一种硅片加工用清洗装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种硅片加工用清洗装置，包括清洗框，所述清洗框的一侧外壁固定连接有正反转电机，且正反转电机的输出轴延伸入清洗框内的一端固定连接有螺纹丝杠，螺纹丝杠的一端与清洗框的一侧内壁之间通过轴承转动连接，所述螺纹丝杠的外壁螺纹连接有活动座，且活动座的顶部中间位置固定连接有支撑垫，支撑垫的顶部固定连接有置物台，置物台的顶部开有多个置物槽，所述清洗框的顶部一侧固定连接有第一电动推杆。本发明专利技术利用排水管和喷头将水喷射在置物台上，带动环形毛刷板和刷毛进行转动，从而对硅片进行清洗处理，代替人工清洗操作，并且可便于对清洗后的硅片进行烘干处理，提高装置的工作效率。

A cleaning device for silicon wafer processing

【技术实现步骤摘要】
一种硅片加工用清洗装置
本专利技术涉及硅片加工
，尤其涉及一种硅片加工用清洗装置。
技术介绍
硅片是制作晶体管和集成电路的原料，是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件，用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力。科学技术的发展不断推动着半导体的发展。自动化和计算机等技术发展，使硅片这种高技术产品的造价已降到十分低廉的程度。目前，现有的硅片在进行加工时，需要对硅片表面进行清洗处理，人们在对进行清洗时，多为手工操作，不仅加大人们的劳动程度，而且在清洗时也存在造成硅片损伤的问题，因此，亟需设计一种硅片加工用清洗装置来解决上述问题。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种硅片加工用清洗装置。为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：一种硅片加工用清洗装置，包括清洗框，所述清洗框的一侧外壁固定连接有正反转电机，且正反转电机的输出轴延伸入清洗框内的一端固定连接有螺纹丝杠，螺纹丝杠的一端与清洗框的一侧内壁之间通过轴承转动连接，所述螺纹丝杠的外壁螺纹连接有活动座，且活动座的顶部中间位置固定连接有支撑垫，支撑垫的顶部固定连接有置物台，置物台的顶部开有多个置物槽，所述清洗框的顶部一侧固定连接有第一电动推杆，且第一电动推杆的活塞杆底部固定连接有安装板，所述安装板的底部固定连接有转动电机，且转动电机的输出轴底部固定连接有活动盘，活动盘的底部固定连接有环形毛刷板，环形毛刷板的底部粘接有刷毛。优选地：所述清洗框的底部内壁固定连接有储水室，且储水室的底部内壁固定连接有抽水泵，抽水泵的顶部固定连接有延伸出清洗框的排水管，排水管延伸入清洗框内的一端固定连接有喷头。优选地：所述储水室的一侧底部和清洗框的一侧底部开有排水口，且排水口的内壁插接有密封塞。优选地：所述置物槽的底部开有多个漏水孔。优选地：所述清洗框的相对一侧内壁之间固定连接有导引杆，且导引杆的外壁滑动连接有与活动座的底部外壁固定连接的滑座。优选地：所述清洗框的顶部一侧内壁固定连接有安装框，且安装框的顶部内壁固定连接有风扇，安装框的顶部与清洗框的顶部开有多个导气口，导气口的内壁固定连接有防尘网，安装框的底部开有出气口。优选地：所述安装框的相对一侧内壁固定连接有电加热丝。优选地：所述清洗框的底部四角均固定连接有万向轮。优选地：所述置物台的中间位置开有空腔，且空腔的两侧顶部与置物槽的两侧内壁之间开有活动槽，空腔的底部内壁中间位置固定连接有第二电动推杆，第二电动推杆的活塞端顶部固定连接有活动杆，活动杆延伸入置物槽内的一端固定连接有推板。本专利技术的有益效果为：1.通过设置的置物台、置物槽、漏水孔、第一电动推杆、安装板、转动电机、活动盘、环形毛刷板、刷毛、储水室、抽水泵、排水管和喷头，将硅片置于置物槽中，利用第一电动推杆调节安装板和转动电机的高度，使得刷毛与置物台相接触，通过抽水泵将储水室内的水抽出，利用排水管和喷头将水喷射在置物台上，再通过转动电机带动活动盘进行转动，带动环形毛刷板和刷毛进行转动，从而对硅片进行清洗处理，使得置物槽中水通过漏水孔回流入储水室中，代替人工清洗操作，使用方便；2.通过设置的正反转电机、螺纹丝杠、活动座、安装框、风扇和电加热丝，利用电加热丝对安装框内的空气进行加热，通过风扇对安装框内进行鼓风，使得热风吹在清洗框内，利用正反转电机带动螺纹丝杠进行转动，带动清洗后的硅片进行移动，使得硅片落在安装框的底部，便于对清洗后的硅片进行烘干处理，提高装置的工作效率；3.通过设置的置物台、空腔、第二电动推杆、活动杆、活动槽和推板，利用第二电动推杆调节活动杆在活动槽中的位置，调节推板在置物槽内的高度，从而将置物槽中硅片提升，使得装置具有便于出料的效果。附图说明图1为实施例1提出的一种硅片加工用清洗装置的整体结构示意图；图2为实施例1提出的一种硅片加工用清洗装置的正面剖视结构示意图；图3为实施例1提出的一种硅片加工用清洗装置的置物台和活动盘结构示意图；图4为实施例1提出的一种硅片加工用清洗装置的置物槽和漏水孔结构示意图；图5为实施例2提出的一种硅片加工用清洗装置的活动杆和推板结构示意图。图中：1清洗框、2置物台、3螺纹丝杠、4导气口、5第一电动推杆、6活动盘、7储水室、8抽水泵、9活动座、10导引杆、11电加热丝、12风扇、13转动电机、14环形毛刷板、15喷头、16正反转电机、17排水管、18漏水孔、19置物槽、20空腔、21第二电动推杆、22活动杆、23推板。具体实施方式下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。下面详细描述本专利的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利，而不能理解为对本专利的限制。在本专利的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利的限制。在本专利的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利中的具体含义。实施例1参照图1-4，一种硅片加工用清洗装置，包括清洗框1，清洗框1的一侧外壁通过螺栓连接有正反转电机16，且正反转电机16的输出轴延伸入清洗框1内的一端通过螺栓连接有螺纹丝杠3，螺纹丝杠3的一端与清洗框1的一侧内壁之间通过轴承转动连接，螺纹丝杠3的外壁螺纹连接有活动座9，且活动座9的顶部中间位置焊接有支撑垫，支撑垫的顶部通过螺栓连接有置物台2，置物台2的顶部开有多个置物槽19，清洗框1的顶部一侧通过螺栓连接有第一电动推杆5，且第一电动推杆5的活塞杆底部通过螺栓连接有安装板，安装板的底部通过螺栓连接有转动电机13，且转动电机13的输出轴底部通过螺栓连接有活动盘6，活动盘6的底部通过螺栓连接有环形毛刷板14，环形毛刷板14的底部粘接有刷毛。其中，清洗框1的底部内壁通过螺栓连接有储水室7，且储水室7的底部内壁通过螺栓连接有抽水泵8，抽水泵8的顶部通过螺栓连接有延伸出清洗框1的排水管17，排水管17延伸入清洗框1内的一端通过螺栓连接有喷头15。其中，储水室7的一侧底部和清洗框1的一侧底部开有排水口，且排水口的内壁插接有密封塞。其中，置物槽19的底部开有多个漏水孔18。其中，清洗框1的相对一侧内壁之间焊接有导引杆10，且导引杆本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片加工用清洗装置，包括清洗框（1），其特征在于，所述清洗框（1）的一侧外壁固定连接有正反转电机（16），且正反转电机（16）的输出轴延伸入清洗框（1）内的一端固定连接有螺纹丝杠（3），螺纹丝杠（3）的一端与清洗框（1）的一侧内壁之间通过轴承转动连接，所述螺纹丝杠（3）的外壁螺纹连接有活动座（9），且活动座（9）的顶部中间位置固定连接有支撑垫，支撑垫的顶部固定连接有置物台（2），置物台（2）的顶部开有多个置物槽（19），所述清洗框（1）的顶部一侧固定连接有第一电动推杆（5），且第一电动推杆（5）的活塞杆底部固定连接有安装板，所述安装板的底部固定连接有转动电机（13），且转动电机（13）的输出轴底部固定连接有活动盘（6），活动盘（6）的底部固定连接有环形毛刷板（14），环形毛刷板（14）的底部粘接有刷毛。/n

