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热场装置及晶体生长装置制造方法及图纸
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下载热场装置及晶体生长装置的技术资料
文档序号:23974776
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本实用新型提出一种热场装置,该热场装置包括一对环形热屏,所述环形热屏之间夹持有若干空心球。本实用新型同时提出包括该热场装置的晶体生长装置。该热场装置结构简单,包含该热场装置的晶体生长装置适用于提拉结晶法,所制备得到的晶体无开裂、气泡、夹杂、...
该专利属于清远先导材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过清远先导材料有限公司授权不得商用。
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