一种用于大翘曲度圆晶的吸附系统技术方案

本发明专利技术公开了一种用于大翘曲度圆晶的吸附系统，涉及半导体相关领域，包括工作台，所述工作台顶部转动安装有放置台，设置了牵引装置于工作台的前后两端，通过牵引管对于圆晶进行牵引，这样有助于对大翘曲度圆晶进行吸附牵引，方便使大翘曲度圆晶的移动和放置更加精准和准确，且方便对于不同大翘曲度的圆晶进行拉直，并且装置可以对放置后圆晶是否倾斜进行检测；设置了除静电装置于工作台右侧，通过金属棒

【技术实现步骤摘要】
一种用于大翘曲度圆晶的吸附系统


[0001]本专利技术涉及半导体相关领域，具体是一种用于大翘曲度圆晶的吸附系统
。

技术介绍

[0002]在半导体制造过程中，一些样品在经历了多道工艺制程之后会发生局部或全部地翘曲变形，这可能会导致无法进行样品的固定
、
移动和量测，例如，在大规模集成电路的后段生产过程中，有些
12
寸晶圆的翘曲已经超过2毫米，而由于晶圆在自然状态下只有极小面积会与
chuck(
吸盘
)
接触，因此会导致无法进行晶圆的固定
、
移动和量测
。
[0003]现有技术上对于大翘曲度圆晶进行吸附时，由于大翘曲度圆晶本身形态的影响会导致吸附区域与大翘曲度圆晶接触不够紧密，极大的影响到吸附效果；且现有技术的大翘曲度圆晶直接到达工作区进行加工，这时对于大翘曲度圆晶的放置较不精准，且大翘曲度圆晶带有一定幅度，不进行拉直，极大的影响到设备的加工效果；
[0004]而现有技术上对于大翘曲度圆晶进行接触时不太吻合，不利于对大翘曲度圆晶的表面进行均匀吸附，且较难对于吸附区域进行角度的调节；并且现有技术上的大翘曲度圆晶在进行运输或加工时内部会带有静电，而大翘曲度圆晶所带有的静电容易导致其它加工零部件损坏，且设备在对大翘曲度圆晶的静电进行去除时效率较为不足
。

