗箱中进行清洗，但是，清洗后进行硅片的换料较为繁琐，需要一个个将置物箱中的硅片取出，继而更换另一批硅片，极大的降低硅片清洗效率，缺乏实用性。
技术实现思路
基于现有的硅片清洗装置进行硅片清洗时，将硅片放置于置物箱中，继而将其移动至清洗箱中进行清洗，但是，清洗后进行硅片的换料较为繁琐，需要一个个将置物箱中的硅片取出，继而更换另一批硅片，极大的降低硅片清洗效率，缺乏实用性，本专利技术提出了一种硅片清洗用换料装置。本专利技术提出的一种硅片清洗用换料装置，包括底板、升降组件和固定组件，所述底板的顶部外壁设有连接轴，且连接轴的外壁通过键固定有两个限位环，连接轴位于两个限位环之间的外壁套接有支撑板，支撑板的顶部外壁固定连接有固定柱，所述底板位于固定组件下方的顶部外壁设有清洗箱，且清洗箱的一侧外壁固定连接有排水管，排水管的外壁通过法兰连接有排水阀。优选地，所述升降组件包括固定架，且固定架的顶部外壁设有气缸，气缸的底部外壁固定连接有吊杆。优选地，所述吊杆的底部外壁设有上固定板，且上固定板的底部外壁等距离设有连接杆，多个连接杆的底部外壁设有同一个下固定板。优选地，所述下固定板的顶部外壁设有电机，且电机的输出轴通过联轴器固定有转轴，转轴的底部外壁固定连接有固定环。优选地，所述固定组件包括多个固定杆，且多个固定杆均固定连接于固定环的外壁，多个固定杆的相对一侧外壁均设有液压杆，每个液压杆的另一端均固定连接有限位板，多个限位板之间固定有同一个储料箱，多个液压杆连接有同步液压系统。优选地，所述底板的一侧外壁设有连接架，且连接架的一侧外壁设有液压缸，液压缸的另一端设有调节板，调节板的顶部外壁固定连接有二号固定柱。本专利技术中的有益效果为：1、通过设置有连接轴、限位环、支撑板和固定柱，硅片清洗后，通过气缸带动储料箱上移，调节液压杆松开限位板对储料箱的固定，继而取下储料箱，将另一个放置有硅片的储料箱放置于支撑板上，使得储料箱上的进水管对准固定柱，继而转动支撑板至限位板下方，再次调节气缸使得限位板位于储料箱周围，调节液压杆带动限位板对其进行固定，完成硅片的更换，方便快捷。2、通过设置有电机和转轴，将硅片的储料箱放置于清洗箱中后，启动电机，电机通过转轴带动储料箱转动，从而提高储料箱中的硅片清洗效果。3、通过设置有液压缸、调节板和二号固定柱，进行储料箱卸载时，通过调节液压缸带动调节板移动至储料箱下方，使得储料箱中的进水管对准二号固定柱，液压缸驱动替代人工操作，提高工作效率，降低劳动力投入，从而提高该换料装置的实用性。附图说明图1为本专利技术提出的一种硅片清洗用换料装置的结构示意图；图2为本专利技术提出的一种硅片清洗用换料装置的结构侧视图；图3为实施例2提出的一种硅片清洗用换料装置的结构示意图；图4为实施例2提出的一种硅片清洗用换料装置的结构俯视图。图中：1底板、2限位板、3储料箱、4固定架、5液压杆、6连接杆、7气缸、8上固定板、9下固定板、10固定杆、11连接轴、12限位环、13固定柱、14支撑板、15清洗箱、16排水阀、17排水管、18转轴、19电机、20吊杆、21固定环、22连接架、23液压缸、24调节板、25二号固定柱。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。实施例1参照图1-2，一种硅片清洗用换料装置，包括底板1、升降组件和固定组件，底板1的顶部外壁通过螺钉固定有连接轴11，且连接轴11的外壁通过键固定有两个限位环12，连接轴11位于两个限位环12之间的外壁套接有支撑板14，支撑板14的顶部外壁固定连接有固定柱13，底板1位于固定组件下方的顶部外壁通过螺钉固定有清洗箱15，且清洗箱15的一侧外壁固定连接有排水管17，排水管17的外壁通过法兰连接有排水阀16，硅片清洗后，通过气缸7带动储料箱3上移，调节液压杆5松开限位板2对储料箱3的固定，继而取下储料箱3，将另一个放置有硅片的储料箱3放置于支撑板14上，使得储料箱3上的进水管对准固定柱13，继而转动支撑板14至限位板2下方，再次调节气缸7使得限位板2位于储料箱3周围，调节液压杆5带动限位板2对其进行固定，完成硅片的更换，方便快捷。