热场装置及晶体生长装置制造方法及图纸

技术编号:23974776 阅读:49 留言:0更新日期:2020-04-29 08:51
本实用新型专利技术提出一种热场装置,该热场装置包括一对环形热屏,所述环形热屏之间夹持有若干空心球。本实用新型专利技术同时提出包括该热场装置的晶体生长装置。该热场装置结构简单,包含该热场装置的晶体生长装置适用于提拉结晶法,所制备得到的晶体无开裂、气泡、夹杂、散射等缺陷。

Thermal field device and crystal growth device

【技术实现步骤摘要】
热场装置及晶体生长装置
本技术涉及晶体制备领域,尤其涉及一种热场装置及晶体生长装置。
技术介绍
提拉法是一种从熔体中生长晶体的方法,具有生长速度快、易观察、晶体质量高等优点,广泛应用于硅、锗、蓝宝石、激光晶体、闪烁晶体的生长。氧化物晶体的提拉法生长一般包括中频感应提拉法和电阻加热提拉法两种。前者一般采用贵金属坩埚或钨钼坩埚作为加热器,后者则一般采用石墨加热器或者电阻丝加热器作为加热器。为了保护坩埚或者加热器,在晶体生长时,多采用惰性气氛甚至还原气氛进行生长。惰性气氛或还原气氛的晶体生长过程中,会使晶体中产生氧空位,严重影响晶体的性能,需要后期退火处理。此外,在晶体生长过程中,随着坩埚内液面的降低,晶体所处的温度梯度逐渐减小,极易造成组分过冷或者界面翻转,产生气泡、散射等缺陷,严重影响晶体的性能。因此,有必要设计一种改进的热场装置及晶体生长装置来解决上述技术问题。
技术实现思路
本技术的目的在于克服上述技术问题,提出一种改进的热场装置及晶体生长装置。为实现前述目的,本技术采用如下技术方案:一种热场装本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种热场装置,其特征在于:该热场装置包括一对环形热屏,所述环形热屏之间夹持有若干空心球;该热屏由氧化锆陶瓷、氧化铝陶瓷、莫来石陶瓷、石英玻璃中一种或多种材质制备而成;空心球包括氧化锆空心球、氧化铝空心球中的至少一种;每一空心球内部均填充空气或氧气;空心球的直径沿着热屏自上往下逐渐减小;空心球的直径在1-5mm之间。/n

【技术特征摘要】
1.一种热场装置,其特征在于:该热场装置包括一对环形热屏,所述环形热屏之间夹持有若干空心球;该热屏由氧化锆陶瓷、氧化铝陶瓷、莫来石陶瓷、石英玻璃中一种或多种材质制备而成;空心球包括氧化锆空心球、氧化铝空心球中的至少一种;每一空心球内部均填充空气或氧气;空心球的直径沿着热屏自上往下逐渐减小;空心球的直径在1...

【专利技术属性】
技术研发人员:狄聚青朱刘刘运连彭胜金薛帅
申请(专利权)人:清远先导材料有限公司
类型:新型
国别省市:广东;44

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