激光加工方法、激光加工装置、激光加工设备及存储介质制造方法及图纸

本申请属于激光加工技术领域，涉及激光加工方法、激光加工装置、激光加工设备及存储介质。该激光加工方法包括：所述振镜扫描系统的A轴和B轴与所述十字运动平台的X轴和Y轴联动，以实现规划的加工轨迹；当所述十字运动平台驱动工件运动时，获取所述振镜扫描系统的A轴和B轴的反馈信号以及所述十字运动平台的X轴和Y轴的反馈信号；将所述A轴和所述B轴的反馈信号的脉冲数量与所述X轴和所述Y轴的反馈信号的脉冲数量进行换算；当所述工件在所述X轴上的移动距离产生差值▽

Laser processing method, laser processing device, laser processing equipment and storage medium

【技术实现步骤摘要】
激光加工方法、激光加工装置、激光加工设备及存储介质
本申请属于激光加工
，涉及激光加工方法、激光加工装置、激光加工设备及存储介质。
技术介绍
目前，很多的激光加工设备会使用到振镜扫描系统。由于振镜扫描系统受限于工作原理，其在远离加工范围中心的位置会出现激光光线与加工表面存在倾角及光斑畸变增大的现象，并且会出现定位点插值间距变大、定位精度会变差等问题。现有技术中，在对加工精度要求较高的应用中，只能使用振镜扫描系统加工范围中心附近的很小的一块区域，即最优加工区域。专利技术人在研究本申请的过程中发现，现有技术中针对上述的解决方案是，在振镜扫描系统加工完一个区域后停下来，移动十字运动平台将被加工物体的另外一个待加工区域移入振镜扫描系统的最优加工区域，然后再重新开始加工。现有技术中存在操作繁琐，效率较低，而且无法在必须连续激光加工的应用中使用。
技术实现思路
本申请的实施例公开了激光加工方法、激光加工装置、激光加工设备及存储介质，旨在提高激光加工的精度、效率。本申请的一个或者多个实施例公开了一种激光加工方法，应用于振镜扫描系统和十字运动平台联动激光加工，包括：所述振镜扫描系统的A轴和B轴与所述十字运动平台的X轴和Y轴联动，以实现规划的加工轨迹；当所述十字运动平台驱动工件运动时，获取所述振镜扫描系统的A轴和B轴的反馈信号以及所述十字运动平台的X轴和Y轴的反馈信号；将所述A轴和所述B轴的反馈信号的脉冲数量与所述X轴和所述Y轴的反馈信号的脉冲数量进行换算；当所述工件在所述X轴上的移动距离产生差值▽x时，所述A轴补偿移动▽x；当所述工件在所述Y轴上的移动距离产生差值▽y时，所述B轴补偿移动▽y。在本申请的一个或者多个实施例中，所述将所述A轴和所述B轴的反馈信号的脉冲数量与所述X轴和所述Y轴的反馈信号的脉冲数量进行换算的步骤包括：分别计算所述A轴移动单位距离对应的反馈信号的脉冲数量Pa、所述B轴移动单位距离对应的反馈信号的脉冲数量Pb、所述X轴移动单位距离对应的反馈信号的脉冲数量Px以及所述Y轴移动单位距离对应的反馈信号的脉冲数量Py；计算所述脉冲数量Pa与所述脉冲数量Px的比例系数Ka，所述脉冲数量Pb与所述脉冲数量Py的比例系数Kb；或者，计算所述脉冲数量Px与所述脉冲数量Pa的比例系数Kx，所述脉冲数量Py与所述脉冲数量Pb的比例系数Ky；根据所述比例系数Ka将所述X轴的反馈信号的脉冲数量换算成所述A轴的反馈信号的脉冲数量，以及根据所述比例系数Kb将所述Y轴的反馈信号的脉冲数量换算成所述B轴的反馈信号的脉冲数量；或者，根据所述比例系数Kx将所述A轴的反馈信号的脉冲数量换算成所述X轴的反馈信号的脉冲数量，以及根据所述比例系数Ky将所述B轴的反馈信号的脉冲数量换算成所述Y轴的反馈信号的脉冲数量。在本申请的一个或者多个实施例中，所述差值▽x按照以下的公式计算：▽x＝L×Px×Ka-Gx；或者，▽x＝(L×Px-Qx)÷Kx；其中，L指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述X轴上移动的距离，Gx指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述X轴上移动预置距离时由所述X轴的反馈信号的脉冲数量换算成的所述A轴的反馈信号的脉冲数量，Qx指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述X轴上移动预置距离时对应的所述X轴的反馈信号的脉冲数量；所述差值▽y按照以下的公式计算：▽y＝M×Py×Kb-Gy；或者，▽y＝(M×Py-Qy)÷Ky；其中，M指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述Y轴上移动的距离，Gy指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述Y轴上移动预置距离时由所述Y轴的反馈信号的脉冲数量换算成的所述B轴的反馈信号的脉冲数量，Qy指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述Y轴上移动预置距离时对应的所述Y轴的反馈信号的脉冲数量。