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本实用新型提供槽内加热模块。所述槽内加热模块包括设置在凹槽内的电加热器以及设置在所述电加热器周围的至少一金属弹性件,所述至少一金属弹性件与所述电加热器以及所述凹槽的侧壁相接触。本实用新型的槽内加热模块能有效降低电加热器表面温度,进而降低电加...该专利属于理想万里晖真空装备(泰兴)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过理想万里晖真空装备(泰兴)有限公司授权不得商用。
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