温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种用于大翘曲度圆晶的吸附系统，涉及半导体相关领域，包括工作台，所述工作台顶部转动安装有放置台，设置了牵引装置于工作台的前后两端，通过牵引管对于圆晶进行牵引，这样有助于对大翘曲度圆晶进行吸附牵引，方便使大翘曲度圆晶的移动和放置更...
该专利属于上海图双精密装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海图双精密装备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。