技术实现思路

[0005]因此，为了解决上述不足，本专利技术在此提供一种用于大翘曲度圆晶的吸附系统
。
[0006]本专利技术是这样实现的，构造一种用于大翘曲度圆晶的吸附系统，该装置包括工作台，所述工作台顶部转动安装有放置台；牵引装置，所述工作台的前后两端设置有牵引装置；除静电装置，所述工作台右侧设置有除静电装置；支持盘，所述放置台顶部设置有支持盘；调节装置，所述工作台顶部设置有调节装置；所述牵引装置包括：第一驱动件，所述工作台前后两端分别螺栓安装有第一驱动件；直板，所述第一驱动件内槽滑块的顶部通过螺钉固定有直板；蜂鸣器，所述第一驱动件内槽滑块的顶部螺栓固定有蜂鸣器；减速电机，所述直板右侧顶端所安装减速电机传动轴与齿轮相插接；牵引管，所述直板左侧顶端与牵引管外侧面后端齿轮转动连接，所述减速电机传动轴所连接齿轮与牵引管后端面齿轮啮合连接；第一气泵，所述牵引管后端面中端螺栓固定有第一气泵；光栅接收端，所述工作台前端直板固定有光栅接收端；光栅发射端，所述工作台后端直板安装有光栅发射端
。
[0007]优选的，所述除静电装置包括：第二驱动件，所述工作台右侧通过螺钉安装有第二驱动件；直角架，所述第二驱动件内槽滑块与直角架后端螺栓连接；第一电动推杆，所述直角架内底部与第一电动推杆相固定；金属棒，所述第一电动推杆左侧伸缩杆通过隔板与金属棒相焊接
。
[0008]优选的，所述除静电装置还包括：导电陶瓷杆，所述第一电动推杆左侧伸缩杆通过隔板安装有导电陶瓷杆；静电消除棒，所述直角架内后端面顶端转动安装有静电消除棒；第一步进电机，所述直角架后端面顶端的第一步进电机与静电消除棒插接连接；导电杆，所述
金属棒和导电陶瓷杆分别通过电线与导电杆顶部电连接
。
[0009]优选的，所述支持盘包括：连杆，所述放置台外侧面的前后两端分别设置有连杆；第一气箱，所述放置台外侧面前端通过连杆与第一气箱相焊接；第二气箱，所述第一气箱的左右两侧分别铰接安装有第二气箱；橡胶垫，所述第一气箱顶部粘黏固定有橡胶垫
。
[0010]优选的，所述支持盘还包括：
OPP
薄膜，所述
OPP
薄膜起到了对于静电进行阻隔的作用；吸附孔，所述在橡胶垫顶部均匀布设有吸附孔
。
[0011]优选的，所述调节装置包括：第二电动推杆，所述第二气箱下方设置有第二电动推杆；铰接座，所述第二气箱底部焊接有铰接座，且该铰接座与第二电动推杆顶部伸缩杆相铰接；支撑座，所述第二电动推杆后端设有支撑座
。
[0012]优选的，所述接调节装置包括：隔热板，所述支撑座上方的隔热板粘黏固定于第二气箱底部；角度传感器，所述支撑座顶部螺栓安装有角度传感器，且该角度传感器检测轴与第二电动推杆顶部伸缩杆相插接
。
[0013]优选的，所述第一驱动件和第二驱动件均是由伺服电机
、
安装槽和螺杆组成
。
[0014]优选的，所述牵引管内壁中端安装有干燥盒，且干燥盒内填充有硅胶干燥剂
。
[0015]优选的，所述一种用于大翘曲度圆晶的吸附方法，其特征在于：包括以下步骤：
[0016]步骤一：在进行圆晶的加工前，使用者通过控制终端控制启动第一驱动件
、
减速电机和第一气泵，在圆晶被运输至终点时，在第一驱动件和减速电机的帮助下使得牵引管升降并对其角度进行调整，到达合适状态停止，而后牵引管对于上料的圆晶底部两端进行吸附，而控制终端控制牵引管角度改变，进而对大翘曲度圆晶进行拉直，接着控制终端控制牵引管进行移动，在圆晶被吸附在支持盘后，牵引管进行自动断开，且在支持盘发生倾斜时，会对光栅发射端所发射的光束造成较大的阻挡，从而被光栅接收端检测并发送至控制终端，控制终端控制启动蜂鸣器进行报警，使得使用者对于设备进行维修；
[0017]步骤二：在对圆晶进行牵引的同时，控制终端控制启动第二电动推杆，第二电动推杆的伸缩杆带动铰接座和第二气箱旋转，而转动的铰接座会带动角度传感器的检测轴进行转动检测，到达预设数值后向终端发送信号，而后第二电动推杆停止，接着在吸附到圆晶后第二电动推杆自动回缩，便于对圆晶进行保持展开；
[0018]步骤三：被牵引的圆晶移动至支持盘顶部，而控制终端控制启动第二气泵，在圆晶的重力影响下会带动圆晶对于橡胶垫和
OPP
薄膜造成挤压，进而使圆晶大翘曲度的位置能与橡胶垫上的吸附孔进行紧密贴合，从而使得圆晶被精准吸附，且利用连杆可以将第一气箱和第二气箱撑起，减少热量传导累积对于其它零部件的影响；
[0019]步骤四：且在对圆晶进行运输和加工时容易带有静电，因此使用者通过控制终端控制启动第二驱动件
、
