一种光刻机的晶圆平边预定位装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种光刻机的晶圆平边预定位装置，包括用于承载晶圆的工作平台,所述工作平台上设有第一固定定位轮、至少两个的第二固定定位轮、所述第二固定定位轮用于定位晶圆的平边，所述第一固定定位轮用于定位晶圆的弧形边；所述工作平台底部设有驱动机构、摆杆机构，所述摆杆机构上连接有定位轮动作轮，所述驱动机构用于驱动摆杆机构摆动使定位轮动作轮与定位后晶圆的弧形边接触或分离。本实用新型专利技术能够对具有平边的晶圆预定位，且由于本实用新型专利技术设有光纤传感器使得定位更为准确。

A wafer edge pre positioning device for lithography

【技术实现步骤摘要】
一种光刻机的晶圆平边预定位装置
本技术涉及光刻机
，尤其涉及一种光刻机的晶圆平边预定位装置。
技术介绍
半导体器件图形曝光机(光刻机)是半导体器件生产过程中的关键工序设备，用于产生半导体器件各种图形。生产半导体器件的衬底依本身特征不同，各有不同的晶向排列，而器件的图形设计与晶向的关系主要取决于电气特性及后工序的划片需求。其晶圆的标准设计以Notch和Flat两种，Flat是在晶圆上切割一个平角。由于晶圆在各设备间进行传送来完成各种工艺，过程中需要对晶圆片姿态的调整，这要由晶圆定位装置来完成，其最后的执行结果直接影响整条生产线的精度和生产效率。因此，有必要提出一种对具有平边的晶圆预定位的装置。
技术实现思路
为了解决上述
技术介绍
中所提到的问题，本技术提供一种光刻机的晶圆平边预定位装置，能够对具有平边的晶圆进行定位。一种光刻机的晶圆平边预定位装置，包括用于承载晶圆的工作平台,所述工作平台上设有第一固定定位轮、至少两个的第二固定定位轮、所述第二固定定位轮用于定位晶圆的平边，所述第一固定定位轮用于定位晶圆的弧形边；所述工作平台底部设有驱动机构、摆杆机构，所述摆杆机构上连接有定位轮动作轮，所述驱动机构用于驱动摆杆机构摆动使定位轮动作轮与定位后晶圆的弧形边接触或分离。进一步地，所述摆杆机构包括设在工作平台下方的水平安装板，所述水平安装板通过连接板与工作平台底部连接，所述工作平台、水平安装板间设有L型摆杆，所述L型摆杆的直角处固定贯穿连接有第一转轴，所述第一转轴两端分别与水平安装板、工作平台可转动连接，所述第一转轴上还套设有扭转弹簧，所述扭转弹簧的一端与L型摆杆连接，所述扭转弹簧的另一端与水平安装板连接；所述驱动机构包括安装在水平安装板底部的电机，所述电机的输出轴连接有第一锥形齿轮，所述水平安装板贯穿有与水平安装板可转动连接的第二转轴，所述第二转轴的底端固定连接有与第一锥形齿轮相配合的第二锥形齿轮，所述第二转轴顶端连接有圆缺型转盘，所述圆缺型转盘的弧形边在电机的传动下与L型摆杆的一边接触或分离，所述L形摆杆的另一边的自由端与定位轮动作轮连接。进一步地，还包括控制器、安装在工作平台上并与定位后的晶圆的平边相邻的若干个光纤传感器，所述光纤传感器与控制器电连接，所述控制器还与电机电连接。进一步地，两个所述第二固定定位轮与定位后的晶圆的平边接触；所述第一固定定位轮与定位后的晶圆的弧形边接触。进一步地，所述第一固定定位轮包括与工作平台固定连接的第一固定轴，所述第一固定轴上可转动地连接有第一转动轮，所述第一转动轮与定位后的晶圆的弧形边接触；所述第二固定定位轮包括与工作平台固定连接的第二固定轴，所述第二固定轴上可转动地连接有第二转动轮，所述第二转动轮与定位后的晶圆的平边接触；所述定位轮动作轮包括与L形摆杆固定连接的第三固定轴，所述第三固定轴上可转动连接有第三转动轮，所述第三转动轮在L型摆杆的摆动下与定位后的晶圆的弧形边接触或分离。进一步地，所述控制器为PLC控制器。进一步地，所述水平安装板底部固定连接有一竖直安装板，所述竖直安装板与电机固定连接，所述电机的输出轴贯穿竖直安装板与第一锥形齿轮连接。进一步地，所述光纤传感器设有三个，其中一个光纤传感器的位置与定位后的晶圆的平边的中部位置相对应，另外两个光纤传感器的位置与定位后的晶圆的平边的两端位置相对应。进一步地，所述光纤传感器为反射式光纤传感器。本技术的有益效果是：1、本技术能够对具有平边的晶圆进行定位，且由于本技术设有光纤传感器使得定位更为准确。2、本技术的第一转动轮、第二转动轮、第三转动轮能够在与晶圆接触摩擦时转动，减少了第一转动轮、第二转动轮、第三转动轮与晶圆间的摩擦力，从而减少了对晶圆边缘的磨损。说明书附图图1为本技术的结构示意图。图2为本专利技术的俯视图。图3为摆杆机构和驱动机构的结构示意图。其中，1为工作平台，2为第一固定定位轮，3为第二固定定位轮，4为摆杆机构，401为水平安装板，402为连接板，403为L型摆杆，404为第一转轴，405为扭转弹簧，5为驱动机构，501为电机，502为第一锥形齿轮，503为第二转轴，504为第二锥形齿轮，505为圆缺型转盘，6为定位轮动作轮，7为光纤传感器，8为竖直安装板，9为晶圆。具体实施方式下面结合附图，通过具体实施例对本技术做进一步详细说明。如附图所示的一种光刻机的晶圆平边预定位装置，包括用于承载晶圆9的工作平台1,工作平台1上设有第一固定定位轮2、至少两个的第二固定定位轮3、第二固定定位轮3用于定位晶圆9的平边，第一固定定位轮2用于定位晶圆9的弧形边；工作平台1底部设有驱动机构5、摆杆机构4，摆杆机构4上连接有定位轮动作轮6，驱动机构5用于驱动摆杆机构4摆动使定位轮动作轮6与定位后晶圆9的弧形边接触或分离。摆杆机构4包括设在工作平台1下方的水平安装板401，水平安装板401通过连接板402与工作平台1底部连接，工作平台1、水平安装板401间设有L型摆杆403，L型摆杆403的直角处固定贯穿连接有第一转轴404，第一转轴404两端分别与水平安装板401、工作平台1可转动连接，第一转轴404上还套设有扭转弹簧405，扭转弹簧405的一端与L型摆杆403连接，扭转弹簧405的另一端与水平安装板401连接；驱动机构5包括安装在水平安装板401底部的电机501，电机501的输出轴连接有第一锥形齿轮502，水平安装板401贯穿有与水平安装板401可转动连接的第二转轴503，第二转轴503的底端固定连接有与第一锥形齿轮502相配合的第二锥形齿轮504，第二转轴503顶端连接有圆缺型转盘505，圆缺型转盘505的弧形边在电机501的传动下与L型摆杆403的一边接触或分离，L形摆杆403的另一边的自由端与定位轮动作轮6连接。本技术还包括控制器(附图未示出)、安装在工作平台1上并与定位后的晶圆9的平边相邻的若干个光纤传感器7，光纤传感器7与控制器电连接，控制器还与电机501电连接。两个第二固定定位轮3与定位后的晶圆9的平边接触；第一固定定位轮2与定位后的晶圆9的弧形边接触。第一固定定位轮2包括与工作平台1固定连接的第一固定轴，第一固定轴上可转动地连接有第一转动轮，第一转动轮与定位后的晶圆9的弧形边接触；第二固定定位轮3包括与工作平台1固定连接的第二固定轴，第二固定轴上可转动地连接有第二转动轮，第二转动轮与定位后的晶圆9的平边接触；定位轮动作轮6包括与L形摆杆403固定连接的第三固定轴，第三固定轴上可转动连接有第三转动轮，第三转动轮在L型摆杆403的摆动下与定位后的晶圆9的弧形边接触或分离。控制器为PLC控制器，控制器的型号可为AX3U-16MT-001。水平安装板401底部固定连接有一竖直安装板8，竖直安装板8与电机501固定连接，电机501的输出轴贯穿竖直安装板8与第一锥形齿轮502连接。<本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光刻机的晶圆平边预定位装置，其特征在于，包括用于承载晶圆的工作平台,所述工作平台上设有第一固定定位轮、至少两个的第二固定定位轮、所述第二固定定位轮用于定位晶圆的平边，所述第一固定定位轮用于定位晶圆的弧形边；/n所述工作平台底部设有驱动机构、摆杆机构，所述摆杆机构上连接有定位轮动作轮，所述驱动机构用于驱动摆杆机构摆动使定位轮动作轮与定位后晶圆的弧形边接触或分离。/n

