一种电机的二自由度执行机构及其自由度多方位微动台制造技术

本发明专利技术公开了一种电机的二自由度执行机构及其自由度多方位微动台，包括底座、液压杆和微动台面，所述底座的内部从外到内依次开设有导向腔和定位腔，所述第一音圈电机定子的内部活动安装有第一音圈电机输出轴，且第一音圈电机定子的内壁上固定安装有第一环形气浮垫，所述定位杆的下端活动安装于导向腔的内部，所述导杆之间固定有第二音圈电机定子，且第二音圈电机定子的中部固定连接有第二音圈电机输出轴的一端，所述底座设置于微动台面的顶部。该电机的二自由度执行机构及其自由度多方位微动台，减少自由度使用调节时的摩擦导致动能消耗，提高定位精度和使用减震效果，并且方便微动台的使用多方位定位安装。

A kind of two degree of freedom actuator of motor and its multidirectional fretting table

【技术实现步骤摘要】
一种电机的二自由度执行机构及其自由度多方位微动台
本专利技术涉及直线电机
，具体为一种电机的二自由度执行机构及其自由度多方位微动台。
技术介绍
在定位精度使用要求高的工业机器人、数控机床以及半导体制造领域的场合，为了提高定位的使用精度和自由度的稳定调节改变，通过电机的执行机构进行电机的使用定位安装，方便自由度的应用调整，并在微动台的作用下，进行多工位的小行程微调和定位，使得半导体的制造和光学图像对准更加快捷与稳定。然而现有的电机自由度执行机构及微动台在使用时存在以下问题：1、在进行自由度执行机构调节改变时，自由度的调节过程中，动力能在传动时因摩擦力作用，外力消耗大，造成动能的使用浪费，且摩擦力的大幅度存在，使得自由度的调节和定位精度不够，影响定位使用，同时自由度的调节定位减震性不强，存在使用缺陷；2、微动台的安装使用，不方便对电机自由度执行机构进行安装定位，在使用时自由度的方位调节改变不易，不易进行多方位的使用调节和数量改变，存在使用局限性较大的问题。针对上述问题，急需在原有电机自由度执行机构及微动台的基础上进行创新设计。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种电机的二自由度执行机构及其自由度多方位微动台，以解决上述
技术介绍
提出现有的电机自由度执行机构及微动台在进行自由度执行机构调节改变时，自由度的调节过程中，动力能在传动时因摩擦力作用，外力消耗大，造成动能的使用浪费，且摩擦力的大幅度存在，使得自由度的调节和定位精度不够，影响定位使用，同时自由度的调节定位减震性不强，存在使用缺陷，微动台的安装使用，不方便对电机自由度执行机构进行安装定位，在使用时自由度的方位调节改变不易，不易进行多方位的使用调节和数量改变，存在使用局限性较大的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种电机的二自由度执行机构及其自由度多方位微动台，包括底座、液压杆和微动台面，所述底座的内部从外到内依次开设有导向腔和定位腔，且底座的底部固定安装有齿轮座，并且定位腔的内部固定有第一音圈电机定子，所述第一音圈电机定子的内部活动安装有第一音圈电机输出轴，且第一音圈电机定子的内壁上固定安装有第一环形气浮垫，并且第一音圈电机输出轴的端部螺栓连接有液压杆，所述底座的顶部卡合安装有橡胶盖，且橡胶盖的上方边缘处设置有定位件，并且定位件的底部固定连接有定位杆，所述定位杆的下端活动安装于导向腔的内部，且定位杆的端部外壁和导向腔的内壁上均固定有第二环形气浮垫，所述定位件的内部活动安装有导杆，且导杆的端部和定位件的内部均固定有第一永磁体，而且定位件的端部嵌入固定有条形气浮垫，所述导杆之间固定有第二音圈电机定子，且第二音圈电机定子的中部固定连接有第二音圈电机输出轴的一端，并且第二音圈电机定子的底部中心处和液压杆的端部均固定安装有陶瓷座，所述陶瓷座的中部嵌入式安装有第二永磁体，且上下陶瓷座的边缘处之间转动连接有连接件，所述底座设置于微动台面的顶部，且微动台面的底部螺栓固定有固定杆，并且微动台面的底部活动安装有齿轮环，而且微动台面底部的齿轮环边侧转动安装有电机齿轮轴。优选的，所述第一环形气浮垫在第一音圈电机定子的内壁上等间距固定，且第一环形气浮垫的内壁与第一音圈电机输出轴的外壁之间留有间隙。优选的，所述定位件设置为钩状结构，且定位件关于底座的竖向中心轴线对称设置有2个，并且定位件和定位杆一一对应分布，而且定位杆和导向腔构成相对伸缩结构。优选的，所述导杆设置为“L”字型结构，且导杆的外壁与定位件的内壁间留有间距，并且导杆和定位件构成滑动安装结构。优选的，所述第一永磁体嵌入式固定于导杆和定位件上，且导杆和定位件上的第一永磁体朝向相对面磁性相同、第一永磁体之间相吸设置。