【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体设备领域，具体涉及一种用于双轴平台的旋转驱动装置。
技术介绍
1、在半导体设备中，需要一种能实现晶圆的垂向运动和旋转运动的双轴运动平台，其中晶圆的旋转运动由双轴运动平台的伺服电机与传动丝杠组成的直驱模块实现，并需要保证运动位置重复性精度。
2、在现有技术中，直驱模块中各部件的误差都会影响晶圆旋转运动的重复性精度，诸如直驱模块中旋转连接轴的圆柱度误差、旋转连接轴的安装垂直误差、卡位柔性件的滑槽精度误差等等，由此导致晶圆旋转运动的重复性误差较大。
3、针对现有技术的不足，期望提供一种改进的用于双轴平台的旋转驱动装置，以减少晶圆运动的重复性误差。
技术实现思路
1、以下给出一个或多个方面的简要概述以提供对这些方面的基本理解。此概述不是所有构想到的方面的详尽综览，并且既非旨在标识出所有方面的关键性或决定性要素亦非试图界定任何或所有方面的范围。其唯一的目的是以简化形式给出一个或多个方面的一些概念以作为稍后给出的更详细描述之序言。
2、本专利技术提供了一种用于双轴平台的旋转驱动装置，该双轴平台包括平台底座、位于该平台底座上方的晶圆吸盘组件、以及位于该平台底座下方的垂向驱动模块，该垂向驱动模块能够驱动该晶圆吸盘组件进行垂向运动，其中该旋转驱动装置包括：位于该平台底座上的直驱模块，该直驱模块能够随该平台底座进行垂向运动，并且能够通过进行直线运动来带动该晶圆吸盘组件进行旋转运动；以及五自由度部件，该五自由度部件连接在该直驱模块与该晶圆吸盘组件之
3、在一些实施例中，五自由度部件的z向自由度用于双轴平台的垂向运动，rx向自由度和ry向自由度用于晶圆吸盘组件与直驱模块之间的垂向运动的解耦，x向自由度和rz向自由度用于直驱模块的直线运动与晶圆吸盘组件的旋转运动的解耦。
4、在一些实施例中，直驱模块包括：伺服电机、传动丝杠、滑块、直线导轨，传动丝杠连接在伺服电机与滑块之间，其中当伺服电机旋转时带动传动丝杠，从而驱动滑块在直线导轨上进行直线运动以带动晶圆吸盘组件进行旋转运动。
5、在一些实施例中，五自由度部件为五自由度柔性件。
6、在一些实施例中，五自由度柔性件具有刚性的y轴。
7、在一些实施例中，五自由度柔性件是通过对柔性件施加线切割工艺来实现的。
8、在一些实施例中，五自由度部件包括四自由度柔性件和沿z轴运动的第二直线导轨，其中四自由度柔性件具有rx向自由度、ry向自由度、x向自由度和rz向自由度，第二直线导轨的一端连接四自由度柔性件，另一端连接晶圆吸盘组件。
9、在一些实施例中，第二直线导轨在z轴上的行程满足预设条件。
10、在一些实施例中，四自由度柔性件的rx向自由度和ry向自由度用于晶圆吸盘组件与直驱模块之间的垂向运动的解耦，x向自由度和rz向自由度用于直驱模块的直线运动与晶圆吸盘组件的旋转运动的解耦。
11、本专利技术还提供了利用前述旋转驱动装置来驱动双轴平台的方法，包括：将晶圆置于双轴平台的晶圆吸盘组件上；启动该双轴平台的垂向驱动模块，以使该晶圆吸盘组件进行垂向运动；以及启动该旋转驱动装置的直驱模块的伺服电机，以使该直驱模块进行直线运动以带动该晶圆吸盘组件进行旋转运动，其中在该晶圆吸盘组件的垂向运动和旋转运动过程中，该旋转驱动装置的五自由度部件使该晶圆吸盘组件与该直驱模块之间的垂向运动解耦，并使该直驱模块的直线运动与该晶圆吸盘组件的旋转运动解耦。
12、本专利技术的旋转驱动装置引入五自由度部件，可实现晶圆吸盘组件与直驱模块之间的垂向运动的解耦以及直驱模块的直线运动与晶圆吸盘组件的旋转运动的解耦，有效减少影响晶圆运动的重复性的因素，提高晶圆运动的重复性精度。
