【技术实现步骤摘要】
槽内加热模块
本技术涉及太阳能电池制造设备，特别涉及用于PECVD设备的槽内加热模块。
技术介绍
薄膜/晶硅异质结太阳能电池(可简称为异质结或HIT太阳能电池)属于第三代高效太阳能电池技术，它结合了第一代晶硅与第二代硅薄膜的优势，具有转换效率高、温度系数低等特点，特别是双面的异质结太阳能电池转换效率可以达到26％以上，具有广阔的市场前景。在HIT太阳能电池制造领域，对关键的PECVD设备产能要求很高，节拍很快，在预热腔或工艺腔内每隔几十或几百秒就要有一个托盘进入并需对冷托盘或低温托盘进行预热。如图1所示，在预热腔或工艺腔等腔室中，通常会在其侧壁或顶壁或底壁1的凹槽10中设置槽内加热模块来对相关腔室进行加热，图1中的槽内加热模块仅包括电加热器20，为避免在加热时因材料膨胀系数差异对凹槽10的侧壁或对电加热器20造成破坏，图1中的电加热器20通常会设置成与凹槽的侧壁间隔开，从而使得电加热器20的传热方式基本以热辐射为主。电加热器20需在数百秒左右将托盘预热到某个固定温度，如200度以上。而数百秒左右的总时间还需减...
【技术保护点】
1.一种槽内加热模块，其包括设置在凹槽内的电加热器，其特征在于，所述槽内加热模块还包括设置在所述电加热器周围的至少一金属弹性件，所述至少一金属弹性件与所述电加热器以及所述凹槽的侧壁相接触。/n
【技术特征摘要】
1.一种槽内加热模块，其包括设置在凹槽内的电加热器，其特征在于，所述槽内加热模块还包括设置在所述电加热器周围的至少一金属弹性件，所述至少一金属弹性件与所述电加热器以及所述凹槽的侧壁相接触。
2.根据权利要求1所述的槽内加热模块，其特征在于，所述至少一金属弹性件包括分别设置在所述电加热器两侧的第一金属弹性件和第二金属弹性件，所述第一金属弹性件和第二金属弹性件各自均与所述电加热器以及所述凹槽的侧壁相接触。
3.根据权利要求2所述的槽内加热模块，其特征在于，所述电加热器设置在所述凹槽的底部并与所述凹槽的底壁相接触，所述第一金属弹性件和第二金属弹性件设置在所述电加热器上并且均与所述凹槽的侧壁以及所述电加热器相接触，所述电加热器与所述凹槽的两个侧壁间隔开。
4.根据权利要求2所述的槽内加热模块，其特征在于，所述第一金属弹性件和第二金属弹性件设置在所述凹槽的底部，所述电加热器设置在所述第一金属弹性件和第二金属弹性件上，所述第一金属弹性件和第二金属弹性件均与所述凹槽的底壁和侧壁以及所述电加热器相接触，所述电加热器与所述凹槽的两个侧壁间隔开并与所述凹槽的底壁相接触。
5.根据权利要求2所述的槽内加热模块，其特征在于，...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨飞云，
申请(专利权)人：理想万里晖真空装备泰兴有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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