【技术特征摘要】
1.一种硅片加工用清洗装置，包括清洗框（1），其特征在于，所述清洗框（1）的一侧外壁固定连接有正反转电机（16），且正反转电机（16）的输出轴延伸入清洗框（1）内的一端固定连接有螺纹丝杠（3），螺纹丝杠（3）的一端与清洗框（1）的一侧内壁之间通过轴承转动连接，所述螺纹丝杠（3）的外壁螺纹连接有活动座（9），且活动座（9）的顶部中间位置固定连接有支撑垫，支撑垫的顶部固定连接有置物台（2），置物台（2）的顶部开有多个置物槽（19），所述清洗框（1）的顶部一侧固定连接有第一电动推杆（5），且第一电动推杆（5）的活塞杆底部固定连接有安装板，所述安装板的底部固定连接有转动电机（13），且转动电机（13）的输出轴底部固定连接有活动盘（6），活动盘（6）的底部固定连接有环形毛刷板（14），环形毛刷板（14）的底部粘接有刷毛。


2.根据权利要求1所述的一种硅片加工用清洗装置，其特征在于，所述清洗框（1）的底部内壁固定连接有储水室（7），且储水室（7）的底部内壁固定连接有抽水泵（8），抽水泵（8）的顶部固定连接有延伸出清洗框（1）的排水管（17），排水管（17）延伸入清洗框（1）内的一端固定连接有喷头（15）。


3.根据权利要求2所述的一种硅片加工用清洗装置，其特征在于，所述储水室（7）的一侧底部和清洗框（1）的一侧底部开有排水口，且排水口的内壁插接有密封塞。


4.根据权利要求3...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨兆安，
申请(专利权)人：杨兆安，
类型：发明
国别省市：浙江;33