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1.一种用于双轴平台的旋转驱动装置，所述双轴平台包括平台底座、位于所述平台底座上方的晶圆吸盘组件、以及位于所述平台底座下方的垂向驱动模块，所述垂向驱动模块能够驱动所述晶圆吸盘组件进行垂向运动，其中所述旋转驱动装置包括：
2.根据权利要求1所述的旋转驱动装置，其特征在于，所述五自由度部件的Z向自由度用于所述双轴平台的垂向运动，Rx向自由度和Ry向自由度用于所述晶圆吸盘组件与所述直驱模块之间的垂向运动的解耦，X向自由度和Rz向自由度用于所述直驱模块的直线运动与所述晶圆吸盘组件的旋转运动的解耦。
3.根据权利要求1所述的旋转驱动装置，其特征在于，所述直驱模块包括：伺服电机、传动丝杠、滑块、直线导轨，所述传动丝杠连接在所述伺服电机与所述滑块之间，其中当所述伺服电机旋转时带动所述传动丝杠，从而驱动所述滑块在所述直线导轨上进行直线运动以带动所述晶圆吸盘组件进行旋转运动。
4.根据权利要求1所述的旋转驱动装置，其特征在于，所述五自由度部件为五自由度柔性件。
5.根据权利要求4所述的旋转驱动装置，其特征在于，所述五自由度柔性件具有刚性的Y轴。>
6.根据权利要求4所述的旋转驱动装置，其特征在于，所述五自由度柔性件是通过对柔性件施加线切割工艺来实现的。
7.根据权利要求1所述的旋转驱动装置，其特征在于，所述五自由度部件包括四自由度柔性件和沿Z轴运动的第二直线导轨，其中所述四自由度柔性件具有Rx向自由度、Ry向自由度、X向自由度和Rz向自由度，所述第二直线导轨的一端连接所述四自由度柔性件，另一端连接所述晶圆吸盘组件。
8.根据权利要求7所述的旋转驱动装置，其特征在于，所述第二直线导轨在Z轴上的行程满足预设条件。
9.根据权利要求7所述的旋转驱动装置，其特征在于，所述四自由度柔性件的Rx向自由度和Ry向自由度用于所述晶圆吸盘组件与所述直驱模块之间的垂向运动的解耦，X向自由度和Rz向自由度用于所述直驱模块的直线运动与所述晶圆吸盘组件的旋转运动的解耦。
10.一种利用权利要求1至9中任一项所述的旋转驱动装置来驱动双轴平台的方法，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种用于双轴平台的旋转驱动装置，所述双轴平台包括平台底座、位于所述平台底座上方的晶圆吸盘组件、以及位于所述平台底座下方的垂向驱动模块，所述垂向驱动模块能够驱动所述晶圆吸盘组件进行垂向运动，其中所述旋转驱动装置包括：
2.根据权利要求1所述的旋转驱动装置，其特征在于，所述五自由度部件的z向自由度用于所述双轴平台的垂向运动，rx向自由度和ry向自由度用于所述晶圆吸盘组件与所述直驱模块之间的垂向运动的解耦，x向自由度和rz向自由度用于所述直驱模块的直线运动与所述晶圆吸盘组件的旋转运动的解耦。
3.根据权利要求1所述的旋转驱动装置，其特征在于，所述直驱模块包括：伺服电机、传动丝杠、滑块、直线导轨，所述传动丝杠连接在所述伺服电机与所述滑块之间，其中当所述伺服电机旋转时带动所述传动丝杠，从而驱动所述滑块在所述直线导轨上进行直线运动以带动所述晶圆吸盘组件进行旋转运动。
4.根据权利要求1所述的旋转驱动装置，其特征在于，所述五自由度部件为五自由度柔性件。
5.根据权利要求4...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈建民，吴云涛，姜小光，宋建功，
申请(专利权)人：上海图双精密装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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