优选的，所述第二音圈电机定子和液压杆上固定的陶瓷座大小相同，且2个陶瓷座竖向同轴分布，并且上下2个陶瓷座上的第二永磁体朝向相对面磁性相反、第二永磁体之间相斥设置。优选的，所述连接件与陶瓷座之间设置为铰接的转动结构，且连接件由连接管、连接杆和第三永磁体三部分设置，并且连接管和连接杆之间贯穿设置，而且连接管的端部内壁和连接杆的杆端均固定有第三永磁体。优选的，所述连接管和连接杆均为等间距均匀分布，且连接管和连接杆之间构成贯穿的相对伸缩结构，并且连接管和连接杆之间的第三永磁体磁性相斥设置。优选的，所述微动台面上的底座等角度均匀分布有3个，且底座底部的齿轮座与齿轮环相互啮合连接，并且齿轮环与微动台面之间设置为同轴的相对转动结构。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：该电机的二自由度执行机构及其自由度多方位微动台，减少自由度使用调节时的摩擦导致动能消耗，提高定位精度和使用减震效果，并且方便微动台的使用多方位定位安装：1、只需要通过气浮垫的安装定位使用，在构件进行自由度调节时，减少自由度竖向调节和水平方向上调节时的定位连接处的摩擦，同时利用第一永磁体之间的相吸和第二永磁体之间的相斥和第三永磁体之间的相斥作用，使得导杆和定位件及陶瓷座之间等构件的连接悬浮使用，在应用时能够极大的避免连接处因自由度调节时出现的摩擦能消耗，并且具有良好的使用减震效果，从而提高自由度调节改变时的定位精度，并且连接件和第三永磁体的同步作用下，在进行自由度调节改变后，能够快速复位，使用调节；2、微动台整体的分部安装设置，方便不同个数的自由度执行机构的定位安装使用，同时利用齿轮环和电机齿轮轴及齿轮环和齿轮座之间的相对啮合作用，使得定位完成后的自由度执行机构进行角度的偏位调整改变，在自由度执行机构的整体朝向改变后，方便进行不同方位上的微动台整体定位应用，操作方便，有效的提高其使用效果。附图说明图1为本专利技术正面结构示意图；图2为本专利技术剖面结构示意图；图3为本专利技术定位件和导杆连接结构示意图；图4为本专利技术连接件安装结构示意图；图5为本专利技术连接件结构示意图；图6为本专利技术微动台面的底部结构示意图。图中：1、底座；2、导向腔；3、定位腔；4、齿轮座；5、第一音圈电机定子；6、第一音圈电机输出轴；7、第一环形气浮垫；8、液压杆；9、橡胶盖；10、定位件；11、定位杆；12、第二环形气浮垫；13、导杆；14、第一永磁体；15、条形气浮垫；16、第二音圈电机定子；17、第二音圈电机输出轴；18、陶瓷座；19、第二永磁体；20、连接件；2001、连接管；2002、连接杆；2003、第三永磁体；21、微动台面；22、固定杆；23、齿轮环；24、电机齿轮轴。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图1-6，本专利技术提供一种技术方案：一种电机的二自由度执行机构及其自由度多方位微动台，包括底座1、导向腔2、定位腔3、齿轮座4、第一音圈电机定子5本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电机的二自由度执行机构及其自由度多方位微动台，包括底座（1）、液压杆（8）和微动台面（21），其特征在于：所述底座（1）的内部从外到内依次开设有导向腔（2）和定位腔（3），且底座（1）的底部固定安装有齿轮座（4），并且定位腔（3）的内部固定有第一音圈电机定子（5），所述第一音圈电机定子（5）的内部活动安装有第一音圈电机输出轴（6），且第一音圈电机定子（5）的内壁上固定安装有第一环形气浮垫（7），并且第一音圈电机输出轴（6）的端部螺栓连接有液压杆（8），所述底座（1）的顶部卡合安装有橡胶盖（9），且橡胶盖（9）的上方边缘处设置有定位件（10），并且定位件（10）的底部固定连接有定位杆（11），所述定位杆（11）的下端活动安装于导向腔（2）的内部，且定位杆（11）的端部外壁和导向腔（2）的内壁上均固定有第二环形气浮垫（12），所述定位件（10）的内部活动安装有导杆（13），且导杆（13）的端部和定位件（10）的内部均固定有第一永磁体（14），而且定位件（10）的端部嵌入固定有条形气浮垫（15），所述导杆（13）之间固定有第二音圈电机定子（16），且第二音圈电机定子（16）的中部固定连接有第二音圈电机输出轴（17）的一端，并且第二音圈电机定子（16）的底部中心处和液压杆（8）的端部均固定安装有陶瓷座（18），所述陶瓷座（18）的中部嵌入式安装有第二永磁体（19），且上下陶瓷座（18）的边缘处之间转动连接有连接件（20），所述底座（1）设置于微动台面（21）的顶部，且微动台面（21）的底部螺栓固定有固定杆（22），并且微动台面（21）的底部活动安装有齿轮环（23），而且微动台面（21）底部的齿轮环（23）边侧转动安装有电机齿轮轴（24）。/n...