【技术特征摘要】
1.一种光刻机的晶圆平边预定位装置，其特征在于，包括用于承载晶圆的工作平台,所述工作平台上设有第一固定定位轮、至少两个的第二固定定位轮、所述第二固定定位轮用于定位晶圆的平边，所述第一固定定位轮用于定位晶圆的弧形边；
所述工作平台底部设有驱动机构、摆杆机构，所述摆杆机构上连接有定位轮动作轮，所述驱动机构用于驱动摆杆机构摆动使定位轮动作轮与定位后晶圆的弧形边接触或分离。


2.根据权利要求1所述的光刻机的晶圆平边预定位装置，其特征在于，所述摆杆机构包括设在工作平台下方的水平安装板，所述水平安装板通过连接板与工作平台底部连接，所述工作平台、水平安装板间设有L型摆杆，所述L型摆杆的直角处固定贯穿连接有第一转轴，所述第一转轴两端分别与水平安装板、工作平台可转动连接，所述第一转轴上还套设有扭转弹簧，所述扭转弹簧的一端与L型摆杆连接，所述扭转弹簧的另一端与水平安装板连接；
所述驱动机构包括安装在水平安装板底部的电机，所述电机的输出轴连接有第一锥形齿轮，所述水平安装板贯穿有与水平安装板可转动连接的第二转轴，所述第二转轴的底端固定连接有与第一锥形齿轮相配合的第二锥形齿轮，所述第二转轴顶端连接有圆缺型转盘，所述圆缺型转盘的弧形边在电机的传动下与L型摆杆的一边接触或分离，所述L型摆杆的另一边的自由端与定位轮动作轮连接。


3.根据权利要求2所述的光刻机的晶圆平边预定位装置，其特征在于，还包括控制器、安装在工作平台上并与定位后的晶圆的平边相邻的若干个光纤传感器，所述光纤传感器与控制器电连接，所述控制器还与电机电连接。
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【专利技术属性】
技术研发人员：唐阳明，
申请(专利权)人：上海图双精密装备有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31