一种机器人末端晶圆搬运治具制造技术

本实用新型专利技术提供了一种机器人末端晶圆搬运治具，包括支撑模块，支撑模块包括U形底板以及分别连接在底板两侧端部的支撑臂，U形底板的中部安装有用于与机械臂的丝杆端头连接的连接模块，U形底板的两侧端部对称设置有夹紧模块，夹紧模块包括安装在U形底板表面的支撑柱、支撑柱、安装板、伸缩杆、压紧杆、压紧杆安装座以及压紧弹簧。本实用新型专利技术提供的一种机器人末端晶圆搬运治具只需将支撑模块部分深入物料盒内，夹紧模块在物料盒外部即可完成晶圆夹紧工序，加工和控制相对容易，降低了生产成本，连接模块的设置可以针对不同晶圆型号进行更换安装，有利于规模化生产。

A robot end wafer handling tool

【技术实现步骤摘要】
一种机器人末端晶圆搬运治具
本技术涉及一种机器人末端晶圆搬运治具，属于夹具

技术介绍
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。在硅晶片的中部区域上可切割成细小单元进行加工，制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品，只有外轮廓可以用来夹持和受力。用于存储晶圆的物料盒通常采用多层结构，晶圆边缘通过物料盒的隔板承托，相邻晶圆之间间隔较小。现有的晶圆夹具通常采用预留圆孔的环形承托板整个深入物料盒内，对晶圆进行承托和抽取，这种方式晶圆容易滑落，影响生产安全。也有晶圆夹具在环形承托板上周向布置夹爪，夹取时夹爪与承托板共同深入物料盒内，由于物料盒内每层晶圆之间的间隔小，此种结构对承托板和限位柱或者夹爪的厚度有较大限制，夹具加工和控制要求高，增加了加工成本，不利于型号替换和规模化生产。
技术实现思路
为了解决现有技术的不足，本技术提供了一种机器人末端晶圆搬运治具，对支撑模块和夹紧模块的结构和连接关系进行了重新设计，只需要将支撑模块部分深入物料盒内，夹紧模块在物料盒外部即可完本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种机器人末端晶圆搬运治具，包括支撑模块(3)，其特征在于：支撑模块(3)包括U形底板(31)以及分别连接在底板(31)两侧端部的支撑臂(32)，U形底板(31)的中部安装有用于与机械臂(7)的丝杆(1)端头连接的连接模块(2)，U形底板(31)的两侧端部对称设置有夹紧模块(4)，夹紧模块(4)包括安装在U形底板(31)表面的支撑柱(42)、支撑柱(42)、安装板(41)、伸缩杆(43)、压紧杆(44)、压紧杆安装座(45)以及压紧弹簧(46)，安装板(41)连接于支撑柱(42)的顶部，压紧杆(44)通过横向安装轴安装于支撑柱(42)和压紧杆安装座(45)之间，压紧弹簧(46)的两端分别连...

【技术特征摘要】
1.一种机器人末端晶圆搬运治具，包括支撑模块(3)，其特征在于：支撑模块(3)包括U形底板(31)以及分别连接在底板(31)两侧端部的支撑臂(32)，U形底板(31)的中部安装有用于与机械臂(7)的丝杆(1)端头连接的连接模块(2)，U形底板(31)的两侧端部对称设置有夹紧模块(4)，夹紧模块(4)包括安装在U形底板(31)表面的支撑柱(42)、支撑柱(42)、安装板(41)、伸缩杆(43)、压紧杆(44)、压紧杆安装座(45)以及压紧弹簧(46)，安装板(41)连接于支撑柱(42)的顶部，压紧杆(44)通过横向安装轴安装于支撑柱(42)和压紧杆安装座(45)之间，压紧弹簧(46)的两端分别连接于安装板(41)的底面以及压紧杆(44)的后部上表面，伸缩杆(43)竖直安装于安装板(41)前部的通孔中。


2.根据权利要求1所述的机器人末端晶圆搬运治具，其特征在于：压紧杆(44)采用由...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨明鹏，
申请(专利权)人：武汉臻迪智能技术有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北;42