单晶炉用晶体提拉设备制造技术

本实用新型专利技术提供了一种单晶炉用晶体提拉设备，其包括主室、下伸缩管、下副室、上伸缩管、副室旋臂和提拉杆。主室的下方设有坩埚，坩埚用于盛放晶体原料；下伸缩管的下端连接于主室的上端，下伸缩管的上端可分离地连接于下副室的下端并能够沿高度方向伸缩；上伸缩管的下端可分离地连接于下副室的上端，上伸缩管能够沿高度方向伸缩；提拉杆悬设在坩埚的上方并与坩埚对准，提拉杆的下端用于安放籽晶；副室旋臂的一侧固定连接于下副室，副室旋臂能够带动下副室一起在水平面内旋转，以使下副室与上伸缩管和下伸缩管在水平面内错开。在取晶时，副室旋臂的设置能够单独带动下副室在水平面内旋转，保证了籽晶与坩埚相对位置的稳定性。

Crystal lifting equipment for single crystal furnace

【技术实现步骤摘要】
单晶炉用晶体提拉设备
本技术涉及单晶提拉领域，尤其涉及一种单晶炉用晶体提拉设备。
技术介绍
单晶提拉是在单晶提拉设备中进行的，所以单晶提拉设备的安全稳定直接关乎单晶产品的质量。于2019年01月29日授权公告的中国专利CN208440729U提供了一种“电动接晶托”，其包括提升杆、用于驱动提升杆升降的升降驱动装置、用于承接晶棒的托板和用于驱动托板旋转的旋转驱动装置，提升杆连接在升降驱动装置上，以便于升降驱动装置驱动提升杆升降，托板连接在提升杆上，旋转驱动装置连接在提升杆与托板之间，此种装置可实现接晶托的自动下降及旋转。该装置在使用过程中有以下问题：(1)接晶托的旋转机制独立于副室旋臂，接晶托的转入及转出操作较复杂且位置都需要精准控制；(2)“对中”问题：大量实验证明，在进行多次提拉作业后，副室复位过程中，籽晶很难再对准坩埚中心，导致晶体因热场不均匀而产生缺陷。
技术实现思路
鉴于
技术介绍
中存在的问题，本技术的目的在于提供一种单晶炉用晶体提拉设备，其能够通过仅转动下副室来取晶，避免其它部件的位置在水平面上发生变动，从而保证籽晶与坩本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶炉用晶体提拉设备，其特征在于，包括主室(1)、下伸缩管(2)、下副室(3)、上伸缩管(4)、副室旋臂(5)和提拉杆(R)，/n主室(1)的下方设有坩埚，坩埚用于盛放晶体原料；/n下伸缩管(2)的下端连接于主室(1)的上端，下伸缩管(2)的上端可分离地连接于下副室(3)的下端并能够沿高度方向(H)伸缩；/n上伸缩管(4)的下端可分离地连接于下副室(3)的上端，上伸缩管(4)能够沿高度方向(H)伸缩；/n提拉杆(R)悬设在坩埚的上方并与坩埚对准，提拉杆(R)的下端用于安放籽晶(S)；/n副室旋臂(5)的一侧固定连接于下副室(3)，副室旋臂(5)能够带动下副室(3)在水平面内同步旋转，以...

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉用晶体提拉设备，其特征在于，包括主室(1)、下伸缩管(2)、下副室(3)、上伸缩管(4)、副室旋臂(5)和提拉杆(R)，
主室(1)的下方设有坩埚，坩埚用于盛放晶体原料；
下伸缩管(2)的下端连接于主室(1)的上端，下伸缩管(2)的上端可分离地连接于下副室(3)的下端并能够沿高度方向(H)伸缩；
上伸缩管(4)的下端可分离地连接于下副室(3)的上端，上伸缩管(4)能够沿高度方向(H)伸缩；
提拉杆(R)悬设在坩埚的上方并与坩埚对准，提拉杆(R)的下端用于安放籽晶(S)；
副室旋臂(5)的一侧固定连接于下副室(3)，副室旋臂(5)能够带动下副室(3)在水平面内同步旋转，以使下副室(3)与上伸缩管(4)和下伸缩管(2)在水平面内错开。


2.根据权利要求1所述的单晶炉用晶体提拉设备，其特征在于，
单晶炉用晶体提拉设备还包括托晶装置(7)，托晶装置(7)包括本体(71)和托盘(72)，
本体(71)的一端固定连接于副室旋臂(5)上，本体(71)包括收容腔(711)，托盘(72)能够收容于收容腔(711)中，且托盘(72)的至少部分能够从收容腔(711)中伸出，托盘(72)的伸出的端部与提拉杆(R)对准。


3.根据权利要求2所述的单晶炉用晶体提拉设备，其特征在于，
托盘(72)包括基体(721)、第一托盘(722)和第二托盘(723)，
基体(721)固定于收容腔(711)中，第一托盘(722)铰接连接于基体(721)的端部，第二托盘(723)铰接连接于第一托盘(722)的端部。


4.根据权利要求2所述的单晶炉用晶体提拉设备，...

【专利技术属性】
技术研发人员：牛晓东，赵青松，何志达，朱刘，
申请(专利权)人：清远先导材料有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44