第一电动推杆和静电消除棒以及第一步进电机，第二驱动件带动装置移动至合适位置自动停止，而利用第一步进电机可以改变静电消除棒的吹向角度，且静电消除棒吹出带着正负电荷的离子风与圆晶内的电荷进行中和，且第一电动推杆带动金属棒和导电陶瓷杆与圆晶进行接触，使得圆晶内的残留电荷通过两者的引导和导电杆的帮助导入地面对于静电进行消除
。
[0020]本专利技术具有如下优点：本专利技术通过改进在此提供一种用于大翘曲度圆晶的吸附系统，与同类型设备相比，具有如下改进：
[0021]本专利技术所述一种用于大翘曲度圆晶的吸附系统，通过设置了牵引装置于工作台的
前后两端，通过牵引管对于圆晶进行牵引，这样有助于对大翘曲度圆晶进行吸附牵引，方便使大翘曲度圆晶的移动和放置更加精准和准确，且方便对于不同大翘曲度的圆晶进行拉本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种用于大翘曲度圆晶的吸附系统，包括工作台
(1)
，所述工作台
(1)
顶部转动安装有放置台
(2)
；其特征在于：还包括牵引装置
(3)
，所述工作台
(1)
的前后两端设置有牵引装置
(3)
；除静电装置
(4)
，所述工作台
(1)
右侧设置有除静电装置
(4)
；支持盘
(5)
，所述放置台
(2)
顶部设置有支持盘
(5)
；调节装置
(6)
，所述工作台
(1)
顶部设置有调节装置
(6)
；所述牵引装置
(3)
包括第一驱动件
(31)
，所述工作台
(1)
前后两端分别螺栓安装有第一驱动件
(31)
；直板
(32)
，所述第一驱动件
(31)
内槽滑块的顶部通过螺钉固定有直板
(32)
；蜂鸣器
(33)
，所述第一驱动件
(31)
内槽滑块的顶部螺栓固定有蜂鸣器
(33)
；减速电机
(34)
，所述直板
(32)
右侧顶端所安装减速电机
(34)
传动轴与齿轮相插接；牵引管
(35)
，所述直板
(32)
左侧顶端与牵引管
(35)
外侧面后端齿轮转动连接，所述减速电机
(34)
传动轴所连接齿轮与牵引管
(35)
后端面齿轮啮合连接；第一气泵
(36)
，所述牵引管
(35)
后端面中端螺栓固定有第一气泵
(36)
；光栅接收端
(37)
，所述工作台
(1)
前端直板
(32)
固定有光栅接收端
(37)
；光栅发射端
(38)
，所述工作台
(1)
后端直板
(32)
安装有光栅发射端
(38)。2.
根据权利要求1所述一种用于大翘曲度圆晶的吸附系统，其特征在于：所述除静电装置
(4)
包括第二驱动件
(41)
，所述工作台
(1)
右侧通过螺钉安装有第二驱动件
(41)
；直角架
(42)
，所述第二驱动件
(41)
内槽滑块与直角架
(42)
后端螺栓连接；第一电动推杆
(43)
，所述直角架
(42)
内底部与第一电动推杆
(43)
相固定；金属棒
(44)
，所述第一电动推杆
(43)
左侧伸缩杆通过隔板与金属棒
(44)
相焊接
。3.
根据权利要求2所述一种用于大翘曲度圆晶的吸附系统，其特征在于：所述除静电装置
(4)
还包括导电陶瓷杆
(45)
，所述第一电动推杆
(43)
左侧伸缩杆通过隔板安装有导电陶瓷杆
(45)
；静电消除棒
(46)
，所述直角架
(42)
内后端面顶端转动安装有静电消除棒
(46)
；第一步进电机
(47)
，所述直角架
(42)
后端面顶端的第一步进电机
(47)
与静电消除棒
(46)
插接连接；导电杆
(48)
，所述金属棒
(44)
和导电陶瓷杆
(45)
分别通过电线与导电杆
(48)
顶部电连接
。4.
根据权利要求3所述一种用于大翘曲度圆晶的吸附系统，其特征在于：所述支持盘
(5)
包括连杆
(51)
，所述放置台
(2)
外侧面的前后两端分别设置有连杆
(51)
；第一气箱
(52)
，所述放置台
(2)
外侧面前端通过连杆
(51)
与第一气箱
(52)
相焊接；第二气箱
(53)
，所述第一气箱
(52)
的左右两侧分别铰接安装有第二气箱
(53)
；橡胶垫
(54)
，所述第一气箱
(52)
顶部粘黏固定有橡胶垫
(54)。5.
根据权利要求4所述一种用于大翘曲度圆晶的吸附系统，其特征在于：所述支持盘
(5)
还包括
OPP
薄膜
(55)
，所述
OPP
薄膜
(55)
起到了对于静电进行阻隔的...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱晓峰，毛静海，包昊轶，
申请(专利权)人：上海图双精密装备有限公司，
类型：发明
国别省市：