具有限位功能的活动式多轴向连杆装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供具有限位功能的活动式多轴向连杆装置，包括连杆驱动夹持模组以及用于固定连杆驱动夹持模组的固定框架，连杆驱动夹持模组包括连杆驱动组件以及与连杆驱动组件相连的夹持组件，固定框架包括主立板、对称固定在主立板竖直两边的两个侧连接板以及与两个侧连接板另一端固定连接的对向立板，主立板与对向立板相对设置，主立板背向对向立板的一面的上下两侧分别固定有顶部盖板以及底部盖板。本发明专利技术能够将晶圆进行稳定的夹持托举，方便进行托篮交换，同时托举夹持的方式能够降低对晶圆的损坏，以解决现有的晶圆在交换托篮时容易损坏，同时交换效率较低的问题。

Movable multi axial connecting rod device with limit function

【技术实现步骤摘要】
具有限位功能的活动式多轴向连杆装置
本专利技术涉及半导体加工设备
，尤其涉及具有限位功能的活动式多轴向连杆装置。
技术介绍
在半导体工艺设备中，以湿法设备为例。在晶圆装载区(Loading)与晶圆卸载区(Unloading)之间有进行晶圆托篮交换的需求，需将晶圆托篮内的晶圆片取出置入工艺用的托篮。现有的技术中，在对晶圆进行托篮交换时缺少一种稳定的运动机构来完成这一交换操作，在进行晶圆交换托篮之时会对晶圆产生撞击、磨耗、挤压等情形而产生破片的问题，故建立一个具高稳定性、高安全性、高应用性的交换装置在晶圆装载区与晶圆卸载区之间是极其重要的。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本专利技术目的是提供具有限位功能的活动式多轴向连杆装置，能够将晶圆进行稳定的夹持托举，方便进行托篮交换，同时托举夹持的方式能够降低晶圆破裂磨耗的风险，以解决现有的晶圆在交换托篮时容易产生破片，同时交换效率较低的问题。为了实现上述目的，本专利技术是通过如下的技术方案来实现：具有限位功能的活动式多轴向连杆装置，包括连杆驱动夹持模组以及用于固定连本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.具有限位功能的活动式多轴向连杆装置，其特征在于：包括连杆驱动夹持模组(2)以及用于固定连杆驱动夹持模组(2)的固定框架(1)，所述连杆驱动夹持模组(2)包括连杆驱动组件(21)以及与连杆驱动组件(21)相连的夹持组件(22)；/n所述固定框架(1)包括主立板(12)、对称固定在主立板(12)竖直两边的两个侧连接板(14)以及与两个侧连接板(14)另一端固定连接的对向立板(15)，所述主立板(12)背向对向立板(15)的一面的上下两侧分别固定有顶部盖板(13)以及底部盖板(11)；/n所述连杆驱动组件(21)包括气缸(212)，所述气缸(212)底部通过凸型座(211)固定在底部盖板(11)...

【技术特征摘要】
1.具有限位功能的活动式多轴向连杆装置，其特征在于：包括连杆驱动夹持模组(2)以及用于固定连杆驱动夹持模组(2)的固定框架(1)，所述连杆驱动夹持模组(2)包括连杆驱动组件(21)以及与连杆驱动组件(21)相连的夹持组件(22)；
所述固定框架(1)包括主立板(12)、对称固定在主立板(12)竖直两边的两个侧连接板(14)以及与两个侧连接板(14)另一端固定连接的对向立板(15)，所述主立板(12)背向对向立板(15)的一面的上下两侧分别固定有顶部盖板(13)以及底部盖板(11)；
所述连杆驱动组件(21)包括气缸(212)，所述气缸(212)底部通过凸型座(211)固定在底部盖板(11)的上方中间位置，所述气缸(212)顶部固定连接有L型调整板(213)，所述气缸(212)通过L型调整板(213)连接有水平设置的联动安装杆(215)，所述联动安装杆(215)的两端分别转动连接有一个向上方延伸的转动曲柄(214)；
所述转动曲柄(214)包括上部曲柄(2143)以及与上部曲柄(2143)滑动相连的下部曲柄(2146)，所述上部曲柄(2143)中间开设有滑动槽(2144)，所述下部曲柄(2146)对应滑动槽(2144)的位置开设有两个止动栓安装孔(2147)，所述下部曲柄(2146)内部安装有用于连接联动安装杆(215)的安装杆连接轴承(2142)，所述上部曲柄(2143)内部安装有用于连接活动杆(224)的活动杆连接轴承(2145)；
所述夹持组件(22)设置有两组，两组夹持组件(22)分别与两个转动曲柄(214)转动连接，所述夹持组件(22)包括与转动曲柄(214)的另一端转动连接的活动杆(224)，所述活动杆(224)穿过主立板(12)固定连接有连接板(223)，所述连接板(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：李志峰，王雪松，陈佳炜，
申请(专利权)人：至微半导体上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31