【技术实现步骤摘要】
光刻设备的对准运动台和光轴Z轴垂直度校准方法、装置、设备及存储介质
[0001]本专利技术涉及光刻设备领域,尤其涉及一种光刻设备的对准运动台和光轴Z轴垂直度校准方法、装置、设备及存储介质。
技术介绍
[0002]半导体光刻设备的制程的降低带来光刻设备的复杂和精密程度的大幅提升,测试校准作为贯穿光刻设备研发设计全过程中的重要流程。现有的测校设备存在体积庞大、设备复杂且成本高昂。需要一种全新的测校方法,解决光刻设备的校准复杂和高成本问题。
技术实现思路
[0003]本专利技术的主要目的在于解决现有技术中光刻设备的校准复杂和高成本的问题。本专利技术第一方面提供了一种光刻设备的对准运动台和光轴Z轴垂直度校准方法,所述光刻设备的对准运动台和光轴Z轴垂直度校准方法包括:
[0004]晶圆设置标记点,视场中心对准标记点;
[0005]晶圆移动时,获取晶圆的移动量
△
Z;
[0006]标记点在视场中的位置发生了偏移,计算得到标记点在视场的位移量s;
[0007]采用以下公式计算运动台偏角α,完成对准运动台Z轴平行度调校:
[0008][0009]对在将对准运动台Z轴平行度调校完成后,选择对准相机最大焦深的下极限进行对标记点成像,使得标记点位于视场中心;
[0010]保持对准相机动作不变,移动对准运动台,使得标记成像在相机的焦深上极限,获取对准运动台高度变化量
△
h;
[0011]标记点在视场中的位置发生了偏移,计算得到标记点在 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光刻设备的对准运动台和光轴Z轴垂直度校准方法,其特征在于,所述校准方法包括:晶圆设置标记点,视场中心对准标记点;晶圆移动时,获取晶圆的移动量
△
Z;对准运动台位移量
△
L;标记点在视场中的位置发生了偏移,计算得到标记点在视场的位移量s;采用以下公式计算运动台偏角α,完成对准运动台Z轴平行度调校:对在将对准运动台Z轴平行度调校完成后,选择对准相机最大焦深的下极限进行对标记点成像,使得标记点位于视场中心;保持对准相机动作不变,移动对准运动台,使得标记成像在相机的焦深上极限,获取对准运动台高度变化量
△
h;标记点在视场中的位置发生了偏移,计算得到标记点在视场的位移量s
’
;采用以下公式计算对准相机光轴偏角β,完成校准:2.根据权利要求1所述的一种光刻设备的对准运动台和光轴Z轴垂直度校准方法,其特征在于,所述标记点在视场中的位置发生了偏移,计算得到标记点在视场的位移量s,包括:获取视场初始图像数据,得到标记点初始坐标;获取视场晶圆移动后图像数据,得到晶圆移动后标记点坐标;根据标记点初始坐标和晶圆移动后标记点坐标,计算得到标记点在视场的位移量s。3.根据权利要求1所述的一种光刻设备的对准运动台和光轴Z轴垂直度校准方法,其特征在于,所述标记点在视场中的位置发生了偏移,计算得到标记点在视场的位移量s
’
,包括:获取视场初始图像数据,得到标记点初始坐标;获取视场对准运动台移动后图像数据,得到对准运动台移动后标记点坐标;根据标记点初始坐标和对准运动台移动后标记点坐标,计算得到标记点在视场的位移量s
’
。4.根据权利要求1所述的一种光刻设备的对准运动台和光轴Z轴垂直度校准方法,其特征在于,所述校准方法还包括实时校准步骤:配置相机视觉系统,获取视场的图像数据,所述图像数据中包含晶圆和标记点;连接对准运动台和晶圆的实时运动传感器,得到对准运动台和晶圆位移数据;对获取的图像数据进行特征识别,得到晶圆和标记点在图像中的位置,并确定标记点在视场中的初始位置坐标;通过不断获取图像数据和实时运动数据,计算标记点在视场中的位移量;实时更新标记点的位置坐标;利用标记点在视场中的位移量,计算出标记点在图像中的位移量,并根据标记点在视场的实时矢量方向,计算对准运动台需要调整的方向和角度数据;
根据计算得到的方向和角度数据,对对准运动台进行实时调整;调整后,重新获取图像数据和实时运动数据,继续循环进行计算和调整,直至达到所需的精度要求,完成对准。5.根据权利要求4所述的一种光刻设备的对准运动台和光轴Z轴垂直度校准方法,其特征在于,所述达到所需的精度要求的判断方法为:预设预设的收敛阈值T、变化率阈值ε;计算第t次迭代时标记点在视场中的位移变化量Δs(t):Δs(t)=|s(t)
‑
s(t
‑
1)|计算第t次迭代时标记点在视场中的位移量变化率Δs_rate(...
【专利技术属性】
技术研发人员:张光彩,
申请(专利权)人:上海图双精密装备有限公司,
类型:发明
国别省市:
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