本专利技术中，升降组件包括固定架4，且固定架4的顶部外壁通过螺钉固定有气缸7，气缸7的底部外壁固定连接有吊杆20。本专利技术中，吊杆20的底部外壁通过螺钉固定有上固定板8，且上固定板8的底部外壁等距离通过螺钉固定有连接杆6，多个连接杆6的底部外壁通过螺钉固定有同一个下固定板9。本专利技术中，下固定板9的顶部外壁通过螺钉固定有电机19，且电机19的输出轴通过联轴器固定有转轴18，转轴18的底部外壁固定连接有固定环21。本专利技术中，固定组件包括多个固定杆10，且多个固定杆10均固定连接于固定环21的外壁，多个固定杆10的相对一侧外壁均通过螺钉固定有液压杆5，每个液压杆5的另一端均固定连接有限位板2，多个限位板2之间固定有同一个储料箱3，多个液压杆5连接有同步液压系统。使用时，需要进行储料箱3上的硅片更换时，气缸7带动储料箱3从清洗箱15中移出，调节液压杆5松开限位板2对储料箱3的固定，人工将储料箱3移走，将另一个储料箱3放置于支撑板14上，使得另一个储料箱3的进水挂对准支撑板14上的固定柱13，转动支撑板14至限位板2下方，再次调节气缸7使得限位板2位于该储料箱3周围，调节液压杆5带动限位板2对该储料箱3进行固定，固定完成后，将箱盖盖在储料箱3上，调节气缸7将储料箱3下降至清洗箱15中，完成更换操作。实施例2参照图3-4，一种硅片清洗用换料装置，包括底板1、升降组件和固定组件，底板1的顶部外壁通过螺钉固定有连接轴11，且连接轴11的外壁通过键固定有两个限位环12，连接轴11位于两个限位环12之间的外壁套接有支撑板14，支撑板14的顶部外壁固定连接有固定柱13，底板1位于固定组件下方的顶部外壁通过螺钉固定有清洗箱15，且清洗箱15的一侧外壁固定连接有排水管17，排水管17的外壁通过法兰连接有排水阀16，硅片清洗后，通过气缸7带动储料箱3上移，调节液压杆5松开限位板2对储料箱3的固定，继而取下储料箱本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片清洗用换料装置，包括底板（1）、升降组件和固定组件，其特征在于，所述底板（1）的顶部外壁设有连接轴（11），且连接轴（11）的外壁通过键固定有两个限位环（12），连接轴（11）位于两个限位环（12）之间的外壁套接有支撑板（14），支撑板（14）的顶部外壁固定连接有固定柱（13），所述底板（1）位于固定组件下方的顶部外壁设有清洗箱（15），且清洗箱（15）的一侧外壁固定连接有排水管（17），排水管（17）的外壁通过法兰连接有排水阀（16）。/n

【技术特征摘要】
1.一种硅片清洗用换料装置，包括底板（1）、升降组件和固定组件，其特征在于，所述底板（1）的顶部外壁设有连接轴（11），且连接轴（11）的外壁通过键固定有两个限位环（12），连接轴（11）位于两个限位环（12）之间的外壁套接有支撑板（14），支撑板（14）的顶部外壁固定连接有固定柱（13），所述底板（1）位于固定组件下方的顶部外壁设有清洗箱（15），且清洗箱（15）的一侧外壁固定连接有排水管（17），排水管（17）的外壁通过法兰连接有排水阀（16）。


2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗用换料装置，其特征在于，所述升降组件包括固定架（4），且固定架（4）的顶部外壁设有气缸（7），气缸（7）的底部外壁固定连接有吊杆（20）。


3.根据权利要求2所述的一种硅片清洗用换料装置，其特征在于，所述吊杆（20）的底部外壁设有上固定板（8），且上固定板（8）的底部外壁等距离设有连接杆（6），多个连接杆（6）的底部外壁设有同一个下固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨兆安，
申请(专利权)人：杨兆安，
类型：发明
国别省市：浙江;33