在本申请的一个或者多个实施例中，所述A轴补偿移动▽x的步骤包括：根据所述▽x计算在所述A轴上需要增加或者减少的X轴补偿距离Zx；所述X轴补偿距离Zx按照以下的公式计算：Zx＝▽x÷Pa；控制所述A轴增加移动或者减少移动X轴补偿距离Zx；所述B轴补偿移动▽y的步骤包括：根据所述▽y计算在所述B轴上需要增加或者减少的Y轴补偿距离Zy；所述Y轴补偿距离Zy按照以下的公式计算：Zy＝▽y÷Pb；控制所述B轴增加移动或者减少移动Y轴补偿距离Zy。本申请的一个或者多个实施例公开了一种激光加工装置。所述激光加工装置包括：联动模块，用于控制实现所述振镜扫描系统的A轴和B轴与所述十字运动平台的X轴和Y轴联动，以实现规划的加工轨迹；获取模块，用于当所述十字运动平台驱动工件运动时，获取所述振镜扫描系统的A轴和B轴的反馈信号以及所述十字运动平台的X轴和Y轴的反馈信号；换算模块，将所述A轴和所述B轴的反馈信号的脉冲数量与所述X轴和所述Y轴的反馈信号的脉冲数量进行换算；补偿模块，当所述工件在所述X轴上的移动距离产生差值▽x时，所述A轴补偿移动▽x；当所述工件在所述Y轴上的移动距离产生差值▽y时，所述B轴补偿移动▽y。在本申请的一个或者多个实施例中，所述换算模块包括：第一计算单元，用于分别计算所述A轴移动单位距离对应的反馈信号的脉冲数量Pa、所述B轴移动单位距离对应的反馈信号的脉冲数量Pb、所述X轴移动单位距离对应的反馈信号的脉冲数量Px以及所述Y轴移动单位距离对应的反馈信号的脉冲数量Py；第二计算单元，用于计算所述脉冲数量Pa与所述脉冲数量Px的比例系数Ka，所述脉冲数量Pb与所述脉冲数量Py的比例系数Kb；或者，计算所述脉冲数量Px与所述脉冲数量Pa的比例系数Kx，所述脉冲数量Py与所述脉冲数量Pb的比例系数Ky；脉冲数量换算单元，根据所述比例系数Ka将所述X轴的反馈信号的脉冲数量换算成所述A轴的反馈信号的脉冲数量，以及根据所述比例系数Kb将所述Y轴的反馈信号的脉冲数量换算成所述B轴的反馈信号的脉冲数量；或者，根据所述比例系数Kx将所述A轴的反馈信号的脉冲数量换算成所述X轴的反馈信号的脉冲数量，以及根据所述比例系数Ky将所述B轴的反馈信号的脉冲数量换算成所述Y轴的反馈信号的脉冲数量。在本申请的一个或者多个实施例中，第一差值计算单元，用于按照以下的公式计算所述差值▽x：▽x＝L×Px×Ka-Gx；或者，▽x＝(L×Px-Qx)÷Kx；其中，L指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述X轴上移动的距离，Gx指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述X轴上移动预置距离时由所述X轴的反馈信号的脉冲数量换算成的所述A轴的反馈信号的脉冲数量，Qx指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述X轴上移动预置距离时对应的所述X轴的反馈信号的脉冲数量；第二差值计算单元，用于按照以下的公式计算所述差值▽y：▽y＝M×Py×Kb-Gy；或者，▽y＝(M×Py-Qy)÷Ky；其中，M指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述Y轴上移动的距离，Gy指的是所述十字运动平台驱动所述工件本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光加工方法，应用于振镜扫描系统和十字运动平台联动激光加工，其特征在于，包括：/n所述振镜扫描系统的A轴和B轴与所述十字运动平台的X轴和Y轴联动，以实现规划的加工轨迹；/n当所述十字运动平台驱动工件运动时，获取所述振镜扫描系统的A轴和B轴的反馈信号以及所述十字运动平台的X轴和Y轴的反馈信号；/n将所述A轴和所述B轴的反馈信号的脉冲数量与所述X轴和所述Y轴的反馈信号的脉冲数量进行换算；/n当所述工件在所述X轴上的移动距离产生差值▽