【技术特征摘要】
1.一种电机的二自由度执行机构及其自由度多方位微动台，包括底座（1）、液压杆（8）和微动台面（21），其特征在于：所述底座（1）的内部从外到内依次开设有导向腔（2）和定位腔（3），且底座（1）的底部固定安装有齿轮座（4），并且定位腔（3）的内部固定有第一音圈电机定子（5），所述第一音圈电机定子（5）的内部活动安装有第一音圈电机输出轴（6），且第一音圈电机定子（5）的内壁上固定安装有第一环形气浮垫（7），并且第一音圈电机输出轴（6）的端部螺栓连接有液压杆（8），所述底座（1）的顶部卡合安装有橡胶盖（9），且橡胶盖（9）的上方边缘处设置有定位件（10），并且定位件（10）的底部固定连接有定位杆（11），所述定位杆（11）的下端活动安装于导向腔（2）的内部，且定位杆（11）的端部外壁和导向腔（2）的内壁上均固定有第二环形气浮垫（12），所述定位件（10）的内部活动安装有导杆（13），且导杆（13）的端部和定位件（10）的内部均固定有第一永磁体（14），而且定位件（10）的端部嵌入固定有条形气浮垫（15），所述导杆（13）之间固定有第二音圈电机定子（16），且第二音圈电机定子（16）的中部固定连接有第二音圈电机输出轴（17）的一端，并且第二音圈电机定子（16）的底部中心处和液压杆（8）的端部均固定安装有陶瓷座（18），所述陶瓷座（18）的中部嵌入式安装有第二永磁体（19），且上下陶瓷座（18）的边缘处之间转动连接有连接件（20），所述底座（1）设置于微动台面（21）的顶部，且微动台面（21）的底部螺栓固定有固定杆（22），并且微动台面（21）的底部活动安装有齿轮环（23），而且微动台面（21）底部的齿轮环（23）边侧转动安装有电机齿轮轴（24）。


2.根据权利要求1所述的一种电机的二自由度执行机构及其自由度多方位微动台，其特征在于：所述第一环形气浮垫（7）在第一音圈电机定子（5）的内壁上等间距固定，且第一环形气浮垫（7）的内壁与第一音圈电机输出轴（6）的外壁之间留有间隙。


3.根据权利要求1所述的一种电机的二自由度执行机构及其自由度多方位微动台，其特征在于：所述定位件（10）设置为钩状结构，且定位件（10）关于底座（1）的竖向中心轴线对称设置有2个，并且定位件（10）和定位杆...

【专利技术属性】
技术研发人员：张莉，
申请(专利权)人：安徽机电职业技术学院，
类型：发明
国别省市：安徽;34