【技术特征摘要】
1.一种激光加工方法，应用于振镜扫描系统和十字运动平台联动激光加工，其特征在于，包括：
所述振镜扫描系统的A轴和B轴与所述十字运动平台的X轴和Y轴联动，以实现规划的加工轨迹；
当所述十字运动平台驱动工件运动时，获取所述振镜扫描系统的A轴和B轴的反馈信号以及所述十字运动平台的X轴和Y轴的反馈信号；
将所述A轴和所述B轴的反馈信号的脉冲数量与所述X轴和所述Y轴的反馈信号的脉冲数量进行换算；
当所述工件在所述X轴上的移动距离产生差值▽x时，所述A轴补偿移动▽x；当所述工件在所述Y轴上的移动距离产生差值▽y时，所述B轴补偿移动▽y。


2.根据权利要求1所述的激光加工方法，其特征在于，所述将所述A轴和所述B轴的反馈信号的脉冲数量与所述X轴和所述Y轴的反馈信号的脉冲数量进行换算的步骤包括：
分别计算所述A轴移动单位距离对应的反馈信号的脉冲数量Pa、所述B轴移动单位距离对应的反馈信号的脉冲数量Pb、所述X轴移动单位距离对应的反馈信号的脉冲数量Px以及所述Y轴移动单位距离对应的反馈信号的脉冲数量Py；
计算所述脉冲数量Pa与所述脉冲数量Px的比例系数Ka，所述脉冲数量Pb与所述脉冲数量Py的比例系数Kb；或者，计算所述脉冲数量Px与所述脉冲数量Pa的比例系数Kx，所述脉冲数量Py与所述脉冲数量Pb的比例系数Ky；
根据所述比例系数Ka将所述X轴的反馈信号的脉冲数量换算成所述A轴的反馈信号的脉冲数量，以及根据所述比例系数Kb将所述Y轴的反馈信号的脉冲数量换算成所述B轴的反馈信号的脉冲数量；或者，根据所述比例系数Kx将所述A轴的反馈信号的脉冲数量换算成所述X轴的反馈信号的脉冲数量，以及根据所述比例系数Ky将所述B轴的反馈信号的脉冲数量换算成所述Y轴的反馈信号的脉冲数量。


3.根据权利要求2所述的激光加工方法，其特征在于：
所述差值▽x按照以下的公式计算：
▽x＝L×Px×Ka-Gx；或者，▽x＝(L×Px-Qx)÷Kx；其中，L指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述X轴上移动的距离，Gx指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述X轴上移动预置距离时由所述X轴的反馈信号的脉冲数量换算成的所述A轴的反馈信号的脉冲数量，Qx指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述X轴上移动预置距离时对应的所述X轴的反馈信号的脉冲数量；
所述差值▽y按照以下的公式计算：
▽y＝M×Py×Kb-Gy；或者，▽y＝(M×Py-Qy)÷Ky；其中，M指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述Y轴上移动的距离，Gy指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述Y轴上移动预置距离时由所述Y轴的反馈信号的脉冲数量换算成的所述B轴的反馈信号的脉冲数量，Qy指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述Y轴上移动预置距离时对应的所述Y轴的反馈信号的脉冲数量。


4.根据权利要求3所述的激光加工方法，其特征在于：
所述A轴补偿移动▽x的步骤包括：
根据所述▽x计算在所述A轴上需要增加或者减少的X轴补偿距离Zx；
所述X轴补偿距离Zx按照以下的公式计算：
Zx＝▽x÷Pa；
控制所述A轴增加移动或者减少移动X轴补偿距离Zx；
所述B轴补偿移动▽y的步骤包括：
根据所述▽y计算在所述B轴上需要增加或者减少的Y轴补偿距离Zy；
所述Y轴补偿距离Zy按照以下的公式计算：
Zy＝▽y÷Pb；
控制所述B轴增加移动或者减少移动Y轴补偿距离Zy。


5.一种激光加工装置，其特征在于，包括：
联动模块，用于控制实现所述振镜扫描系统的A轴和B轴与所述十字运动平台的X轴和Y轴联动，以实现规划的加工轨迹；
获取模块，用于当所述十字运动平台驱动工件运动时，获取所述振镜扫描系统的A轴和B轴的反馈信号以及所述十字运动平台的X轴和Y轴的反馈信号；
换算模块，将所述A轴和所述B轴的反馈信号的脉...

【专利技术属性】
技术研发人员：颜传祥，周志伟，陈才伟，马国东，尹建刚，吴林龙，洪熔，胡雄雄，朱洪涛，黄政，高云峰，
申请(专利权)人：大族激光科技产业集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44